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- [实用新型]一种晶圆烘干装置-CN202223602615.0有效
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高波
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苏州康沃斯智能装备有限公司
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2022-12-30
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2023-09-26
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H01L21/67
- 本实用新型属于晶圆的生产处理设备技术领域，具体涉及一种晶圆烘干装置，解决了现有技术中存在烘干不均匀，工作效率低的问题，包括箱体和底板，所述底板的内部转动安装有转轴，所述转轴的顶部通过螺丝固定连接有转盘，通过转轴和烘干灯等结构的设置，烘干灯开始加热，电机也开始转动，第二斜齿轮带动第一斜齿轮转动，此时转轴也随着第二斜齿轮一起转动，转盘上的晶圆也会随之转动，圆盘底部的凸块将推动直杆向一侧移动，然后斜块推动推杆上下移动，由于连杆的转动安装在长槽的内部推杆推动连杆的时候，连杆另一端的烘干灯将会向下移动，将电机一直转动，转盘液会一直转动，带动烘干灯上下晃动，完成均匀烘干。
- 一种烘干装置
- [实用新型]一种自动打码插片机-CN202122810399.8有效
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高波
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苏州康沃斯智能装备有限公司
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2021-11-17
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2022-07-15
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种自动打码插片机，其包括机架，机架的上方设置有放料机构、输送机构、搬运机构、装篮组件和打标机，放料机构用于储放晶圆，其设置在传输机传输起点的一侧，打标机设置在传输机的另一侧，搬运机构用于将晶圆从放料机构搬运到传输机上，通过打标机对晶圆进行打标，打标结束后，传输机将晶圆输送到传输终点并通过推料气缸、推料块以及篮具顶升模组将晶圆放入篮具组件内。本实用新型将晶圆的打标和收篮集成到一个设备内，避免了人工的搬运，节约了用工成本，大大提高晶圆打标和收篮的效率，晶圆收篮产能达到了800‑1200Pcs/H，装篮操作省时省力，同时叠片率小于1％，碎片率小于3‰，也保证了收篮质量，适于推广应用。
- 一种自动打码插片机
- [实用新型]一种晶圆涂源机-CN202122824947.2有效
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高波
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苏州康沃斯智能装备有限公司
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2021-11-18
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2022-05-17
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种晶圆涂源机，其包括机架，机架的上方从左到右依次设置有放料机构、输送机构、溶剂涂敷机构、旋转机构、磁力搅拌器、加热机构和收料机构，磁力搅拌器上放置有用于盛放扩散源的溶剂瓶，机架上还设有第一搬运机构、第二搬运机构和第三搬运机构，第一搬运机构用于将晶圆从放料机构搬运到输送机构上，第二搬运机构用于将晶圆从输送机构搬运到旋转机构上，再将晶圆从旋转机构搬运到加热机构上，第三搬运机构用于将晶圆从加热机构搬运到收料机构上；本实用新型实现了晶圆的自动涂源、烘干和摆放，提高效率的同时，保证了产品质量，避免了人工搬运，降低工作人员工作量，同时提高了生产效率。
- 一种晶圆涂源机
- [实用新型]一种晶圆喷砂双供料机-CN202122839723.9有效
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高波
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苏州康沃斯智能装备有限公司
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2021-11-19
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2022-05-17
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B24C1/08
- 本实用新型公开了一种晶圆喷砂双供料机，其包括喷砂机，喷砂机包括喷砂机本体和履带输送机，喷砂机本体设置在履带输送机中部的上端，履带输送机的两端伸出喷砂机本体；喷砂机设置有两台，喷砂机分别设置在双供料机的左右两侧，双供料机包括工作台、双供料机构、搬运机构、输送机构和放料机械手；本实用新型通过双供料机构的设置，能同时向两个喷砂机供料，减少了上料的频率，通过搬运机构、输送机构和放料机械手能对晶圆自动进行搬运，提高了设备的自动化程度，避免了人工的搬运，大大提高晶圆喷砂的效率，通过气浮分离模组和输送机构的设置，减小了晶圆的叠片率，提高了晶圆喷砂上料的稳定性，保证了喷砂质量。
- 一种喷砂供料
