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[发明专利]一种单轴高冲击加速度传感器及其制造方法-CN201910519350.1在审
发明人：任政;苏刚;王红战 -专利权人： 芜湖天波光电技术研究院有限公司
申请日： 2019-06-17 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及传感器技术领域，具体是一种单轴高冲击加速度传感器及其制造方法，所述单轴高冲击加速度传感器包括有SOI晶圆衬底、硅梁和惯性质量块，所述SOI晶圆衬底设置有方形槽，所述SOI晶圆衬底上设置有惠斯通电桥，所述惠斯通电桥的桥臂上设置有制作在硅梁上的应变电阻，本发明体积小、灵敏度高、可以承受高载荷，SOI晶圆衬底中间带有氧化层，拓宽单轴高冲击加速度传感器使用的温度范围；解决传统制备工艺PN结因高温而导致器件失效问题，一种单轴高冲击加速度传感器及其制造方法，采用反应离子刻蚀机对压阻区进行光刻，解决现有离子注入方式会产生侧向效应拓宽压阻区面积的问题，采用SOI衬底能够提高单轴高冲击加速度传感器使用寿命。
一种单轴高冲击加速度传感器及其制造方法

[实用新型]一种带有防电源失效功能的弹载记录仪-CN202020564499.X有效
发明人：任政;苏刚;王红战;闫长新;杨军 -专利权人： 芜湖天波光电技术研究院有限公司
申请日： 2020-04-15 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： G07C3/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及高冲击检测技术领域，特别涉及一种带有防电源失效功能的弹载记录仪，包括有壳体和设置在壳体内的电路板，电路板包括有主控模块、高冲击传感器和存储模块，弹载记录仪还包括有电源模块、防撞保护结构和安装座，电源模块包括有电源管理芯片、触发开关、锂电池和若干个钽电容，防撞保护结构包括有外壳和环氧树脂层，安装座包括有固定在外壳上的内安装板和平行于内安装板所在平面的外安装板，本实用新型通过触发开关和钽电容的瞬时发电，避免弹载记录仪失效的情况，采用壳体和外壳的双壳体结构，起到防撞保护弹载记录仪的作用，提高其抗冲击能力；通过内安装板、外安装板和止退螺栓的作用下，避免安装座松动影响弹载记录仪检测。
一种带有电源失效功能记录仪

[实用新型]一种带有三向冲击传感器芯片的弹载记录仪-CN202020564512.1有效
发明人：任政;苏刚;王红战;闫长新;杨军 -专利权人： 芜湖天波光电技术研究院有限公司
申请日： 2020-04-15 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及高冲击信号检测技术领域，特别涉及一种带有三向冲击传感器芯片的弹载记录仪，包括有主控模块、电源模块、信号处理电路、信号调理电路和存储模块，所述弹载记录仪还包括有三向冲击传感器，所述三向冲击传感器包括有晶圆衬底和三个检测冲击加速度的敏感元件，每个敏感元件均包括有若干个长条状的硅梁和两个并列且在同一平面的质量块，所述晶圆衬底设置有若干个用于容纳质量块的方形槽，所有能够与同一个质量块抵触配合的硅梁上均设置有应变电阻，所有应变电阻均电性连接有引脚，本实用新型大大锁紧弹载记录仪的体积，解决了采集模式单一的问题，解决测试准确性不高的问题。能够降低检测失效的可能性。
一种带有冲击传感器芯片记录仪

[发明专利]一种带有三向冲击传感器芯片的弹载记录仪-CN202010296403.0在审
发明人：任政;苏刚;王红战;闫长新;杨军 -专利权人： 芜湖天波光电技术研究院有限公司
申请日： 2020-04-15 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本发明涉及高冲击信号检测技术领域，特别涉及一种带有三向冲击传感器芯片的弹载记录仪，包括有主控模块、电源模块、信号处理电路、信号调理电路和存储模块，所述弹载记录仪还包括有三向冲击传感器，所述三向冲击传感器包括有晶圆衬底和三个检测冲击加速度的敏感元件，每个敏感元件均包括有若干个长条状的硅梁和两个并列且在同一平面的质量块，所述晶圆衬底设置有若干个用于容纳质量块的方形槽，所有能够与同一个质量块抵触配合的硅梁上均设置有应变电阻，所有应变电阻均电性连接有引脚，本发明大大锁紧弹载记录仪的体积，解决了采集模式单一的问题，解决测试准确性不高的问题。能够降低检测失效的可能性。
一种带有冲击传感器芯片记录仪

