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[实用新型]液压卡轨间歇推拉式移动装置-CN201320723829.5有效
发明人：王跃清;杨福广;赵志立;黄月;胡星强;张换平;岳忠胜;谭会会 -专利权人：北京英迈特矿山机械有限公司
申请日： 2013-11-13 - 公布日： 2014-04-23 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种液压卡轨间歇推拉式移动装置，用于移动放置在工字形轨道上的被移动设备，包括：支撑车架，所述支撑车架将被移动设备支撑在工字形轨道上；夹轨器；推拉液压缸，所述推拉液压缸以所述夹轨器为随动支点推拉支撑车架，以移动支撑在所述支撑车架上的被移动设备。通过支点卡轨、液压缸推拉被移物移动、支点重定位、再次推拉被移物移动的循环式推拉动作，实现对重型设备的不定长距离的沿轨移动。装置采用液压驱动、结构紧凑、工作可靠，特别适合如煤矿井下对空间要求苛刻的工作环境。
液压间歇推拉移动装置

[发明专利]300mm立式氧化炉炉体热电偶固定装置-CN200810240138.3有效
发明人：钟华;董金卫;胡星强;艾伦·埃马米 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2008-12-17 - 公布日： 2010-08-25 - 主分类号： F27B1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种300mm立式氧化炉炉体热电偶固定装置，其特征在于：设有固定板(5)，该固定板的外侧中心部位设有一个凹槽，在该凹槽内固定设置一个固定块(3)，热电偶(2)固定在该固定块的中心孔中，固定块的一侧设有一个直边，固定块的一侧固定设有一个挡板(1)，该挡板的内侧边与固定块的直边紧靠在一起将固定块和热电偶卡住，所述固定板通过螺栓(4)固定在立式氧化炉炉体的内壁上；热电偶固定装置设有数个，纵向间隔设置在立式氧化炉炉体上；所述固定板、固定块、挡板用耐热材料制成。本发明适用于300mm立式氧化炉炉体热电偶的固定，结构科学、新颖，固定效果好，易于更换热电偶。
300 mm 立式氧化炉炉体热电偶固定装置

[发明专利]300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置-CN200810240139.8无效
发明人：钟华;赵星梅;胡星强;艾伦·埃马米 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2008-12-17 - 公布日： 2010-07-14 - 主分类号： F27B1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置，该固定装置由数个绝缘子组构成，每个绝缘子组设有支撑杆、顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子，该顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子穿在所述支撑杆上，上下相邻两个绝缘子的凹凸部分相互吻合，并各设有一个半圆凹槽相对，形成空隙，该空隙的直径大于炉丝的直径，炉丝支撑在该绝缘子间的空隙中，支撑杆的上下两端分别固定在氧化炉炉体的顶块和底块上；数个绝缘子组在氧化炉炉体内圆周上均匀分布。本发明适用于处理300mm硅片的立式氧化炉炉体的炉丝固定，加工工艺好。从而很好支撑了炉丝，由于炉丝固定结构科学、合理，从而延长了炉体寿命。
300 mm 立式氧化炉炉体炉丝固定装置

[实用新型]300mm立式氧化炉双壁反应管-CN200820234108.7有效
发明人：钟华;董金卫;赵星梅;胡星强;艾伦·埃马米 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2008-12-31 - 公布日： 2010-01-13 - 主分类号： F27B1/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉双壁反应管，设有圆桶形石英材料的外管壁和内管壁，内管壁与外管壁之间设有间隔夹层，外管壁上端封闭，内管壁上端为开口，内、外管壁下端密封连接；在内管壁的下端设有连通内、外管壁之间夹层和气源的进气管及连通内管壁的内腔与反应管外的出气管；在外管壁内焊接固定有两个偶管，在该偶管的下端焊接有一个半圆柱管，该半圆柱管焊在内管壁上，其外侧设有一个用以安装热电偶的椭圆形开口。在反应管下面设有法兰盘，该法兰盘上设有一个定位凸块。本实用新型适用于立式氧化炉的炉体内使用，是硅片氧化的反应腔室，加工质量易于保证，结构完善，使用方便灵活。
300 mm 立式氧化炉双壁反应

[实用新型]300mm立式氧化炉炉体-CN200820124688.4有效
发明人：钟华;盛金龙;程朝阳;胡星强;艾伦·埃马米 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2008-12-17 - 公布日： 2010-01-13 - 主分类号： F27B1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉炉体，设有主体、顶盖、基座，主体为一直立圆筒形，由内到外依次设有炉丝、炉丝支撑件、保温棉层、内壁、冷却管、外壁，炉丝由炉丝支撑件支撑固定，保温棉层设置在内壁内侧，在内壁和外壁之间设置冷却管；设有多个热电偶、炉丝引线穿过保温层、内壁、外壁，横向固定在内壁上；在主体上口沿设有环形顶块，顶块中间设有顶盖，下口设有底块，顶盖、顶块、保温棉、底块组成保温层，保温层固定在内壁上；冷却管和外壁也固定在内壁上；内壁固定在基座上，基座上设有冷却密封槽和进出水口。本实用新型适用于300mm硅片进行氧化、退火等工艺，温度控制精确，具有高质量、高寿命、高效率的特点。
300 mm 立式氧化炉炉体