- [实用新型]一种晶圆匀胶烘烤机-CN202122864652.8有效
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高波
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苏州康沃斯智能装备有限公司
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2021-11-22
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2022-05-17
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B05C5/02
- 本实用新型公开了一种晶圆匀胶烘烤机，其包括机架，机架上表面设置有收供料架、机械手、匀胶模组和烘烤台，收供料架用于放置晶圆，匀胶模组包括涂胶机构和匀胶甩干机构，涂胶机构用于对晶圆进行涂胶，匀胶甩干机构用于抹匀晶圆上的胶，烘烤台用于对涂完胶的晶圆进行烘干；本实用新型通过机械手将晶圆从收供料架内取出后，然后放置到匀胶模组进行涂胶并抹匀，涂完胶后再将晶圆转移到烘烤台上，最后将烘干的晶圆放置到收供料架内，实现了晶圆的自动涂胶、匀胶以及烘烤，提高了设备的自动化程度，保证了涂抹的均匀度的同时，也使表面的涂胶厚度达到要求，再通过烘烤台再进行烘干，保证了烘烤质量，进一步提升了光刻胶涂覆的均匀性。
- 一种晶圆匀胶烘烤
- [实用新型]一种芯片摆盘机-CN202122881537.1有效
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高波
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苏州康沃斯智能装备有限公司
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2021-11-23
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2022-05-17
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B65G61/00
- 本实用新型公开了一种芯片摆盘机，其包括机架，机架上设置有输送机构，输送机构的一侧设置有供料机构，其中段设置有定位机构，其另一侧设置有收料机构，供料机构和收料机构用于储放摆盘和托盘，本实用新型通过将芯片均匀铺开放置在摆盘上，然后将摆盘和空的托盘放置到供料机构上，通过上料夹爪将摆盘和托盘放置到输送机构上，输送机构传输摆盘和托盘到达定位机构时，通过视觉机构对摆盘内芯片进行定位以及识别芯片的P面和N面，然后启动分拣手臂将芯片从摆盘中搬运到托盘内，然后输送机构继续传输摆盘和托盘到达收料机构并完成堆叠，本实用新型减少了人工的使用，实现自动化生产和提高生产效率，适合推广使用。
- 一种芯片摆盘机
- [发明专利]一种自动打码插片机-CN202111359023.8在审
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高波
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苏州康沃斯智能装备有限公司
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2021-11-17
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2022-03-15
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H01L21/67
- 本发明公开了一种自动打码插片机，其包括机架，机架的上方设置有放料机构、输送机构、搬运机构、装篮组件和打标机，放料机构用于储放晶圆，其设置在传输机传输起点的一侧，打标机设置在传输机的另一侧，搬运机构用于将晶圆从放料机构搬运到传输机上，通过打标机对晶圆进行打标，打标结束后，传输机将晶圆输送到传输终点并通过推料气缸、推料块以及篮具顶升模组将晶圆放入篮具组件内。本发明将晶圆的打标和收篮集成到一个设备内，避免了人工的搬运，节约了用工成本，大大提高晶圆打标和收篮的效率，晶圆收篮产能达到了800‑1200Pcs/H，装篮操作省时省力，同时叠片率小于1％，碎片率小于3‰，也保证了收篮质量，适于推广应用。
- 一种自动打码插片机
- [发明专利]一种晶圆匀胶烘烤机-CN202111385293.6在审
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高波
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苏州康沃斯智能装备有限公司
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2021-11-22
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2022-03-01
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B05C5/02
- 本发明公开了一种晶圆匀胶烘烤机，其包括机架，机架上表面设置有收供料架、机械手、匀胶模组和烘烤台，收供料架用于放置晶圆，匀胶模组包括涂胶机构和匀胶甩干机构，涂胶机构用于对晶圆进行涂胶，匀胶甩干机构用于抹匀晶圆上的胶，烘烤台用于对涂完胶的晶圆进行烘干；本发明通过机械手将晶圆从收供料架内取出后，然后放置到匀胶模组进行涂胶并抹匀，涂完胶后再将晶圆转移到烘烤台上，最后将烘干的晶圆放置到收供料架内，实现了晶圆的自动涂胶、匀胶以及烘烤，提高了设备的自动化程度，保证了涂抹的均匀度的同时，也使表面的涂胶厚度达到要求，再通过烘烤台再进行烘干，保证了烘烤质量，进一步提升了光刻胶涂覆的均匀性。
- 一种晶圆匀胶烘烤
