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[发明专利]一种用于风洞试验微角度精确测量的调平气浮光栅测量系统-CN202310768074.9在审
发明人： 苑伟政;周文源;何洋;周子丹;欧召阳;吕湘连 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2023-06-27 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01M9/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于风洞试验微角度精确测量的调平气浮光栅测量系统，属于风洞实验、测量领域。该调平气浮光栅测量系统安装于风洞试验段，测量系统主要包括光学升降台(1)、支架(2)、微分头(3)、支座结构(4)、光栅系统(5)、气浮轴承系统(6)。本发明向气浮轴承通气后，转动部件和轴承外壳之间将形成气膜，二者之间形成不接触的相对运动，内部摩擦力减小至可以忽略，此时认为内部阻力为零，这有助于将光栅测量系统对测试对象本身的影响将至最低，即使测试对象无外源动力输入，收环境影响被动产生的极其微小转动仍然可以准确识别获取。同时本发明提供了一种调平机构和调平方法，将调平的周期调整至最少，大大节约实验周期。
一种用于风洞试验角度精确测量调平气浮光栅系统

[发明专利]一种MEMS磁电耦合天线及其低温封装方法-CN202310902946.6有效
发明人：马志波;赵山林;王熠楠;王远航;苑伟政 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2023-07-21 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01Q1/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种MEMS磁电耦合天线及其低温封装方法。本发明提供的MEMS磁电耦合天线，包括第一玻璃片和第二玻璃片，所述第二玻璃片和第一玻璃片之间键合有高阻硅片，所述第一玻璃片的上表面具有空腔，所述高阻硅片上贯通设置有通道，所述通道的下端设置有MEMS谐振结构，所述MEMS谐振结构悬空于所述的空腔内。本发明的MEMS磁电耦合天线及其低温封装方法，其自上而下采用玻‑硅‑玻进行键合，键合温度低，解决了磁性材料容易受封装温度影响的问题。
一种 mems 磁电耦合天线及其低温封装方法

[发明专利]一种低热弹性阻尼的重组型双辐条MEMS多环陀螺-CN202310672987.0在审
发明人：谢建兵;邓宇廷;鲁文飞;周金秋;苑伟政 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2023-06-08 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G01C19/5684 文献下载
摘要：本发明公开了一种低热弹性阻尼的重组型双辐条MEMS多环陀螺，属于微机电系统领域。该MEMS多环陀螺在平面内拥有全对称结构，由中心固定锚点、多圈的同心圆环结构、辐条结构和电极组成。所述的中心固定锚点为圆形，由外部结构固定，和多圈的同心圆环结构拥有同一圆心，最内圈同心环通过辐条和锚点相连。所述的多圈同心圆环之间通过辐条相连，同心圆环宽度可根据需求调整，各个同心圆环之间的间距不等。所述的辐条结构包括单直辐条、双直辐条，重组型双直辐条，相同环间辐条沿环周向均匀分布，相邻环间辐条所在轴线相差22.5°。其中最外环与由外向内第一环由单直辐条连接，最内环和锚点由双直辐条连接，其余环通过重组型双直辐条相连。该陀螺拥有独特的重组型双辐条，延长传热路径以减少辐条处的热能传递，从而改变陀螺内部温度和热通量分布；降低了器件热弹性阻尼；提高陀螺的灵敏度，减小零偏不稳定性。
一种低热弹性阻尼重组辐条 mems 陀螺

[发明专利]基于光纤F-P腔的三轴高温振动传感器及其制备方法-CN202310440018.2有效
发明人：马志波;田智勇;喜奇;苑伟政 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光纤F‑P腔的三轴高温振动传感器及其制备方法，属于微机电系统技术领域。基于光纤F‑P腔的三轴高温振动传感器具体包括顶层硅和基底硅，所述顶层硅和基底硅之间设有三轴振动敏感结构，将三个固支梁‑质量块系统集成在一个外壳体上，构成三轴振动敏感结构，每个固支梁‑质量块系统都呈中心对称，三轴振动敏感结构的前侧和左侧分别对应设有x轴测量光纤和y轴测量光纤，基底硅上设有z轴测量光纤，用于传递被测振动；每个质量块与外壳体的侧壁之间围成测量振动F‑P腔；该传感器能够同时测量三个轴向的振动信号，顶层硅、基底硅和外壳体采用三层硅片高温直接键合，使得该传感器能够在800°C环境温度下工作。
基于光纤高温振动传感器及其制备方法

