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[发明专利]一种原子层沉积设备及其制备电池催化剂的方法-CN201910140051.7有效
发明人：李若雅;郑锦;逯文冬;耿晨宇;黄洋;黄省三 -专利权人：南京原磊纳米材料有限公司
申请日： 2019-02-26 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： H01M4/92 文献下载
摘要：本发明涉及原子层沉积领域，具体是一种原子层沉积设备，包括等离子体发生器，所述等离子体发生器上端设有管道，等离子体发生器下端通过连接管道连接有反应腔，反应腔顶部设有支撑架，反应腔左侧安装有进源管道。本发明原子层沉积设备结构简单，易操作；同时利用本发明原子层沉积设备制备直接甲醇燃料电池阳极催化剂的方法，高效、易实现，制备出产品具有高比表面积、优异催化性能的优点。进而解决了直接用氧化石墨烯做载体，电池的电化学性能测试并不能达到理想效果的问题。
一种原子沉积设备及其制备电池催化剂方法

[外观设计]原子层沉积设备机柜-CN201930064369.2有效
发明人：逯文冬;耿晨宇;郑锦;黄省三 -专利权人：南京原磊纳米材料有限公司
申请日： 2019-02-15 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：原子层沉积设备机柜。2.本外观设计产品的用途：用于半导体的布线和布管。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
原子沉积设备机柜

[实用新型]一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极-CN201920331204.1有效
发明人：逯文冬;郑锦;耿晨宇;黄省三 -专利权人：南京原磊纳米材料有限公司
申请日： 2019-03-15 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： H05B3/03 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种电极，具体是一种用于原子层沉积设备的真空加热盘管电极，包括加热管及设置在加热管下端的电极，所述加热管设置在真空腔体内部；所述电极通过安装法兰固定在真空腔体下端，电极上端贯穿在真空腔体内部，电极上端设有导电柱，导电柱和加热管为可拆卸式连接。本实用新型加热管与电极螺纹配合安装，方便拆卸，利于加热管更换维修；大气环境的电流通过电极传导给真空腔体内部真空环境中的加热管，进行工作。进而解决了传统的电极和加热管焊接为一体造成拆卸更换维修不便的问题。
电极加热管体内部真空腔本实用新型导电柱上端原子层沉积设备可拆卸式连接安装法兰拆卸更换大气环境电极螺纹电流通过方便拆卸更换维修配合安装真空环境真空加热真空腔体传统的盘管下端传导焊接维修贯穿

[实用新型]一种用于原子层沉积设备的晶圆进出腔传动结构-CN201920383643.7有效
发明人：郑锦;逯文冬;耿晨宇;黄省三;李若雅;黄洋 -专利权人：南京原磊纳米材料有限公司
申请日： 2019-03-25 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型涉及原子层沉积设备领域，具体是一种用于原子层沉积设备的晶圆进出腔传动结构，包括真空腔体，所述真空腔体内部安装有导轨，真空腔体底部外侧固定有直线滑台，直线滑台的上表面以及导轨均安装有磁性材料体，磁性材料体上设置有滑块，直线滑台外侧安装有伺服电机。本实用新型利用磁力传动，避免在腔体直接受力传动，产生摩擦及机械颗粒，也减少由于机械密封导致真空泄露的风险。
直线滑台原子层沉积设备本实用新型磁性材料体真空腔体导轨传动结构磁力传动机械密封伺服电机真空泄露上表面体内部真空腔传动滑块晶圆腔体受力摩擦

[发明专利]一种原子层沉积设备用的提升机构的自调节连接件-CN201910198789.9在审
发明人：郑锦;逯文冬;耿晨宇;黄省三 -专利权人：南京原磊纳米材料有限公司
申请日： 2019-03-15 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： F16C11/06 文献下载
摘要：本发明涉及原子层沉积领域，具体是一种原子层沉积设备用的提升机构的自调节连接件，包括伺服电缸，伺服电缸下端设置有限位块，所述限位块下端安装有定位销轴，限位块和定位销轴通过自调轴连接，自调轴上套设有弹簧。本发明中自调轴和弹簧增加了柔性连接自调的效果，进而避免硬性摩擦产生的机械颗粒，在每次开关时可提升定位的准确度，从而达到了每次工艺的稳定性和重复性。解决了目前在原子层沉积半导体设备上的提升机构上大多数是刚性连接件，进而易产生机械金属颗粒问题。
提升机构原子层沉积设备原子层沉积定位销轴伺服电缸连接件限位块弹簧下端半导体设备刚性连接件准确度金属颗粒柔性连接硬性摩擦轴连接上套位块

