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[发明专利]空调底盘电加热控制方法、空调器和计算机可读存储介质-CN202311058061.9在审
发明人：陈代兵;刘佰兰;李奇芮;周伟康;肖亮锋;陈丹娜 -专利权人：珠海格力电器股份有限公司
申请日： 2023-08-21 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： F24F11/64 文献下载
摘要：本发明提供一种空调底盘电加热控制方法、空调器和计算机可读存储介质，空调底盘电加热控制方法包括当满足电加热器的开启条件；根据预设交流电压数据获取的供电交流电压数据生成电压系数，根据电压系数所在的预设数值区间控制电加热器间歇模式运行或持续模式运行。空调器和计算机可读存储介质能实现上述的空调底盘电加热控制方法。电压系数反映了供电交流电压的变化情况，根据电压系数所处预设数值区间不同，电加热器运行模式不同，避免电热器长期处于持续运行，降低能耗，避免电加热带烧坏。
空调底盘加热控制方法空调器计算机可读存储介质

[实用新型]一种抛光垫厚度在线测量装置-CN202223398417.7有效
发明人：袁黎光;肖亮锋;吴泽佳;石鑫;楚慧颖 -专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本实用新型涉及抛光垫测量技术领域，具体涉及一种抛光垫厚度在线测量装置，包括底座、调节组件和测量表组件，底座上设有立柱，调节组件包括套设在立柱上的移动环和转动臂，转动臂位于移动环的上方，转动臂上滑动安装有伸长臂，测量表组件包括测量表和探针，测量表的外部套设有安装环，测量表通过安装环安装在伸长臂上，探针设置在测量表的底部。本实用新型操作简单，可安装在抛光机台上随时对抛光垫的厚度进行测量，测得抛光垫任意位置的厚度；通过移动环和立柱、转动臂和立柱以及伸长臂和转动臂的配合，起到灵活调节高度、角度和伸缩长度的作用；通过设置卡槽，使得安装环在支架上可以便捷地安装和取下，进而实现测量表组件可快速拆装的效果。
一种抛光厚度在线测量装置

[实用新型]一种晶圆清洗装置-CN202223603309.9有效
发明人：袁黎光;吴泽佳;王杰;肖亮锋;石鑫;楚慧颖;黄泽熹;崔庆实;杨小牛 -专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶圆清洗装置，包括作业平台；晶圆夹具，可旋转地设置在作业平台上。其中，晶圆夹具包括用于放置待清洗晶圆的承盘和若干用于锁定晶圆的锁定夹扣；锁定夹扣的第一端部与承盘铰接，与第一端部相对的第二端部用于与晶圆的上表面抵接；第二端部在锁定状态下更靠近承盘的旋转轴心，且第二端部所处水平位置低于第一端部。本实用新型通过晶圆夹具的设计，将锁定夹扣设置为倾斜向下式抵住晶圆的上表面，在旋转过程中由于离心力的作用，使锁定夹扣会对晶圆表面自然施加压力，而在晶圆承盘转速越高时，施加的压力就越大，因此次锁定方式可以根据转速自适应的改变压力，保证晶圆在旋转过程中不会脱出。结构较简单，操作简易，节约成本。
一种清洗装置

[发明专利]空调压缩机开停机的温差的补偿方法以及其装置-CN202211675774.5在审
发明人：周伟康;陈宇;李奇芮;陈代兵;肖亮锋;陈丹娜 -专利权人：珠海格力电器股份有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： F24F11/86 文献下载
摘要：本申请提供了一种空调压缩机开停机的温差的补偿方法以及其装置。该方法包括：方法中，首先，在空调开机运行的情况下，获取第一时长、第二时长、第三时长以及第四时长；然后，计算第二时长和第一时长的差值，得到第一差值，并在第一差值不在第一预定范围内的情况下，调整空调压缩机的预设停机温差，得到第一目标停机温差；最后，计算第四时长和第三时长的差值，得到第二差值，并在第二差值不在第二预定范围内的情况下，调整空调压缩机的预设开机温差，得到第一目标开机温差。该方法通过空调压缩机任意相邻的两次的运行时间以及相邻两次的运行间隔时间，解决了现有技术中在不同的环境下均依据预设开停机温差不能够合理的控制压缩机的问题。
空调压缩机停机温差补偿方法及其装置

