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[实用新型]用于淬火机床的升降装置-CN202321141573.7有效
发明人： 罗爱斌;何狄东 -专利权人：杭州通士科感应加热设备有限公司
申请日： 2023-05-10 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B66F7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了用于淬火机床的升降装置，包含升降底板、万向轮、扶手、淬火机床、传动装置、升降架、传动杆，包括燕尾滑块、燕尾滑槽、润滑机构，所述升降底板底端设有万向轮，升降底板右端设有扶手，升降底板上端面设置有淬火机床，淬火机床上端设有传动装置，淬火机床后端面设有若干个燕尾滑块，升降底板后端设有升降架。本实用新型结构简单、设计合理，能够使淬火机床与升降架之间具备高强、高稳定性且低磨损的滑动结构。
用于淬火机床升降装置

[发明专利]立式烘烤氧化系统-CN201810401983.8有效
发明人： 罗爱斌;周铁军;宾启雄;陈章水;易明辉;李勇;吴远高;刘留 -专利权人：广东长信精密设备有限公司
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种立式烘烤氧化系统，其包括一炉体、包覆于炉体外的一保温层、固定于炉体内的一坩埚架总成、放置于坩埚架总成上固定的若干坩埚、置于坩埚内用于加热的一石英管加热器、用于封闭炉体并夹持固定石英管加热器的一冷却密封接头以及设于保温层外的一外壳。本立式烘烤氧化系统，相较于现有技术，能降低能耗、成膜均匀、爆管概率降低，且机械自动化程度提高，也能降低在转移过程中擦伤坩埚内氧化膜的风险，整体结构布局合理，非常适合于半导体材料的制备。
立式烘烤氧化系统

[发明专利]淬火机夹紧机构-CN202310520675.8在审
发明人： 罗爱斌;裘鑫龙 -专利权人：杭州通士科感应加热设备有限公司
申请日： 2023-05-10 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C21D1/63 文献下载
摘要：本发明公开了淬火机夹紧机构，包括水槽、左升降装置、右升降装置、左U形板、右U形板、中U形板、淬火金属网带、升降板、推杆，所述水槽左端面、右端面分别设有左升降装置、右升降装置。本发明结构简单、设计合理，能够提高工件的上下料效率，使工件淬火过程中沸水不会外溅。
淬火夹紧机构

[实用新型]一种獒合式夹持机构-CN202222875403.3有效
发明人： 罗爱斌;陈章水;卿德武;崔国维 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种獒合式夹持机构。通过第一夹板和第二夹板对晶片进行径向夹持，进而在通过线锯将多个晶片与石墨条分离后，晶片不会出现倒伏，并通过设置的第一护板和第二护板，使第一护板与第二护板分别与石墨条两端的晶片接触，进而在第一夹板和第二夹板分开时，第一护板和第二护板能够有效防止晶片倒伏，而在需要将晶片取下时，工作人员可一次性将多个晶片取出至晶片架，相较于现有用手护住石墨条上的晶片进行切割，以及将晶片逐一放入晶片架，本实用新型实施例能够有效节省人力。
一种合式夹持机构

[实用新型]一种定量浇筑式煅烧炉-CN202222745037.X有效
发明人： 罗爱斌;杨伟;赵果;徐成 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： F27B14/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及氧化硼制备技术领域，公开了一种定量浇筑式煅烧炉，包括炉体、流体调节装置和封闭件；所述炉体具有煅烧室，所述煅烧室具有进料口和出料口；所述流体调节装置包括管件、冷却件和第一加热件，所述管件具有出料通道，所述出料通道的上端与所述出料口连通、下端具有流体出口，所述冷却件与所述管件连接并能够降低所述出料通道内的介质的温度，所述第一加热件与所述管件连接并能够提高所述出料通道内的介质的温度；所述封闭件连接于所述管件的下端并能够封闭或打开所述流体出口；本实用新型所提供的定量浇筑式煅烧炉具有能够通过改变熔融氧化硼的温度以对应改变熔融氧化硼在浇注过程中的流出速度的功能。
一种定量浇筑煅烧

[发明专利]一种高纯度氧化硼制备系统及其制备工艺-CN202211271326.9在审
发明人： 罗爱斌;杨伟;赵果;徐成 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： C01B35/10 文献下载
摘要：本发明涉及氧化硼制备技术领域，公开了提供了一种高纯度氧化硼制备系统及其制备工艺，包括第一坩埚、顶盖、第二坩埚、第一流体装置、第二流体装置、封闭件、压力调节装置和温度调节装置；所述顶盖可拆卸连接于所述第一坩埚的上端；所述第一流体装置包括第一管件，所述第一管件具有第一通道；所述第二流体装置包括第二管件，所述第二管件具有第二通道；所述封闭件与所述第二管件连接；所述压力调节装置分别连接所述第一煅烧室和第二煅烧室；所述温度调节装置分别连接所述第一坩埚和第二坩埚；本发明所提供的高纯度氧化硼制备系统能够避免杂质元素在氧化硼的生产过程中污染坩埚内的物料、有利于提高生产出的氧化硼的纯度。
一种纯度氧化制备系统及其工艺

