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[实用新型]一种超低温真空冷冻腔波纹管保温结构-CN202121892311.5有效
发明人：孙巍泉;杨陆晗;练菊;席杨;鲁旗 -专利权人：普乐（合肥）光技术有限公司
申请日： 2021-08-12 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： F16L59/065 文献下载
摘要：一种超低温真空冷冻腔波纹管保温结构，包括超低温真空冷冻腔体和水平布置的底板，底板设于超低温真空冷冻腔体下侧敞口处并与其配合，底板上设有两个用于安装混合制冷工质管道的通孔，每个通孔上均设有与通孔同轴布置且竖直向下延伸且上下敞口的外波纹管，外波纹管下侧设有一个密封外波纹管下端的安装法兰，安装法兰中部设有竖直布置的混合制冷工质管道，混合制冷工质管道上端穿过通孔进入超低温真空冷冻腔内，混合制冷工质管道下端超出安装法兰，混合制冷工质管道与外波纹管、超低温真空冷冻腔体、底板均呈非接触状态。其避免了混合制冷工质管道与超低温真空冷冻腔的外壁直接接触，防止超低温真空冷冻腔的外壁结霜，也减少了冷量损失。
一种超低温真空冷冻波纹管保温结构

[实用新型]管式PECVD镀膜专用石墨舟-CN202121582818.0有效
发明人：王杨阳;葛怀庆;练菊;孙友巍;孙嵩泉 -专利权人：普乐新能源（蚌埠）有限公司
申请日： 2021-07-09 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型给出了一种管式PECVD镀膜专用石墨舟，包括依次平行布置的若干石墨舟片，所述石墨舟片上开有若干镂空区域，若干镂空区域依次间隔布置，所述石墨舟片对应镂空区域位置周围设有若干卡点；所述镂空区域覆盖有石墨网。石墨网代替原本石墨舟片的镂空区域，使得镀膜时均匀放电，硅片镀膜后四周不会有色差，提升镀膜质量。相比现有技术，石墨舟片上依旧可以开有镂空区域，由于只在镂空区域上增设石墨网，而且镂空区域延伸至对应卡点位置，并没有增加石墨舟的整体质量，但是克服了原本石墨舟镀膜不均匀的问题。
pecvd 镀膜专用石墨

[发明专利]一种超低温真空冷冻腔波纹管保温结构-CN202110926748.4在审
发明人：孙巍泉;杨陆晗;练菊;席杨;鲁旗 -专利权人：普乐（合肥）光技术有限公司
申请日： 2021-08-12 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： F16L59/065 文献下载
摘要：一种超低温真空冷冻腔波纹管保温结构，包括超低温真空冷冻腔体和水平布置的底板，底板设于超低温真空冷冻腔体下侧敞口处并与其配合，底板上设有两个用于安装混合制冷工质管道的通孔，每个通孔上均设有与通孔同轴布置且竖直向下延伸且上下敞口的外波纹管，外波纹管下侧设有一个密封外波纹管下端的安装法兰，安装法兰中部设有竖直布置的混合制冷工质管道，混合制冷工质管道上端穿过通孔进入超低温真空冷冻腔内，混合制冷工质管道下端超出安装法兰，混合制冷工质管道与外波纹管、超低温真空冷冻腔体、底板均呈非接触状态。其避免了混合制冷工质管道与超低温真空冷冻腔的外壁直接接触，防止超低温真空冷冻腔的外壁结霜，也减少了冷量损失。
一种超低温真空冷冻波纹管保温结构

[发明专利]管式PECVD镀膜专用石墨舟-CN202110777810.8在审
发明人：王杨阳;葛怀庆;练菊;孙友巍;孙嵩泉 -专利权人：普乐新能源（蚌埠）有限公司
申请日： 2021-07-09 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明给出了一种管式PECVD镀膜专用石墨舟，包括依次平行布置的若干石墨舟片，所述石墨舟片上开有若干镂空区域，若干镂空区域依次间隔布置，所述石墨舟片对应镂空区域位置周围设有若干卡点；所述镂空区域覆盖有石墨网。石墨网代替原本石墨舟片的镂空区域，使得镀膜时均匀放电，硅片镀膜后四周不会有色差，提升镀膜质量。相比现有技术，石墨舟片上依旧可以开有镂空区域，由于只在镂空区域上增设石墨网，而且镂空区域延伸至对应卡点位置，并没有增加石墨舟的整体质量，但是克服了原本石墨舟镀膜不均匀的问题。
pecvd 镀膜专用石墨