[实用新型]一种抛光垫压缩比测量装置-CN202223398394.X有效
发明人：王杰;肖亮锋;袁黎光;吴泽佳;石鑫 -专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G01N3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及抛光垫测量技术领域，具体涉及一种抛光垫压缩比测量装置，包括测量平台、调节组件和测量表组件，测量平台上设有立柱，调节组件包括套设在立柱上的移动环，移动环上转动连接有支架，测量表组件包括测量表和探针，测量表的外部套设有安装环，测量表通过安装环安装在支架上，探针设置在测量表的底部，探针的底端设有砝码连接块。本实用新型的结构简单，操作方便，且便于调节测量组件的高度和角度，便于多次测量；通过设置第一卡槽和第二卡槽，使得安装环在支架上、砝码在砝码连接块上可以快速地拆装；移动环通过螺栓与立柱连接固定，可便捷地调节高度；支架套设在移动环上，可便捷地调节角度。
一种抛光压缩比测量装置

[发明专利]多孔聚氨酯弹性体及其制备方法、应用-CN202211655565.4在审
发明人：袁黎光;吴泽佳;王杰;楚慧颖;石鑫;肖亮锋;杨小牛 -专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C08L75/04 文献下载
摘要：本申请涉及一种多孔聚氨酯弹性体，所述多孔聚氨酯弹性体的原料组成包括第一热塑性聚氨酯以及含聚合物微球体的功能母粒；所述含聚合物微球体的功能母粒包含有热塑性聚合物以及聚合物微球体。聚合物微球体作为致孔剂，先将其与热塑性聚合物混合构成功能母粒，然后再与第一热塑性聚氨酯混合制备形成多孔聚氨酯弹性体，使作为致孔剂的聚合物微球体先后经历两次被聚合物浸润的过程，得到充分浸润的聚合物微球体在多孔聚氨酯弹性体材料中的分布更加均匀，团聚减少，内部密度均匀性和片间密度均匀性提高，有利于提高抛光效果的一致性。
多孔聚氨酯弹性体及其制备方法应用

[发明专利]一种聚氨酯抛光垫的抛光层及其应用-CN202210551238.8有效
发明人：王杰;袁黎光;吴泽佳;楚慧颖;肖亮锋;石鑫;杨小牛 -专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： B24B37/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种聚氨酯抛光垫的抛光层及其应用，通过包括异氰酸酯预聚物、扩链剂和添加剂的原料反应制得，所述异氰酸酯预聚物是由异氰酸酯、大分子多元醇、小分子二醇反应所得的NCO含量为6wt％‑10wt％的预聚物，所述添加剂包括中空聚合物微球；所述小分子二醇由二胺与环状碳酸酯反应所得；制得抛光层在化学机械抛光垫中的应用，具有如下优点：①所生产聚氨酯抛物垫抛光层有较低的软段玻璃化转变温度，模量变化平稳，使得在抛光过程中抛光速率更稳定；②抛光层的损耗因子较低，从而将使抛光过程内生热少，引起的温度变化更低，抛光时应力滞后更少。③抛光层的密度更均匀，因而将使抛光过程的抛光行为会更稳定，缺陷更少。
一种聚氨酯抛光及其应用

[发明专利]一种空调滤袋清洗装置-CN202211617065.1在审
发明人： 肖亮锋;李奇芮;陈代兵 -专利权人：珠海格力电器股份有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： B01D41/00 文献下载
摘要：本发明提供一种空调滤袋清洗装置，包括支撑板、第一夹板、第二夹板、夹持控制机构、毛刷、移动控制机构、水泵以及喷头，支撑板在竖直方向上贯穿开设有出水孔，第一夹板和第二夹板在竖直方向上位于支撑板的上方，夹持控制机构可控制第一夹板和第二夹板在第一方向上朝向或远离彼此移动，第一方向与竖直方向垂直设置，毛刷在竖直方向上位于支撑板的上方，移动控制机构可控制毛刷在第一方向上移动，水泵的进水端连通水源，水泵的出水端连通喷头，喷头在竖直方向上位于支撑板的上方，且喷头的喷射口朝向支撑板设置。本发明空调滤袋清洗装置能够自动化进行清洗操作，清洗效率高，且清洗效果更好。
一种空调清洗装置

