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[发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN201810143665.6有效
发明人： 荒木知康 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-02-11 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板处理装置及基板处理方法。基板处理装置包括：压力控制单元，通过根据压力传感器的检测值使作为压力控制阀的一例的释放阀变更个别配管内的处理液的压力，而使连接位置上的处理液的压力维持在压力设定值；以及控制装置，通过于未处理的基板在基板处理装置内的处理期间的至少一部分内，将压力设定值设定为处理用设定值，于未处理的基板没有在基板处理装置内的待机期间的至少一部分内，将压力设定值设定为小于处理用设定值的待机用设定值，而使待机期间内在循环配管内流动的处理液的流量与处理期间内在循环配管内流动的处理液的流量相一致或相近。
处理装置方法

[发明专利]基板处理装置-CN200710161609.7无效
发明人：田中岩;荒木知康 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2007-09-27 - 公布日： 2008-04-09 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种能够提高基板生产率的基板处理装置，在传送基板(S)的同时实施处理的第一～第三处理部(12～14)连结成コ字形。第一处理部(12)在以水平姿势传送基板(S)的同时实施药液的浸液处理。第二处理部(13)包括：从第一处理部(12)以水平姿势接受基板并使该基板(S)在与第一处理部(12)的传送方向垂直的方向上倾斜的姿势变换机构(34)；在维持由此变换过的基板(S)的姿势的同时沿其斜度传送该基板(S)的传送辊(33)等。
处理装置