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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种硅片的化学镀镍钯金装置-CN202310800177.9在审
发明人：陈云利;孙彩霞;肖锦成 -专利权人：苏州尊恒半导体科技有限公司
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： C23C18/08 文献下载
摘要：本发明涉及镀镍钯金技术领域，且公开了一种硅片的化学镀镍钯金装置，包括镀箱主体和位于镀箱主体内的挂篮，镀箱主体上端两侧均固定安装有U型架，两个U型架之间转动设置有控制挂篮移动的收纳机构，本发明通过在镀箱主体内滑动连接的矩形框上端转动设置密封机构，通过控制第一滑块与第一横槽和第一螺旋槽的滑动，以及第二滑块与第二横槽和第二螺旋槽的滑动，在需要将装有硅片的挂篮放入镀箱主体内时，可使得矩形框带动密封机构上移，上移过程中通过挂篮的挤压将密封机构打开，然后控制挂篮下移，挂篮还未与试剂接触时，密封机构自动关闭，避免溅起的试剂溅出，工作结束后，可控制挂篮上移，此时密封机构处于关闭状态，避免上移溅起的试剂溅出。
一种硅片化学镀镍钯金装置

[发明专利]一种晶圆镀液的快速降温设备-CN202310628126.2在审
发明人： 肖锦成;陈云利;赵细海 -专利权人：苏州尊恒半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C23C18/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆镀液的快速降温设备，涉及晶圆镀液降温技术领域，包括固定槽，所述固定槽的两侧内壁均开设有转动孔，两个所述转动孔内分别转动连接有转动管和从动管。本发明通过循环冷却单元的设置，水泵将水箱中的水抽出并通过固定管导入冷却箱内，冷却箱将水冷却后通过出水管和从动管导入连接管内，然后通过转动管和进水管流回水箱内，进而能够对晶圆镀液进行循环水冷，通过风冷单元的设置，旋叶转动能够将晶圆镀液推送固定筒的顶部，然后晶圆镀液从固定筒的出料口排出进入出料通道上，实现了对晶圆镀液进行翻料，使得晶圆镀液的出料过程能够充分与空气接触，配合转动扇叶104对晶圆镀液的吹风散热，从而提高了对晶圆镀液进行冷却效果。
一种晶圆镀液快速降温设备

[发明专利]一种晶圆均匀电镀设备-CN202310649101.0有效
发明人： 肖锦成 -专利权人：苏州尊恒半导体科技有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C25D17/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆均匀电镀设备，涉及晶圆电镀技术领域，包括基座，所述基座的表面固定有电镀槽箱，且电镀槽箱靠近底部的一端开设有底腔，还包括靠板和混液组件，所述靠板设置在电镀槽箱的开口处，靠板的底端两侧均开设有预留通口，且靠板的一侧与电镀槽箱之间固定有一对撑板，所述靠板的另一侧固定有V状轨架，且V状轨架上开设有T形通槽，所述V状轨架上设置有挂具，所述T形通槽的一端内壁固定安装有多对等距离分布的棱柱块；本发明当从动转轴进行转动时，能够带动螺旋绞片进行转动，配合设置的阔头套筒，能够使得电镀液鼓向锥头端，并使电镀液经过锥头端进行分散；设置的多个分流弧片，能够提高阔头套筒中输出电镀液的分散均匀性。
一种均匀电镀设备

[发明专利]一种可回收电镀液的电镀装置-CN202310449879.7有效
发明人： 肖锦成;陈云利;赵细海 -专利权人：苏州尊恒半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C25D17/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种可回收电镀液的电镀装置，涉及电镀技术领域，包括基座，所述基座上固定安装有环形电镀池，所述基座上靠近环形电镀池的位置处固定有主撑架，还包括C形坡面端、双层下轨槽和上轨槽、立柱以及推动组件，所述C形坡面端固定安装在环形电镀池内，且C形坡面端的一端与环形电镀池之间构成电镀沉槽，所述双层下轨槽和上轨槽均设置在环形电镀池的上方位置；本发明当零部件电镀完成后，多余的电镀液会滴落在正下方的C形坡面端上，同时，由于C形坡面端的表面呈倾斜结构，盛接的电镀液能够重新流回电镀沉槽中，从而实现对电镀液的回收利用，同时，也避免了滴落的电镀液对生产现场造成污染。
一种可回收电镀装置

[实用新型]产品摆动机-CN202223066938.2有效
发明人： 肖锦成;赵海峰;赵细海 -专利权人：苏州尊恒半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及摆动机领域，尤其是产品摆动机。该摆动机包括底座、偏心往复机构、导杆、上固定座、产品支座、产品传感器，所述底座安装有用于抬升导杆的偏心往复机构，导杆滑配连接在上固定座上，导杆顶端固定有产品支座，上固定座上固定有产品传感器。本实用新型通过偏心往复机构驱使产品支座进行直线往复运动，进而实现对产品的摆动。通过产品传感器来自动触发摆动机的启动。本申请减少了厂房的占用面积，简化了结构。
产品动机

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