[实用新型]一种多协议工业以太网的远程I/O模板-CN201320894047.8有效
发明人：朱浩;耿晨宇 -专利权人：浙江德马科技有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2014-08-13 - 主分类号： H04L12/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及工业以太网，属于工业控制领域。一种多协议工业以太网的远程I/O模板，其特征在于包括以下器件：用于工业以太网的FPGA和软核32位的主芯片；连接到所述主芯片的用于隔离输入的输入隔离器件；与工业以太网总线连接的以太网接口；所述以太网接口通过以太网物理层芯片连接到所述主芯片；所述主芯片通过驱动隔离器件连接到输出继电器或/和弱电24V输出；所述以太网接口设置有两个，均通过以太网物理层芯片连接到所述主芯片。本实用新型集成了适配器和I/O口，采用一体化设计，方便接线安装；而且输入输出全部隔离，抗干扰能力强；且采用双以太网接口设计，方便以太网拓扑扩展结构。
一种协议工业以太网远程模板

[实用新型]一种分拣机的转向轮-CN201320835519.2有效
发明人：韩先成;王德健;耿晨宇 -专利权人：上海德马物流技术有限公司
申请日： 2013-12-17 - 公布日： 2014-06-11 - 主分类号： B07C5/36 文献下载
摘要：本实用新型设计一种滚轮，具体来说，是一种使用在分拣机上的转向轮，属于物流分拣技术领域。一种分拣机转向轮，包括轴（1），深沟球轴承（3），轴卡（2），所述轴卡（2）将深沟球轴承（3）轴向定位，其特征在于：还包括尼龙内芯（4），聚氨酯包胶层（5），所述尼龙内芯（4）与聚氨酯包胶层（5）相互嵌入式固定连接；所述尼龙内芯（4）具有向内的凸环，所诉凸环与深沟球轴承（3）之间嵌入波形垫圈（6）。本实用新型的分拣机转向轮成本大大降低；生产周期大大缩短；有效的消除了轴向间隙，不仅减少使用中的磨损，还能大大降低由于间隙而产生的噪音。
一种分拣转向

[实用新型]电驱动高速道岔换向装置-CN201220422700.6有效
发明人：白振成;耿晨宇;马贤祥 -专利权人：上海德马物流技术有限公司
申请日： 2012-08-23 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： B65G47/46 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种滑块式分拣机，尤其涉及一种滑块式分拣机的电驱动高速道岔换向装置，属于物流装备技术领域。其特征在于：拨叉呈条状，一端通过转轴固定在两个导向轨交叉连接处，另一端能够通过电驱动沿转轴作弧形运动，在两个导向槽之间来回拨动，拨叉驱动装置的驱动方式为电磁螺线管驱动。本实用新型电驱动方式完成单次拨叉换向的动作时间仅需要8ms，远低于气缸的动作时间30ms，采用条状拨叉，沿转轴作弧形运动，较直线运动大大减小运行幅度，提高换向频率，提高了输送速度；并且降低拨叉与轨道接触面粗糙度的要求；大大提高了设备的安全可靠性；不再需要压缩气源，降低设备使用成本和维护成本。
驱动高速道岔换向装置

[发明专利]电驱动高速道岔换向装置-CN201210303409.1有效
发明人：白振成;耿晨宇;马贤祥 -专利权人：上海德马物流技术有限公司
申请日： 2012-08-23 - 公布日： 2012-12-12 - 主分类号： B65G47/52 文献下载
摘要：本发明涉及一种滑块式分拣机，尤其涉及一种滑块式分拣机的电驱动高速道岔换向装置，属于物流装备技术领域。其特征在于：拨叉呈条状，一端通过转轴固定在两个导向轨交叉连接处，另一端能够通过电驱动沿转轴作弧形运动，在两个导向槽之间来回拨动，拨叉驱动装置的驱动方式为电磁螺线管驱动。本发明电驱动方式完成单次拨叉换向的动作时间仅需要8ms，远低于气缸的动作时间30ms，采用条状拨叉，沿转轴作弧形运动，较直线运动大大减小运行幅度，提高换向频率，提高了输送速度；并且降低拨叉与轨道接触面粗糙度的要求；大大提高了设备的安全可靠性；不再需要压缩气源，降低设备使用成本和维护成本。
驱动高速道岔换向装置

[发明专利]滚塑机模具快速制造工艺-CN201010224469.5无效
发明人：戴京东;耿晨宇 -专利权人：无锡市澳富特成型技术科研有限公司
申请日： 2010-07-05 - 公布日： 2010-12-22 - 主分类号： B23P15/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种滚塑机模具快速制造工艺，包括利用金属板材数控渐进成型技术、表面积获得、材料选择、厚度选择、纹路制作与控制、测量泄压孔制作、法兰边制作、模具框架制作、锁紧装置制作。利用金属板材数控渐进成型技术作为制造模具的核心，实现模具的大部分机械特性。板材直接无模成型相对铸造无需考虑伸缩比，直接由塑料产品要求尺寸产生模具，并由数控无模成型设备得出表面积，作为滚塑原料投料量依据。由于利用一台数控无模成型设备可以完成滚塑机滚塑模具制造中的大部分工艺步骤，制造中的自动化、精度、效率、柔性水平大幅度提高，成本也明显低于传统制造工艺。
滚塑机模具快速制造工艺

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