[发明专利]一种带有防电源失效功能的弹载记录仪-CN202010297113.8在审
发明人：任政;苏刚;王红战;闫长新;杨军 -专利权人： 芜湖天波光电技术研究院有限公司
申请日： 2020-04-15 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： G07C3/08 文献下载
摘要：本发明涉及高冲击检测技术领域，特别涉及一种带有防电源失效功能的弹载记录仪，包括有壳体和设置在壳体内的电路板，电路板包括有主控模块、高冲击传感器和存储模块，弹载记录仪还包括有电源模块、防撞保护结构和安装座，电源模块包括有电源管理芯片、触发开关、锂电池和若干个钽电容，防撞保护结构包括有外壳和环氧树脂层，安装座包括有固定在外壳上的内安装板和平行于内安装板所在平面的外安装板，本发明通过触发开关和钽电容的瞬时发电，避免弹载记录仪失效的情况，采用壳体和外壳的双壳体结构，起到防撞保护弹载记录仪的作用，提高其抗冲击能力；通过内安装板、外安装板和止退螺栓的作用下，避免安装座松动影响弹载记录仪检测。
一种带有电源失效功能记录仪

[外观设计]高温振动传感器-CN201930449740.7有效
发明人：任政;苏刚;王红战;闫长新 -专利权人： 芜湖天波光电技术研究院有限公司
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：高温振动传感器。2.本外观设计产品的用途：用于高温环境的振动、加速度测量。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
高温振动传感器

[实用新型]一种高温振动传感器-CN201921350072.3有效
发明人：任政;苏刚;王红战;闫长新 -专利权人： 芜湖天波光电技术研究院有限公司
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： G01P15/09 文献下载
摘要：本实用新型涉及检测设备技术领域，特别涉及一种高温振动传感器，包括有外壳、压电陶瓷组件和质量块，所述外壳包括有壳体和固定在壳体内的中心轴，所述壳体包括有空腔，所述压电陶瓷组件包括有导电片组件和若干个压电陶瓷片，所述压电陶瓷片的两侧均设置有电极层，所述中心轴一体成形有固定座，所述固定座设置有螺纹安装孔，所述壳体远离螺纹安装孔的一端外侧一体成形有螺帽紧固部，所述导电片组件包括有S形导电片、双层导电片和电荷引出片，所述壳体的侧部开设有引脚引出孔，所述引脚引出孔内安装有端子外壳，所述壳体上开设有惰性气体注入孔，能够提高旋合强度，降低加速度检测的误差，降低装配难度，提高灵敏度，延长传感器的使用寿命。
一种高温振动传感器

[发明专利]一种高温振动传感器-CN201910763779.5在审
发明人：任政;苏刚;王红战;闫长新 -专利权人： 芜湖天波光电技术研究院有限公司
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： G01P15/09 文献下载
摘要：本发明涉及检测设备技术领域，特别涉及一种高温振动传感器，包括有外壳、压电陶瓷组件和质量块，所述外壳包括有壳体和固定在壳体内的中心轴，所述壳体包括有空腔，所述压电陶瓷组件包括有导电片组件和若干个压电陶瓷片，所述压电陶瓷片的两侧均设置有电极层，所述中心轴一体成形有固定座，所述固定座设置有螺纹安装孔，所述壳体远离螺纹安装孔的一端外侧一体成形有螺帽紧固部，所述导电片组件包括有S形导电片、双层导电片和电荷引出片，所述壳体的侧部开设有引脚引出孔，所述引脚引出孔内安装有端子外壳，所述壳体上开设有惰性气体注入孔，能够提高旋合强度，降低加速度检测的误差，降低装配难度，提高灵敏度，延长传感器的使用寿命。
壳体传感器压电陶瓷组件导电片组件螺纹安装孔压电陶瓷片高温振动一体成形导电片固定座引出孔中心轴引脚螺帽加速度检测端子外壳惰性气体检测设备使用寿命装配难度电荷电极层紧固部灵敏度引出片质量块注入孔旋合体内