[发明专利]一种抛光垫-CN202111036681.3有效
发明人：杨小牛;王杰;袁黎光;肖亮锋;楚慧颖;吴泽佳 -专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
申请日： 2021-09-03 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： B24B37/26 文献下载
摘要：本发明涉及化学机械抛光技术领域，公开了一种抛光垫，其包括抛光层，抛光层的表面上设有第一沟槽、第二沟槽及第三沟槽；第一沟槽以抛光层的圆心为起点沿径向延伸；第二沟槽与第一沟槽连通，第二沟槽以第一沟槽的末端为起点向抛光层的边缘延伸，第一沟槽的末端至少连接两个第二沟槽，第一沟槽末端的两个第二沟槽形成第一分叉结构；第三沟槽位于抛光层的表面并与第二沟槽连通，第三沟槽以第二沟槽的末端为起点延伸至所述抛光层的边缘，第二沟槽的末端至少连接两个第三沟槽，第二沟槽末端的两个第三沟槽形成第二分叉结构。本发明的抛光垫利用径向分叉的沟槽改变抛光液的流动速度，提高了抛光的均匀性。
一种抛光

[发明专利]高孔隙率高模量抛光层及其制备方法与抛光垫及其应用-CN202210044977.8有效
发明人：楚慧颖;袁黎光;王杰;吴泽佳;肖亮锋;刘健;杨小牛 -专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
申请日： 2022-01-14 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： B24B37/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种高孔隙率高模量抛光层及其制备方法与抛光垫及其应用。所述高孔隙率高模量抛光层为热固性聚氨酯抛光层，具有丰富的孔隙结构，所述孔隙结构包括大孔隙和小孔隙，并表现出高储能模量和低密度的特征，25℃下的储能模量为50‑250MPa，可提高高孔隙率抛光垫的硬度和模量，有效改善高孔隙率抛光垫耐磨性能差、去除速率低、平坦度差的问题。所述制备方法采用湿法相分离、后进行交联固化的制备工艺，形成热固性聚氨酯抛光层，实现高孔隙率和高储能模量的统一。所述抛光垫包含所述高孔隙率高模量抛光层，实现了高平坦度和高去除速率的平衡，具有更长的使用寿命；所述的抛光垫可应用于光学衬底或半导体衬底抛光中。
孔隙率高模量抛光及其制备方法应用

[实用新型]一种化学机械抛光垫-CN202123092169.9有效
发明人：袁黎光;肖亮锋;王杰;刘健;石鑫;杨小牛 -专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： B24B37/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种化学机械抛光垫。本实用新型的化学机械抛光垫包括上抛光层和下抛光层；所述上抛光层采用包括粘贴的方式设置在所述下抛光层的表面上，摒弃了缓冲层，使得该化学机械抛光垫可以直接使用；所述上抛光层为棱柱阵列层，且相邻的棱柱之间形成具有沟槽。从而无需采用铣削的方式加工开槽，减少原材料的浪费，降低抛光垫的制作成本，同时避免了铣削加工导致的碎屑在沟槽中的残留，提高生产的晶圆的质量。而且，所述上抛光层的棱柱为多边形棱柱，能提高抛光液分布均匀性，有效延缓抛光流出时间，提高抛光垫利用率。
一种化学机械抛光