[发明专利]一种用于结冰检测的MEMS微波传感器及其检测方法-CN202111206449.X有效
发明人：谢建兵;温俊杰;苑伟政 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2021-10-16 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01B7/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于结冰检测的MEMS微波传感器领域，属于传感器技术领域。该传感器主要包括底层金属微带传输线2、介质基底3、顶层互补叉指形开口谐振环4和金属参考面5，所述互补叉指形开口谐振环在受到沿谐振环轴向的交变电场的作用下，因为叉指结构的存在，能够更加有效的激励谐振环，且互补叉指形开口谐振环的环内部分为电场强度最大的区域，在该区域放置待测样本，可以最大化传感器对结冰情况的敏感程度。本发明有望满足目前国内外航空、风力发电等产业对这种成本低、体积小、批产一致性好的结冰传感器有迫切的需求。
一种用于结冰检测 mems 微波传感器及其方法

[发明专利]一种性能动态可调的光纤F-P腔MEMS传感器及其制备方法-CN202310351765.9在审
发明人：马志波;李若飞;王嘉言;苑伟政 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：本发明公开了一种性能动态可调的光纤F‑P腔MEMS传感器及其制备方法，属于光纤传感器技术领域，包含蓝宝石敏感结构、蓝宝石衬底结构、光纤套管、导模共振光栅、F‑P腔和光纤、高折射率介质层，本发明通过在蓝宝石表面引入导模共振光栅以实现蓝宝石界面反射光谱的优化，进而可以针对不同的解调方法设计并调控F‑P干涉具的光谱精细度，以实现传感器性能调控。相较于传统的在F‑P腔传感器敏感结构表面镀制具有固定反射率的金属反射膜等方式，本发明能够实现界面反射率调节，以实现传感器面向不同测试应用场景的动态性能调控。
一种性能动态可调光纤 mems 传感器及其制备方法

[发明专利]一种光纤F-P腔传感器自准直系统及其自准直封装方法-CN202310477146.4在审
发明人：马志波;李若飞;王嘉言;喜奇;苑伟政 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明公开了一种光纤F‑P腔传感器自准直系统及其自准直封装方法，属于MEMS传感器技术领域，所述光纤F‑P腔传感器自准直系统包括MCU和三个步进电机，三个所述步进电机分别用于控制准直器在X轴、Y轴和Z轴三个方向上的移动；MCU内嵌入设置有PID控制模块，PID控制模块与三个步进电机之间通过PWM控制。本发明中的光纤F‑P腔传感器自准直系统通过采集实时光强与理论光强做比较的思路，最值算法提供精准的理论光强，PID控制系统精准定位，精准位移防止稳态误差和超调量的出现，且在未满足最大光强条件时可以重复进行操作和对比，确保准直器对光对准的准确性和精准度，由此可以精确的实现MEMS传感器准直器自对准。
一种光纤传感器系统及其封装方法

[发明专利]一种低频微型化电磁-声辐射器及其制备方法-CN202310406436.X在审
发明人：马志波;字国浩;王熠楠;苑伟政 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01Q1/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种低频微型化电磁‑声辐射器及其制备方法，属于通信技术领域，所述电磁‑声辐射器从上往下依次包括上层磁铁、上层磁致伸缩片、上层电极、C轴极化的压电层、下层电极、下层磁致伸缩片和下层磁铁，不同层间用环氧树脂胶粘合。上层电极和下层电极皆为叉指电极，上层磁铁和下层磁铁用于夹持磁致伸缩片‑压电层复合层，旨在提高应力传递系数。激励信号从叉指电极输入，激发压电层振动，产生声波辐射，同时压电层振动传递到磁致伸缩片，磁致伸缩片磁化振荡辐射电磁波。本发明具有双模态、小体积、低功耗、强信号的特点，能够显著缩小低频通信系统尺寸，尤其适用于矿井通信等应急通信场景。
一种低频微型电磁辐射器及其制备方法