[实用新型]一种高冲击传感器敏感芯片的封装结构-CN201920805154.6有效
发明人：苏刚;闫长新;王红战;任政 -专利权人： 芜湖天波光电技术研究院有限公司
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： H01L41/053 文献下载
摘要：本实用新型涉及微型电子技术领域，特别涉及一种高冲击传感器敏感芯片的封装结构，包括有敏感芯片，所述封装结构包括有矩形结构的金属外壳和金属盖板，所述金属外壳的中部设置有凹槽，所述金属外壳的侧面设置有供电连接线穿过与敏感芯片电性连接的通孔，所述通孔与凹槽内侧小头端连通，所述金属盖板远离敏感芯片的一侧为凹球面，所述金属外壳在自身长度方向上位于凹槽的两侧均设置有安装孔，采用金属外壳使得敏感芯片能够更高温的环境下，保持性能不变，金属外壳的气密性更好，金属盖板与凹槽封闭的空间充斥惰性气体，防止敏感芯片氧化或减小敏感芯片受到温度的影响，使用寿命较长。
敏感芯片金属外壳封装结构金属盖板高冲击传感器通孔自身长度方向本实用新型供电连接线凹槽封闭侧面设置电性连接惰性气体矩形结构使用寿命微型电子安装孔凹球面气密性小头端减小连通穿过

[实用新型]一种能够抗电磁干扰的高压共轨传感器-CN201920622257.9有效
发明人：苏刚;孙远程;任政;王红战 -专利权人： 芜湖天波光电技术研究院有限公司
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及汽车压力传感器技术领域，尤其是涉及一种能够抗电磁干扰的高压共轨传感器，包括有基体、壳体和电性插头，所述基体沿着自身的中心线设置有油压腔，所述基体位于油压腔内的一端设置有一体成型的金属膜片，所述壳体内安装有基座，所述基座内设置有硅压力芯片，所述硅压力芯片连接有电路板，所述电路板的前部电路为惠斯通电桥，惠斯通电桥的若干个节点均电性连接有低通滤波电路，所述凹槽内还设置有若干个测温模块，所述测温模块包括有热敏电阻和测温电路板，本实用新型的低通滤波电路能够消除共轨燃油压力信号因电磁干扰出现错误，测温模块能够起到对油温进行检测，也能够对传感器自身进行温度检测。
电路板测温模块传感器低通滤波电路本实用新型硅压力芯片惠斯通电桥抗电磁干扰高压共轨油压腔汽车压力传感器共轨燃油压力一体成型的电磁干扰电性插头电性连接金属膜片热敏电阻温度检测一端设置测温壳体前部油温电路体内检测

[发明专利]一种高压共轨压力传感器-CN201910358465.7在审
发明人：苏刚;孙远程;任政;王红战 -专利权人： 芜湖天波光电技术研究院有限公司
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：本发明涉及汽车压力传感器技术领域，尤其是涉及一种高压共轨压力传感器，包括有基体、壳体和电性插头，所述基体沿着自身的中心线设置有油压腔，所述基体位于油压腔内的一端设置有一体成型的金属膜片，所述壳体内安装有基座，所述基座内设置有粘结在金属膜片上的硅压力芯片，所述硅压力芯片连接有电路板，所述硅压力芯片与金属膜片之间设置有绝缘玻璃层，所述电路板通过引脚组与电性插头电性连接，所述硅压力芯片上增设在有真空保护罩，本发明，硅压力芯片经过高温烧结后，使得其高温性能增强，所述真空保护罩保护电路板和硅压力芯片与油污、灰尘、腐蚀性气体等隔离，避免降低传感器的性能。
硅压力芯片电路板金属膜片压力传感器电性插头高压共轨真空保护油压腔汽车压力传感器腐蚀性气体绝缘玻璃层一体成型的电性连接高温烧结高温性能一端设置传感器引脚组油污壳体粘结隔离体内增设

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