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[发明专利]感光性树脂组合物-CN202211076767.3在审
发明人：内藤一也;落合真彦;小坂隼也 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2018-03-28 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：提供：激光直接成像型曝光方式中，比以往使用的敏化剂灵敏度(生产率)、分辨率、密合性还优异的感光性树脂组合物；等。一种感光性树脂组合物，其包含以下的成分：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和双键的化合物；(C)光聚合引发剂；和，(D)光敏化剂，(D)光敏化剂包含通式(2)所示的二苯乙烯基苯衍生物。式(2)中，R3、R4、R5分别表示氰基，c、e分别独立地表示1～5的整数，而且，d表示0～4的整数。
感光性树脂组合

[发明专利]感光性树脂组合物-CN201880013871.3有效
发明人：内藤一也;落合真彦;小坂隼也 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2018-03-28 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G03F7/031 文献下载
摘要：提供：激光直接成像型曝光方式中，比以往使用的敏化剂灵敏度(生产率)、分辨率、密合性还优异的感光性树脂组合物；等。一种感光性树脂组合物，其包含以下的成分：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和双键的化合物；(C)光聚合引发剂；和，(D)光敏化剂，(D)光敏化剂包含通式(2)所示的二苯乙烯基苯衍生物。式(2)中，R3、R4、R5分别表示氰基，c、e分别独立地表示1～5的整数，而且，d表示0～4的整数。
感光性树脂组合