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[发明专利]一种口径可调节的杯型砂轮-CN202310703063.2在审
发明人：陆静;辛永康;李泽森;黄绍锋;罗求发 -专利权人：华侨大学
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B24D7/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种口径可调节的杯型砂轮，涉及磨削加工技术领域，包括砂齿组件、转盘以及调节盘；砂齿组件包括第一砂齿接头，第一砂齿接头的首尾两端各配置有一个第二砂齿接头，相邻的两个砂齿组件之间通过第二砂齿接头与转轴铰接相连，且各第一砂齿接头与第二砂齿接头上分别装设有长结块和短结块；转盘沿其圆周方向阵列设置有多个弧形槽；调节盘其上配置有多个砂齿组件，各砂齿组件相连以围合形成砂轮直径；调节盘对应弧形槽设有第一滑槽，第一滑槽至少与弧形槽部分重叠，第一砂齿接头的连接部伸设于重叠部分内，调节盘上还设用以与所述转轴适配的第二滑槽；通过驱使调节盘绕转盘的中心转动，以调节砂轮直径，改善现有等直径砂轮的弊端。
一种口径调节型砂

[发明专利]一种金刚石晶片及贴片方法-CN202310684551.3在审
发明人：陆静;辛永康;李泽森;陈凯;罗求发;柯聪明 -专利权人：华侨大学
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C30B33/06 文献下载
摘要：本发明提供一种金刚石晶片及贴片方法，该贴片方法包括以下步骤：将纤维与融于水的溴化钾搅拌混合，填料入磨具中，压平成片，得到纤维溴化钾片；将所述纤维溴化钾片放入磨具中压制出多个镂空孔洞，得到镂空纤维溴化钾片；将金刚石衬底放置在水平平台上，然后将镂空纤维溴化钾片对齐放置在所述金刚石衬底上部，从上方向所述镂空纤维溴化钾片滴加热熔性胶水，再将蓝宝石片水平压下并固定，待其凝固形成衬底片；将凝固后的衬底片放入水中，待溴化钾在水中溶解消失后，在热熔性胶水内部形成镂空；将衬底片风干后低温烧结，从而在衬底片内部形成网状的纤维孔隙，即得到金刚石衬底片。
一种金刚石晶片方法

[发明专利]一种飞秒激光辅助抛光金刚石的装置及其抛光方法-CN202210853059.X有效
发明人：陆静;李晨;辛永康;王嘉炜;罗求发;柯聪明;温秋玲 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种飞秒激光辅助抛光金刚石的装置及其抛光方法，它包括第一机台、第二机台和控制装置，第一机台能沿水平X轴移动，第二机台能沿形成正交体系的X、Y、Z轴移动并能绕Z轴转动，第一机台上设有用于装接金刚石工件的加装装置，第二机台上装接有测距传感器和飞秒激光烧蚀装置，第二机台上还装接有用于磨抛金刚石工件的磨抛砂轮，控制装置与该第一机台、第二机台、测距传感器及飞秒激光烧蚀装置信号连接并能控制该第一机台、第二机台在相应的自由度内动作以及与该测距传感器和飞秒激光烧蚀装置形成数据交互。该抛光方法包括金刚石表面平坦化过程和去石墨化过程。它具有如下优点：提高加工效率，提高加工质量。
一种激光辅助抛光金刚石装置及其方法

[发明专利]一种用于光辅助化学机械抛光的载具以及抛光加工方法-CN202210852879.7有效
发明人：陆静;徐胜通;罗求发;柯聪明;刘首麟 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于光辅助化学机械抛光的载具以及抛光加工方法，载具包括光源底座、光源聚焦装置以及晶圆安装座；光源底座与晶圆安装座分别设置于光源聚焦装置的两端；光源底座用于安装在抛光机上，光源底座上安装有光源；光源聚焦装置包括防护罩、第一凸透镜以及第二凸透镜，第一凸透镜与第二凸透镜同轴间隔设置在防护罩内，防护罩内设置有驱动件，用于驱动第二凸透镜靠近或远离第一凸透镜运动；光源通过外部红外遥控开光控制其光照强度；晶圆安装座上设置有光强传感器，光强传感器用于将信号反馈至外部处理器，外部处理器将光照强度值显示在显示器上。本申请能够提高晶圆加工质量。
一种用于辅助化学机械抛光以及抛光加工方法