[发明专利]一种流体壁面剪应力传感器空气介质动态标定系统-CN202310318979.6在审
发明人：严宇超;王道远;邓进军;马炳和;苑伟政 -专利权人：西北工业大学宁波研究院
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种流体壁面剪应力传感器空气介质动态标定系统，涉及流体力学技术领域，本系统包括高压空气提供装置、整流装置、平面声波发生装置、扁平矩形槽道、消声槽道和沿程压力测量装置；所述高压空气提供装置与所述整流装置之间采用高压气管连通；所述整流装置、所述扁平矩形槽道与所述消声槽道沿空气流通方向依次设置，且所述整流装置与所述扁平矩形槽道、所述扁平矩形槽道与所述消声槽道之间分别通过法兰连接；所述扁平矩形槽道与所述沿程压力测量装置沿空气流通方向设置，且通过多组软管进行连通。本系统能够克服扁平矩形槽道内的流动易受外界干扰产生波动，难以通过涡轮叶片、风机等装置供气的问题。
一种流体剪应力传感器空气介质动态标定系统

[发明专利]一种温度与壁面剪应力的时空同点位测量方法-CN202310318974.3在审
发明人：严宇超;王道远;邓进军;马炳和;苑伟政 -专利权人：西北工业大学宁波研究院
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01M9/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种温度与壁面剪应力的时空同点位测量方法，涉及智能传感测量技术领域，本方法包括步骤S1：对多层复合的热膜传感器的电阻温度系数进行标定，分别获取上层热敏测温单元和下层壁面剪应力热敏单元的电阻温度系数；S2：将多层复合的热膜传感器置于扁平槽道内；S3：通过预设流程测量工作电阻和工作电压，并进行测试；S4：通过调整扁平槽道内流体的温度和壁面剪应力，得到流体温度、壁面剪应力、上层热敏测温单元测量温度和下层壁面剪应力热敏单元的输出电压的数据信息。本方法能够实现柔性热敏传感器对温度和流体壁面剪应力的同时空准确测量。
一种温度剪应力时空测量方法

[发明专利]一种用于结冰检测的微波柔性阵列传感器-CN202310330221.4在审
发明人：谢建兵;栗子涵;陈俊伍;温俊杰;苑伟政 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于结冰检测的微波柔性阵列传感器，属于传感器领域。传感器主要包括：中心的柔性基底层4、紧密贴合于柔性基底层4两侧的上柔性介质层3和下柔性介质层6、贴合于上柔性介质层3上的敏感阵元1和金属微带线5结构、贴合于下柔性介质层6上的金属参考地2。本发明中外谐振环33和内谐振环34构成互补分环谐振器(CSRR)，CSRR的实现提供了窄的插入损耗带宽，因此其电容对放置在敏感振元1上的物品非常敏感，即陷波频率对冰层介电常数的变化非常敏感使其在品质因数和精度方面优于传统的平面谐振器传感器；进一步加入额外的环对传感器的性能影响非常小，且耦合外环32使谐振器等效电容增加，增加边缘电场，从而更好地与测试样品相互作用；敏感振元1中心的叉指结构，增强了敏感振元1上的电场密度，具有扩展的电容耦合间隙，从而实现小型化，重要的是对冰层厚度变化更敏感。
一种用于结冰检测微波柔性阵列传感器

[发明专利]一种基于光纤F-P腔的MEMS传感器及其封装方法-CN202310434277.4有效
发明人：马志波;李若飞;王嘉言;喜奇;苑伟政;任森 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光纤F‑P腔的MEMS传感器及其封装方法，属于光纤传感器技术领域，MEMS传感器包括用于封装敏感芯片的封装外壳，封装外壳远离敏感芯片的一端螺纹连接有螺纹准直器，螺纹准直器位于封装外壳外的一端固设有准直器外限位块，且封装外壳远离敏感芯片的一端与准直器外限位块之间设有螺纹固定器，螺纹固定器套设在螺纹准直器外；封装外壳的内侧壁上固设有准直器内限位块，螺纹准直器的中心贯穿设有光纤；封装外壳、螺纹固定器和准直器外限位块之间通过外固定环和高温胶固定，且封装外壳上还螺纹连接有多个螺纹调节栓。本发明中能够提升准直器连接的稳固性，减少光路偏移，解决了高温胶封装固定准直器造成的热膨胀系数失配和热应力问题。
一种基于光纤 mems 传感器及其封装方法