- [发明专利]一种晶圆涂源机-CN202111366096.X在审
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高波
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苏州康沃斯智能装备有限公司
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2021-11-18
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2022-02-11
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H01L21/67
- 本发明公开了一种晶圆涂源机，其包括机架，机架的上方从左到右依次设置有放料机构、输送机构、溶剂涂敷机构、旋转机构、磁力搅拌器、加热机构和收料机构，磁力搅拌器上放置有用于盛放扩散源的溶剂瓶，机架上还设有第一搬运机构、第二搬运机构和第三搬运机构，第一搬运机构用于将晶圆从放料机构搬运到输送机构上，第二搬运机构用于将晶圆从输送机构搬运到旋转机构上，再将晶圆从旋转机构搬运到加热机构上，第三搬运机构用于将晶圆从加热机构搬运到收料机构上；本发明实现了晶圆的自动涂源、烘干和摆放，提高效率的同时，保证了产品质量，避免了人工搬运，降低工作人员工作量，同时提高了生产效率。
- 一种晶圆涂源机
- [发明专利]一种晶圆加热涂源机-CN202111352459.4在审
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高波
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苏州康沃斯智能装备有限公司
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2021-11-16
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2022-02-01
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H01L21/67
- 本发明公开了一种晶圆加热涂源机，其包括机架，机架的上方从左到右依次设置有放料机构、输送机构、溶剂涂敷机构、旋转机构、磁力搅拌器、加热机构和收料机构，磁力搅拌器上放置有用于盛放扩散源的溶剂瓶，放料机构、输送机构的一侧设置有第一搬运机构，输送机构、溶剂涂敷机构、旋转机构、磁力搅拌器和加热机构的一侧设置有第二搬运机构，加热机构的右末端和收料机构的一侧设置有第三搬运机构，其另一侧设置有翻面机构；本发明通过实现了晶圆的自动涂源，通过加热机构的设置实现了晶圆涂源后的完全烘干和冷却，保证了产品质量，再通过第三搬运机构和翻面机构，实现对晶圆的自动摆放避免了人工搬运，提高了生产效率。
- 一种加热涂源机
- [发明专利]一种单轨硅片收篮机-CN202111345713.8在审
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高波
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苏州康沃斯智能装备有限公司
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2021-11-15
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2022-01-28
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H01L21/677
- 本发明公开了一种带打标的硅片收篮机，其包括机架，机架的上方设置有放料机构、输送机构、搬运机构和装篮组件，放料机构用于储放晶圆，其设置在传输机传输起点的一侧，搬运机构用于将晶圆从放料机构搬运到传输机的传输起点上，传输机将晶圆输送到传输终点并通过推料气缸、推料块以及篮具顶升模组将晶圆放入装篮组件内。本发明通过放料机构、输送机构、搬运机构、装篮组件和篮具顶升模组的设置实现了自动对晶圆的分片收篮，降低了用工数量，节约了用工成本，大大的提高工作效率，晶圆收篮产能达到了1000‑1200Pcs/H，装篮操作省时省力，同时叠片率小于1％，碎片率小于3‰，也保证了收篮质量，适于推广应用。
- 一种单轨硅片收篮机
- [发明专利]一种晶圆烘干装置-CN202111352463.0在审
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高波
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苏州康沃斯智能装备有限公司
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2021-11-16
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2022-01-28
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F26B15/12
- 本发明公开了一种晶圆烘干装置，其包括机架，机架上设置有烘干机构，烘干机构包括安装型材、加热台、冷却台、接料杆、凹槽、第一气缸、连接脚、滑轨、导向块、连接块和第二气缸，若干个加热台等距离设置在安装型材的上端，安装型材的上端还等距离设置有若干个冷却台，冷却台设置在加热台的右端，本发明通过烘干机构的设置，实现了在晶圆的连续涂源后，不间断地对晶圆进行的烘干和冷却，通过多个加热台和冷却台的设置，在保证了烘干质量的同时，也能对烘干的晶圆进行冷却，无需再转移晶圆进行冷却，便于工作人员进行收料装盘，节约了等待时间也提高了生产效率。
- 一种烘干装置
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