[发明专利]一种晶体物料存放装置-CN202211271906.8在审
发明人： 罗爱斌;赵果 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本发明涉及晶体物料储存技术领域，公开了一种晶体物料存放装置，包括底座、存放主体和防护罩；所述存放主体连接于所述底座的上表面上，所述存放主体具有向内凹陷并依次间隔排列的多个存放槽，一个所述存放槽用于存放一种尺寸的物料，所述存放主体的外侧具有多个记录编号，所述记录编号与所述存放槽一一对应；所述防护罩可拆卸连接于所述底座上；所述物料为籽晶塞子；本发明在应用于存放籽晶塞子时，既能够避免浪费员工的有效时间，提高员工的工作效率，又能够避免在籽晶塞子塞装至籽晶腔的过程产生碎屑和微尘污染PBN坩埚，从而能够避免导致籽晶在长晶时出现异核孪晶，有利于提高晶体性能的稳定性。
一种晶体物料存放装置

[发明专利]一种晶片割片系统-CN202211343201.2在审
发明人： 罗爱斌;陈章水;卿德武;崔国维 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶片割片系统。通过第一夹板和第二夹板对晶片进行径向夹持，进而在通过线锯机构将多个晶片与石墨条分离后，晶片不会出现倒伏，并通过设置的第一护板和第二护板，并使第一护板与第二护板分别与石墨条两端的晶片接触，进而在第一夹板和第二夹板分开时，第一护板和第二护板能够有效防止晶片倒伏，而在需要将晶片取下时，工作人员可一次性将多个晶片取出至晶片架，相较于现有用手护住石墨条上的晶片进行切割，以及将晶片逐一放入晶片架，本发明实施例能够有效节省人力。
一种晶片系统

[实用新型]一种新型坩埚托及氧化硼生产用承载组件-CN202220107833.8有效
发明人：杨伟;罗爱斌;陈章水 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2022-01-16 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： F27B14/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型坩埚托，旨在降低氧化硼的生产成本，其技术方案：一种新型坩埚托，包括本体，所述本体包括架体、放置在所述架体上的托体，所述托体用于承托外设白金坩埚；所述托体由氮化硼材料制成；还提出一种基于上述新型坩埚托的氧化硼生产用承载组件；属于氧化硼生产技术领域。
一种新型坩埚氧化生产承载组件

[实用新型]一种内置式PBN烘烤炉膛隔热装置-CN202120532405.5有效
发明人：孟国浩;罗爱斌;陈章水 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体晶体制造领域，具体公开了一种内置式PBN烘烤炉膛隔热装置，所述隔热装置设置在炉膛出口处，所述隔热装置为耐高温、耐腐蚀、结构稳定性高的材料制成的两端密闭的管状结构，所述管状结构的外管壁与炉膛出口处内壁贴合设置，所述管状结构的两端尺寸不大于炉膛出口处尺寸，在所述管状结构的内腔填充纤维隔热介质，所述管状结构的内腔设有贯穿两端的通孔，管状结构的外端设有提手。本实用新型隔热装置有效减少PBN烘烤过程炉膛内头、尾部温度差异，满足炉膛内不同位置PBN坩埚对温度的要求，提高使用该PBN坩埚生产晶体生长成功率，提高晶体生长的生产效率；同时也提高PBN烘烤过程热量的利用率，降低烘烤炉设备的用电功耗，节约用电成本。
一种内置 pbn 烘烤炉膛隔热装置

[实用新型]一种炉膛高温隔热装置及中频炉-CN202120524319.X有效
发明人： 罗爱斌;陈章水;杨伟;宾启雄;周铁军 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2021-03-12 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： F27B14/08 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种炉膛高温隔热装置及中频炉，涉及金属熔炼技术领域。本实用新型提供的炉膛高温隔热装置，包括：不锈钢外壳，不锈钢外壳内侧设置有复合耐高温涂层；所述不锈钢外壳为对称结构，以中轴线为对称轴，形成可以打开闭合的双开门结构；底部设有支脚，用于支撑固定隔热装置；上部设置有支撑平台。本实用新型提供的炉膛高温隔热装置具有良好的保温隔热效果，极大地降低了能耗，营造了相对舒适的工作环境，给生产工人职业健康安全创造了良好条件，降低了高温堆现场设施设备的老化风险。同时，由于隔热材料的优良特性，极大降低了污染产品的风险。
一种炉膛高温隔热装置中频