[发明专利]一种消除第三腔干扰的光纤法珀压力传感器及MEMS制造方法-CN202210032737.6有效
发明人：马志波;叶芳;苑伟政;朱杰希 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种消除第三腔干扰的光纤法珀压力传感器及MEMS制造方法，属于高精度光纤传感技术领域。该传感器的SOI片器件层硅与硼硅玻璃同轴固定，单模光纤固结于毛细玻璃管中心孔内的，毛细玻璃固定在硼硅玻璃下表面；其中硼硅玻璃上下表面之间的区域形成法珀光学干涉硼硅玻璃腔，器件层硅的圆孔底面和硼硅玻璃上表面之间的区域形成法珀光学干涉空气腔，器件层硅内表面和圆孔底面之间的区域形成法珀光学干涉硅腔。该器件通过在第三腔—硅腔表面制备出黑硅，使得从硅腔下表面透射过来的光束在硅腔上表面发生漫反射，极大地减少硅腔干涉现象的产生，最终压力传感器中传输的光束仅受空气腔、硼硅玻璃腔的调制，形成规律的双腔干涉光谱，消除了第三腔的干扰，降低了解调难度，提高了测量的精度。
一种消除第三干扰光纤压力传感器 mems 制造方法

[发明专利]一种高效率、微型化的最大功率追踪电路芯片系统-CN202310384397.8在审
发明人：叶涛;王振龙;马炳和;王一帆;张芯瑞;苑伟政 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G05F1/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种高效率、微型化的最大功率追踪电路芯片系统，包括有太阳能光伏阵列、功率监测电路、主控制器电路、驱动电路和DC‑DC转换电路。太阳能光伏阵列用于采集周围环境光能并将其转换为电能；功率监测电路用于采集太阳能光伏阵列实时转换的电压值和电流值并将数据发送到主控制器；主控制器电路用于收集实时电压、电流值并进行解析处理，从而实现最大功率追踪控制算法(扰动观察法)以及产生可调PWM脉冲；驱动电路用于提高主控制器产生的PWM脉冲幅值并将其传送到DC‑DC转换电路，以使DC‑DC转换电路可以正常工作。本发明可高效率收集、转换环境光能，设计的整体电路高度集成化，具有尺寸小、重量轻的优点，且最大功率追踪电路芯片系统能量传递效率高。
一种高效率微型最大功率追踪电路芯片系统

[发明专利]一种冰风洞中翼型结冰区域检测方法、装置、设备和存储介质-CN202211227286.8在审
发明人：吕湘连;苏鑫;管润程;黄鼎;苑伟政;何洋 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G06V10/44 文献下载
摘要：本发明涉及结冰检测技术领域，具体涉及一种冰风洞中翼型结冰区域检测方法、装置、设备和存储介质。该方法首先在冰风洞试验段拍摄实验翼型，获取原始图像并进行处理后，得到结冰检测模型训练数据集中的训练和测试图像样本；使用所述训练数据集，训练结冰区域检测的语义分割网络；启动冰风洞，实时获取试验段中翼型的结冰图像，经处理后输入到训练好的结冰区域检测模型，输出目标图像中若干结冰区域的位置坐标，最后判定实际结冰区域，得到翼型上结冰区域，计算得到翼型上各个结冰区域面积之和，结合计算机自带的定时器也可以计算得到翼型在实验条件下的结冰速度。本专利通过机器视觉手段实时判断翼型结冰区域，能够实时高准确率地判断翼型在实验过程中的结冰面积和结冰速度。
一种风洞中翼型结冰区域检测方法装置设备存储介质

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