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- [实用新型]一种晶圆清洗装置-CN202223603309.9有效
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袁黎光;吴泽佳;王杰;肖亮锋;石鑫;楚慧颖;黄泽熹;崔庆实;杨小牛
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广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
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2022-12-30
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2023-06-06
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B08B3/02
- 本实用新型涉及一种晶圆清洗装置,包括作业平台;晶圆夹具,可旋转地设置在作业平台上。其中,晶圆夹具包括用于放置待清洗晶圆的承盘和若干用于锁定晶圆的锁定夹扣;锁定夹扣的第一端部与承盘铰接,与第一端部相对的第二端部用于与晶圆的上表面抵接;第二端部在锁定状态下更靠近承盘的旋转轴心,且第二端部所处水平位置低于第一端部。本实用新型通过晶圆夹具的设计,将锁定夹扣设置为倾斜向下式抵住晶圆的上表面,在旋转过程中由于离心力的作用,使锁定夹扣会对晶圆表面自然施加压力,而在晶圆承盘转速越高时,施加的压力就越大,因此次锁定方式可以根据转速自适应的改变压力,保证晶圆在旋转过程中不会脱出。结构较简单,操作简易,节约成本。
- 一种清洗装置
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