[实用新型]一种外置式PBN烘烤炉膛隔热装置-CN202120532421.4有效
发明人： 罗爱斌;孟国浩;陈章水;宾启雄;周铁军 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体晶体制造领域，具体公开了一种外置式PBN烘烤炉膛隔热装置，隔热装置为高稳定性耐高温材料制成的两端密闭的管状结构，管状结构的外管壁与炉膛出口处内壁贴合设置，管状结构的两端分别为外端和内端，外端为盖板，盖板尺寸大于炉膛出口处尺寸，内端尺寸不大于炉膛出口处尺寸，在管状结构的内腔填充隔热介质，管状结构的内腔设有贯穿两端的通孔，管状结构的外端盖板设有提手。本实用新型隔热装置有效减少了PBN烘烤过程炉膛内头、尾部温度差异，满足炉膛内不同位置PBN坩埚对温度的要求，提高使用该PBN坩埚生产晶体生长成功率，提高晶体生长的生产效率；同时也提高PBN烘烤过程热量的利用率，降低烘烤炉设备的用电功耗，节约用电成本。
一种外置 pbn 烘烤炉膛隔热装置

[实用新型]一种外置聚能式PBN烘烤炉膛隔热装置-CN202120532683.0有效
发明人： 罗爱斌;孟国浩;陈章水;宾启雄;周铁军 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体晶体制造领域，具体公开了一种外置聚能式PBN烘烤炉膛隔热装置，隔热装置为两端密闭的管状结构，其外管壁与炉膛出口处内壁贴合，管状结构的两端分别为外端和内端，外端为盖板，盖板尺寸大于炉膛出口处尺寸，内端为平面或向炉膛出口方向内凹的球面结构，管状结构内腔的内端面上固定贴合有耐高温反射镜，在管状结构的内腔填充隔热介质，管状结构的内腔设有贯穿两端的通孔，管状结构的外端盖板设有提手。本实用新型隔热装置有效减少了炉膛内头、尾部温度差异，满足炉膛内不同位置PBN坩埚对温度的要求；提高PBN烘烤过程热量的利用率；进一步有效解决了外部氧气导致的炉膛内部温场波动，降低了外部季节性气候对长晶良品率的影响。
一种外置聚能式 pbn 烘烤炉膛隔热装置

[发明专利]一套多晶圆磨边系统-CN202110397385.X在审
发明人： 罗爱斌 -专利权人： 罗爱斌
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一套多晶圆磨边系统，包括储存晶圆的片盒、晶圆校正设备、对晶圆磨边的磨削机、晶圆清洗设备，片盒和晶圆校正设备之间，晶圆校正设备和磨削机之间，磨削机和晶圆清洗设备之间，以及晶圆清洗设备和片盒之间均设有机械手，其中，晶圆校正设备和磨削机之间的机械手，以及，磨削机和晶圆清洗设备之间的机械手，均设有若干吸附晶圆的吸盘。由于晶圆磨边设备的部分机械手采用吸附晶圆的多吸盘结构，因此，相比于现有技术中机械手一次获取单个晶圆，本发明的多晶圆磨边系统，加工效率得到提高。
一套多晶磨边系统

[实用新型]一种多级泥浆滤网组件-CN202020899120.0有效
发明人： 罗爱斌;周铁军;陈章水;宾启雄;叶水景;严卫东 -专利权人：广东先导先进材料股份有限公司
申请日： 2020-05-25 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： B01D29/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及过滤技术领域，尤其涉及一种多级泥浆滤网组件，包括至少两层层叠设置的过滤网，过滤网包括呈锥状的过滤部，过滤部内侧形成有过滤腔，其中，层叠于外侧的过滤网的网孔孔径小于层叠于内侧的过滤网的网孔孔径。本实用新型一方面，层叠设置的过滤网增加了过滤的面积，提高过滤的效果，另一方面，将不同大小的颗粒在不同网孔孔径的过滤网逐级过滤，可通过内层的过滤网将大颗粒的碎屑过滤，这样内层较小网孔过滤网的受力、磨损和过滤碎屑量大大减少，提高过滤组件整体抗冲击性能和过滤性能，过滤组件的使用寿命增加，实现泥浆的精密过滤；另外，使过滤的碎屑容易在自重作用下从过滤网上脱落，使过滤网在过滤过程中具有自清洁效果。
一种多级泥浆滤网组件

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