[发明专利]一种可循环利用的混合磨料抛光膜的制备方法-CN202210934985.X在审
发明人：陆静;刘首麟;徐胜通;王嘉炜;柯聪明;罗求发 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： B24D11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种可循环利用的混合磨料抛光膜的制备方法，包括如下步骤：(1)将热塑性弹性体TPE加热至熔融状态，获得熔融态TPE；(2)将微米级硬质磨料与微米级稀土磨料混合均匀，制成混合磨料；(3)将混合磨料与熔融态TPE混合均匀；(4)将步骤(3)所得的物料进行挤出流延成型，即得所述混合磨料抛光膜。本发明制备的混合磨料抛光膜的应用范围广，普遍适用于陶瓷基材抛光、平坦石材表面抛光、半导体晶圆抛光以及大尺寸平面的精密加工，在有破损的情况下，可通过简单的加热至熔融状态后，再次经过挤出流延的方法再次成型，大大降低了制备成本。
一种循环利用混合磨料抛光制备方法

[发明专利]一种含稀土化合物的软胶抛光垫的制备方法-CN202210935317.9在审
发明人：陆静;王嘉炜;刘首麟;罗求发;柯聪明 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： B24D11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种含稀土化合物的软胶抛光垫的制备方法，选取涤纶制的网状结构进行骨架支撑，使得加工时长可以等到足够的保障，并且本发明可采用多层结构设计，使得在金刚石磨抛加工过程初期得到更高的材料去除率的同时，也能在后续的磨抛加工过程中得到更好的表面质量；采用镀钛金刚石磨粒/镀铁金刚石磨粒，不仅仅可以提升抛光垫基体对金刚石磨粒的把持力，同时还可以参与金刚石石墨化反应；La0.6Sr0.4Co3粉在金刚石磨抛加工过程中，对金刚石石墨化起到类似催化剂的作用，使得加工效率更好，同时也可以对抛光垫进行优化作用。
一种稀土化合物抛光制备方法

[发明专利]一种软硬复合结构减薄砂轮的制备方法-CN202210856757.5有效
发明人： 罗求发;陈杰铭;陆静;马忠强;黄绍峰;程志豪 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B24D18/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种软硬复合结构减薄砂轮的制备方法，包括如下步骤：(1)将砂轮用酚醛树脂、脂肪胺、白糊精和造孔剂混合均匀；(2)将步骤(1)所得的物料置于模具中，进行冷压和真空烧结，制成长方体状的硬质基底，该硬质基底上表面具有均匀分布的至少二凹槽；(3)将硬质磨料均匀分散于砂轮用软质结合剂中，再经固化成型，制成适配上述凹槽的形状尺寸的软质结块；(4)将上述软质结块通过粘结剂适配粘结于上述至少二凹槽内，经烘干修整，得到砂轮结块；(5)将上述砂轮结块通过粘结剂粘结于砂轮基座上，经烘干修整，即得到所述软硬复合结构减薄砂轮。
一种软硬复合结构砂轮制备方法