[实用新型]300mm立式氧化炉保温桶-CN200820234107.2有效
发明人：钟华;董金卫;赵星梅;胡星强;艾伦·埃马米 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2008-12-31 - 公布日： 2010-01-13 - 主分类号： F27D5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉保温桶，其特征在于：设有底部石英板(1)、中间石英片(2)、支撑杆(3)和顶部石英板(4)，所述支撑杆为数个，垂直固定安装在底部石英板和顶部石英板之间，所述石英片为多片，横向间隔均匀地固定安装在支撑杆上；在顶部石英板的上表面设有用于固定石英舟的固定槽(4.1)。所述底部石英板、顶部石英板为圆环形；中间石英片为圆片形，并且该中间石英片的结构为中间是OP材料层(2.1)，上下两层及周边为高纯透明石英板材包覆层(2.2)。本实用新型适用于立式氧化炉的石英舟的支撑和保温，结构完善，保温效果好，洁净度高，能保证加工质量。
300 mm 立式氧化保温桶

[实用新型]300mm立式氧化炉石英舟-CN200820234113.8有效
发明人：钟华;董金卫;赵星梅;胡星强;艾伦·埃马米 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2008-12-31 - 公布日： 2009-12-09 - 主分类号： F27D5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉石英舟，其特征在于：设有支撑杆(1)、加强筋(2)、石英底板(3)、石英顶板(4)；所述支撑杆设有四根，竖向垂直固定在所述石英底板和石英顶板之间，其相互间隔地设置，该间隔方便硅片取放；在该支撑杆上横向设有支撑硅片的支撑齿(1.1)；在支撑杆之间，横向设有加强筋；在所述石英底板的底面设有与氧化炉保温桶联结的卡齿(4.1)。本实用新型适用于立式氧化炉中支撑硅片，具有整体性强，使用方便，具有保障工艺加工效果好的特点。
300 mm 立式氧化石英

[实用新型]300mm立式氧化炉炉体冷却系统-CN200820124689.9有效
发明人：赵星梅;董金卫;胡星强;艾伦·埃马米 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2008-12-17 - 公布日： 2009-11-25 - 主分类号： F27B1/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉炉体冷却系统，冷却系统由炉体冷却结构和基座冷却结构两部分组成；所述炉体冷却结构由冷却管夹、螺栓组、冷却管、连接管组成，冷却管为上下迂回弯曲并围成圆筒状，设置在氧化炉炉体的内外壁之间，由冷却管夹和螺栓组固定在炉体内壁上，并设有连接管与外面水管连通；所述基座冷却结构由基板、冷却槽、冷却环、隔离块、进出水管组成，基板上设有冷却槽，该冷却槽中设有隔离块将冷却槽断开，隔离块两侧设有进水孔、出水孔与进出水管连通，所述冷却环设置在冷却槽上面，通过焊接将冷却槽密封。本实用新型适用于300mm立式氧化炉炉体的冷却，结构简捷、完善，冷却效果好，控制灵活。
300 mm 立式氧化炉炉体冷却系统

[实用新型]300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置-CN200820124687.X有效
发明人：钟华;赵星梅;胡星强;艾伦·埃马米 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2008-12-17 - 公布日： 2009-11-25 - 主分类号： F27B1/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置，该固定装置由数个绝缘子组构成，每个绝缘子组设有支撑杆、顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子，该顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子穿在所述支撑杆上，上下相邻两个绝缘子的凹凸部分相互吻合，并各设有一个半圆凹槽相对，形成空隙，该空隙的直径大于炉丝的直径，炉丝支撑在该绝缘子间的空隙中，支撑杆的上下两端分别固定在氧化炉炉体的顶块和底块上；数个绝缘子组在氧化炉炉体内圆周上均匀分布。本实用新型适用于处理300mm硅片的立式氧化炉炉体的炉丝固定，加工工艺好。从而很好支撑了炉丝，由于炉丝固定结构科学、合理，从而延长了炉体寿命。
300 mm 立式氧化炉炉体炉丝固定装置