[发明专利]一种耐高温老化硬质聚氨酯弹性体及其制备方法-CN202111668384.0在审
发明人：王杰;袁黎光;肖亮锋;黄泽熹;杨小牛 -专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： C08G18/64 文献下载
摘要：本发明属于热塑性弹性体技术领域，具体涉及一种耐高温老化硬质聚氨酯弹性体，包括以下组分及组分质量份数：异氰酸酯200‑800份、羟基聚醚多元醇200‑1500份、木质素200‑1500份、扩链剂20‑200份；其中，所述羟基聚醚多元醇为二羟基聚醚多元醇、三羟基聚醚多元醇、四羟基聚醚多元醇中的一种或多种。本发明提供了一种耐高温老化硬质聚氨酯弹性体，不仅具有较高的硬度及较好的高温下抗老化性能，而且合成材料绿色环保，价格低廉，具有良好的工业应用价值。本发明提供了一种制备上述耐高温老化硬质聚氨酯弹性体的制备方法，原料易得，合成操作简单，适合工业化生产应用。
一种耐高温老化硬质聚氨酯弹性体及其制备方法

[实用新型]一种化学机械抛光垫-CN202122706105.7有效
发明人：袁黎光;肖亮锋;王杰;楚慧颖;吴泽佳;杨小牛 -专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
申请日： 2021-11-05 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： B24B37/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及化学机械抛光技术领域，具体涉及一种化学机械抛光垫，包括圆形抛光层，抛光层表面均匀设有多个以抛光层中心为圆心的同心圆沟槽，相邻的两个同心圆沟槽之间均匀设有多个切向沟槽，切向沟槽从靠近圆心的同心圆沟槽的切向方向出发，并延伸至远离圆心的同心圆沟槽上，切向沟槽与同心圆沟槽的连接处相连通。本实用新型设置多个同心圆沟槽，提高抛光垫的储液量，改善抛光垫表面的压力分布；通过在相邻两个同心圆沟槽之间设置多个切向沟槽，实现抛光液的引流，提高抛光液更新的整体均匀性，降低抛光液流动过程中的能量损失，防止碎屑沉积，还能防止抛光液沿同心圆沟槽溅出，改善液膜厚度分布，保持液膜厚度一致，提高抛光品质。
一种化学机械抛光

[实用新型]一种表面具有沟槽的抛光垫-CN202122100132.X有效
发明人：杨小牛;王杰;袁黎光;肖亮锋;楚慧颖;吴泽佳 -专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： B24B37/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及化学机械抛光技术领域，公开了一种表面具有沟槽的抛光垫，其包括圆形的抛光层，抛光层上设置有第一沟槽、第二沟槽及第三沟槽；第一沟槽位于抛光层的表面，且第一沟槽以抛光层的圆心为起点呈螺旋状延伸至抛光层的边缘；第二沟槽位于抛光层的表面，且第二沟槽以抛光层的圆心为起点沿径向延伸至抛光层的边缘；第三沟槽位于抛光层的表面，且第三沟槽以第二沟槽上的某点为起点延伸至抛光层的边缘。本实用新型实施例的抛光垫通过螺旋状延伸的第一沟槽能够调控抛光液的切向加速度，实现抛光液均匀分布，提高去除率，通过径向延伸的第二沟槽及与第二沟槽呈分叉型的第三沟槽能够调节抛光液的径向加速度，延缓抛光液速度变化。
一种表面具有沟槽抛光

[发明专利]一种表面具有沟槽的抛光垫-CN202111023506.0在审
发明人：杨小牛;王杰;袁黎光;肖亮锋;楚慧颖;吴泽佳 -专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： B24B37/26 文献下载
摘要：本发明涉及化学机械抛光技术领域，公开了一种表面具有沟槽的抛光垫，其包括圆形的抛光层，抛光层上设置有第一沟槽、第二沟槽及第三沟槽；第一沟槽位于抛光层的表面，且第一沟槽以抛光层的圆心为起点呈螺旋状延伸至抛光层的边缘；第二沟槽位于抛光层的表面，且第二沟槽以抛光层的圆心为起点沿径向延伸至抛光层的边缘；第三沟槽位于抛光层的表面，且第三沟槽以第二沟槽上的某点为起点延伸至抛光层的边缘。本发明实施例的抛光垫通过螺旋状延伸的第一沟槽能够调控抛光液的切向加速度，实现抛光液均匀分布，提高去除率，通过径向延伸的第二沟槽及与第二沟槽呈分叉型的第三沟槽能够调节抛光液的径向加速度，延缓抛光液速度变化，提高抛光液停留时间。
一种表面具有沟槽抛光

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