[发明专利]一种诱导工件摩擦化学反应的砂轮结块及其制备方法-CN202210856862.9有效
发明人： 罗求发;陈杰铭;陆静;马忠强;黄绍峰;程志豪 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B24D3/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种诱导工件摩擦化学反应的砂轮结块及其制备方法，其由如下质量百分比的组分均匀混合制成：砂轮用酚醛树脂35‑55％、硬质磨料35‑55％、聚酰胺1.5‑3.5％、白糊精1.5‑3.5％和海藻酸钠凝胶球5‑10％。本发明将遇水放热无机物当做一种能量源，将这些遇水放热无机物包裹在凝胶球中，在加工过程中随着凝胶球的破裂，这些遇水放热无机物溶于水而放出大量的热，促进磨削过程中的化学反应，使得碳化硅以及蓝宝石转变成更软的二氧化硅和AlO(OH)，磨粒能够更为轻松的对其进行去除，从而实现高效加工并获得拥有良好表面质量的衬底，同时也可以通过凝胶球实现对砂轮结块的造孔，提高结块的容屑空间，避免堵塞。
一种诱导工件摩擦化学反应砂轮结块及其制备方法

[发明专利]一种用于自旋转磨抛机的多晶金刚石夹具、装夹方法-CN202211670628.3在审
发明人：陆静;李泽森;罗求发;辛永康;李晨;柯聪明 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B24B41/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于自旋转磨抛机的多晶金刚石夹具，包括本体，所述本体上设置有具有螺纹孔的凸台，还包括：夹紧组件和调节组件，其中，所述夹紧组件包括第一夹板、第二夹板以及固定在所述本体上的固定板，所述第一夹板、第二夹板以及所述固定板围成用于放置多晶金刚石晶圆衬底片的装夹位；调节组件包括螺纹滑杆、调节件以及固定件；通过在本体上设置具有定位壁，边缘处有凸台，U形滑块与螺纹滑杆连接成一整体，通过螺纹滑杆带动U形滑块运动，来实现第一夹板和第二夹板的相对运动，进而夹紧多晶金刚石晶圆衬底片。本发明还提供了一种装夹方法。通过本发明方案，提高了夹具的装夹效果，简化了结构，且能实现精准控制。
一种用于自旋转磨多晶金刚石夹具方法

[发明专利]一种半导体倾角可控的贴片加工装置、贴片加工方法-CN202211634022.4在审
发明人：柯聪明;庞义澳;陆静;刘首麟;徐胜通;罗求发 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体倾角可控的贴片加工装置，包括底板，还包括：贴片机构、液压机构、测量机构、固定及调节机构，其中，所述底板上固定设置有贴片机构，所述贴片结构包括固定在底板上方的下板和上板，所述下板和上板之间设置有双曲柄机构，且所述上板上设置有适于放置贴片加工台；所述固定及调节机构设置于所述下板上，且连接至所述双曲柄机构所述液压机构设置于所述加工台上方。本发明还提供了一种贴片加工方法。通过本发明方案，使得该贴片加工装置的结构简单稳定，可操作性、可维护性高。
一种半导体倾角可控加工装置方法

[实用新型]一种基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置-CN202221742052.2有效
发明人：陆静;辛永康;李晨;王嘉炜;罗求发;柯聪明 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置，衬底容纳腔用于放置贴有多片金刚石片的衬底；第一相机和第二相机分别位于衬底容纳腔的正上方和正下方，第一相机对所述衬底进行拍摄以确定需要测厚的位置，第二相机对所述衬底进行拍摄以识别所述衬底的缺陷及气泡；第一激光位移传感器和第二激光位移传感器均安装在位移传动机构上且分别位于衬底容纳腔的上方和下方，位移传动机构可带动第一激光位移传感器和第二激光位移传感器同步移动，以对衬底容纳腔内的衬底进行定位测量，进而得到多片金刚石片处的厚度信息。本装置操作方便，实现多片金刚石衬底贴片后的自动化检测并且具有很高的精度以及可重复性，极大降低人工以及学习成本。
一种基于图像识别金刚石衬底检测装置