[实用新型]300mm立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置-CN200820124686.5有效
发明人：赵星梅;董金卫;胡星强;艾伦·埃马米 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2008-12-17 - 公布日： 2009-11-25 - 主分类号： F27B1/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置，其特征在于：设有内固定板(1)、中固定板(2)、外固定板(3)，所述中固定板卡入内固定板中部的方槽中，炉丝引线(4)穿过内固定板、中固定板中间的长圆孔(2.1)和外固定板伸到氧化炉炉体外壁外面，炉丝引线的另一端与炉丝6焊接在一起，炉丝引线中部与中固定板焊接在一起，内、外固定板由绝缘、耐热材料制成，通过螺栓(5)固定在氧化炉炉体的内壁上。本实用新型适用于300mm硅片立式氧化炉炉体的炉丝引线固定，引线固定结构合理，无松动及攒动现象。
300 mm 立式氧化炉炉体炉丝引线固定装置

[实用新型]300mm立式氧化炉的炉体保温结构-CN200820233732.5有效
发明人：赵星梅;董金卫;胡星强;艾伦·埃马米 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2008-12-23 - 公布日： 2009-11-25 - 主分类号： F27B1/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉的炉体保温结构，设有炉体保温层，炉体保温层为轻质保温材料制成的圆筒形，设置在炉体外壳里面，在炉体保温层的上口设有圆盘形轻质保温材料顶块，该顶块外面包有固定环，该固定环与炉体外壳焊接在一起，在顶块内均匀镶嵌有数个硬质绝缘、隔热材料制成的绝热帽，在顶块中间设有轻质保温材料顶盖；在炉体保温层底部设有轻质保温材料底块，该底块外面包有底部固定环，该固定环与炉体外壳焊接在一起，在底块内均匀镶嵌有数个硬质绝缘、隔热材料制成的绝热帽；在所述炉体上口的固定环上设有搬运挂件。本实用新型适用于立式氧化炉炉体保温，结构完善，密封保温性能好，加工方便、产品质量高，而且节能效果好。
300 mm 立式氧化保温结构

[实用新型]300mm立式氧化炉炉体热电偶固定装置-CN200820124685.0无效
发明人：钟华;董金卫;胡星强;艾伦·埃马米 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2008-12-17 - 公布日： 2009-11-25 - 主分类号： F27B1/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉炉体热电偶固定装置，其特征在于：设有固定板(5)，该固定板的外侧中心部位设有一个凹槽，在该凹槽内固定设置一个固定块(3)，热电偶(2)固定在该固定块的中心孔中，固定块的一侧设有一个直边，固定块的一侧固定设有一个挡板(1)，该挡板的内侧边与固定块的直边紧靠在一起将固定块和热电偶卡住，所述固定板通过螺栓(4)固定在立式氧化炉炉体的内壁上；热电偶固定装置设有数个，纵向间隔设置在立式氧化炉炉体上；所述固定板、固定块、挡板用耐热材料制成。本实用新型适用于300mm立式氧化炉炉体热电偶的固定，结构科学、新颖，固定效果好，易于更换热电偶。
300 mm 立式氧化炉炉体热电偶固定装置

[发明专利]300mm立式氧化炉保温桶-CN200810241153.X无效
发明人：钟华;董金卫;赵星梅;胡星强;艾伦·埃马米 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2008-12-31 - 公布日： 2009-10-07 - 主分类号： H01L21/316 文献下载
摘要：本发明公开了一种300mm立式氧化炉保温桶，其特征在于：设有底部石英板(1)、中间石英片(2)、支撑杆(3)和顶部石英板(4)，所述支撑杆为数个，垂直固定安装在底部石英板和顶部石英板之间，所述石英片为多片，横向间隔均匀地固定安装在支撑杆上；在顶部石英板的上表面设有用于固定石英舟的固定槽(4.1)。所述底部石英板、顶部石英板为圆环形；中间石英片为圆片形，并且该中间石英片的结构为中间是OP材料层(2.1)，上下两层及周边为高纯透明石英板材包覆层(2.2)。本发明适用于立式氧化炉的石英舟的支撑和保温，结构完善，保温效果好，洁净度高，能保证加工质量。
300 mm 立式氧化保温桶

[发明专利]300mm立式氧化炉双壁反应管-CN200810241154.4无效
发明人：钟华;董金卫;赵星梅;胡星强;艾伦·埃马米 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2008-12-31 - 公布日： 2009-09-09 - 主分类号： F27B1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种300mm立式氧化炉双壁反应管，设有圆桶形石英材料的外管壁和内管壁，内管壁与外管壁之间设有间隔夹层，外管壁上端封闭，内管壁上端为开口，内、外管壁下端密封连接；在内管壁的下端设有连通内、外管壁之间夹层和气源的进气管及连通内管壁的内腔与反应管外的出气管；在外管壁内焊接固定有两个偶管，在该偶管的下端焊接有一个半圆柱管，该半圆柱管焊在内管壁上，其外侧设有一个用以安装热电偶的椭圆形开口。在反应管下面设有法兰盘，该法兰盘上设有一个定位凸块。本发明适用于立式氧化炉的炉体内使用，是硅片氧化的反应腔室，加工质量易于保证，结构完善，使用方便灵活。
300 mm 立式氧化炉双壁反应

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