[发明专利]基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置及检测方法-CN202210794297.8在审
发明人：陆静;辛永康;李晨;王嘉炜;罗求发;柯聪明 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明公开了基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置及检测方法，衬底容纳腔用于放置贴有多片金刚石片的衬底；第一相机和第二相机分别位于衬底容纳腔的正上方和正下方，第一相机对所述衬底进行拍摄以确定需要测厚的位置，第二相机对所述衬底进行拍摄以识别所述衬底的缺陷及气泡；第一激光位移传感器和第二激光位移传感器均安装在位移传动机构上且分别位于衬底容纳腔的上方和下方，位移传动机构可带动第一激光位移传感器和第二激光位移传感器同步移动，以对衬底容纳腔内的衬底进行定位测量，进而得到多片金刚石片处的厚度信息。本装置操作方便，实现多片金刚石衬底贴片后的自动化检测并且具有很高的精度以及可重复性，极大降低人工以及学习成本。
基于图像识别金刚石衬底检测装置方法

[发明专利]硬质磨料与衬底在纳米尺度下的界面化学反应的实现装置及其实现方法-CN202210784511.1在审
发明人：陆静;程志豪;罗求发;陈杰铭 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-07-05 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种硬质磨料与衬底在纳米尺度下的界面化学反应的实现装置及其实现方法，包括液气模块、控温模块和主轴模块，液气模块用于在液气箱内存在不同的液气介质，控温模块包括加热装置和降温装置，主轴模块包括带有压力控制的标准纳米划痕装置、光学镜头、转换盘和运动装置，光学镜头用于寻找衬底上的划擦位置，标准纳米划痕装置用于在衬底上施加不同的载荷并划擦，转换盘用于将光学镜头与纳米划痕压头进行切换，控温模块用于控制不同的温度，实现在不同的温度、液气介质和/或载荷条件下纳米划痕压头在衬底表面低速划擦，有助于观察在不同介质作用下硬质磨料与衬底之间纳米尺度的界面化学反应，在半导体超精密加工领域具有良好的应用前景。
硬质磨料衬底纳米尺度界面化学反应实现装置及其方法

[发明专利]一种活性金属氧化物磨粒与金刚石晶圆衬底界面摩擦化学反应的检测方法-CN202110323147.4在审
发明人：陆静;徐西鹏;罗求发;吴跃勤;穆德魁;薛志萍 -专利权人：华侨大学
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明公开了一种活性金属氧化物磨粒与金刚石晶圆衬底界面摩擦化学反应的检测方法，通过磁控溅射法，在纳米压痕划痕仪用的金刚石压头表面包覆一层厚度均匀可控的活性金属氧化物磨粒壳层，通过与金刚石晶圆衬底的划擦实验来控制活性金属氧化物磨粒与晶圆之间的界面作用关系，再通过扫描探针显微拉曼光谱仪对金刚石晶圆衬底表面的相互作用区域进行化学成分检测，从而明确活性金属氧化物磨粒与晶圆衬底的界面摩擦化学反应机理，其操作简单，在半导体晶圆衬底的高效超精密加工领域具有良好的应用前景。
一种活性金属氧化物金刚石衬底界面摩擦化学反应检测方法

[发明专利]一种活性金属磨粒与金刚石晶圆衬底界面摩擦化学反应的检测方法-CN202110323211.9在审
发明人：徐西鹏;陆静;罗求发;吴跃勤;穆德魁;薛志萍 -专利权人：华侨大学
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明公开了一种活性金属磨粒与金刚石晶圆衬底界面摩擦化学反应的检测方法，通过磁控溅射法，在纳米压痕划痕仪用的金刚石压头表面包覆一层厚度均匀可控的活性金属磨粒壳层，通过与金刚石晶圆衬底的划擦实验来控制活性金属磨粒与晶圆之间的界面作用关系，再通过扫描探针显微拉曼光谱仪对金刚石晶圆衬底表面的相互作用区域进行化学成分检测，从而明确活性金属磨粒与晶圆衬底的界面摩擦化学反应机理，其操作简单，在半导体晶圆衬底的高效超精密加工领域具有良好的应用前景。
一种活性金属金刚石衬底界面摩擦化学反应检测方法

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