[发明专利]一种管式反应器的布气法兰-CN201910773990.5在审
发明人：练菊;葛怀庆;马磊;孙友巍;孙嵩泉 -专利权人：普乐新能源（蚌埠）有限公司
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种管式反应器的布气法兰，包括圆形的法兰本体，所述的法兰本体的周向内侧设有若干第一环形槽，所述的若干第一环形槽沿法兰本体轴向间隔布置，每个第一环形槽的开口侧均设有与第一环形槽相匹配的挡圈，挡圈的周向内侧与法兰本体周向内侧相平齐，每个第一环形槽与对应的挡圈形成一个环形气道，所述的每个挡圈周向均布有若干连通第一环形槽内外的通孔，所述的每个通孔上均设有与通孔相匹配的柱塞，所述的柱塞为实心柱塞或带有穿孔的柱塞，法兰本体周向外侧设有若干气孔，气孔在法兰本体外侧沿法兰本体周向间隔布置，所述的气孔与第一环形槽一一对应且相对应的气孔与第一环形槽相连通。本布气法兰布气均匀且可以根据需要调节进气的大小、流向。
一种反应器法兰

[实用新型]一种管式反应器的布气法兰-CN201921362024.6有效
发明人：练菊;葛怀庆;马磊;孙友巍;孙嵩泉 -专利权人：普乐新能源（蚌埠）有限公司
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种管式反应器的布气法兰，包括圆形的法兰本体，所述的法兰本体的周向内侧设有若干第一环形槽，所述的若干第一环形槽沿法兰本体轴向间隔布置，每个第一环形槽的开口侧均设有与第一环形槽相匹配的挡圈，挡圈的周向内侧与法兰本体周向内侧相平齐，每个第一环形槽与对应的挡圈形成一个环形气道，所述的每个挡圈周向均布有若干连通第一环形槽内外的通孔，所述的每个通孔上均设有与通孔相匹配的柱塞，所述的柱塞为实心柱塞或带有穿孔的柱塞，法兰本体周向外侧设有若干气孔，气孔在法兰本体外侧沿法兰本体周向间隔布置，所述的气孔与第一环形槽一一对应且相对应的气孔与第一环形槽相连通。本布气法兰布气均匀且可以根据需要调节进气的大小、流向。
一种反应器法兰

[实用新型]低压化学气相沉积真空管式炉的补气装置-CN201920669084.6有效
发明人：葛怀庆;练菊;房如枫;彭为报;王红美;孙嵩泉 -专利权人：普乐新能源(蚌埠)有限公司
申请日： 2019-05-10 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型给出了一种低压化学气相沉积真空管式炉的补气装置，包括补气管，补气管端部开有补气口；还包括冷却管和堵头，冷却管设有供冷却介质通过的内孔，冷却管在补气管的出气口处节距盘绕呈多线圈状的导流弹簧段，处于导流弹簧段的相邻冷却管线圈之间具有间隙，堵头设置在冷却管的导流段远离补气管一侧端部处。冷却管通入冷却气体，进而导流弹簧段的冷却管对补气管进行冷却，将补气管温度下降，镀膜反应气体的温度控制在反应温度以下，反应物不会沉积在补气管的管壁及补气口处；处于导流弹簧段的相邻冷却管线圈之间设有间隙，镀膜反应气体通过该间隙，达到出气缝的效果，提高镀膜工件的膜层均匀度。
冷却管补气管弹簧段导流反应气体补气口堵头镀膜低压化学气相沉积本实用新型膜层均匀度真空管式炉补气装置出气口处镀膜工件冷却介质冷却气体出气缝导流段多线圈反应物盘绕管壁节距内孔沉积冷却

[发明专利]低压化学气相沉积真空管式炉的补气装置-CN201910390310.1在审
发明人：葛怀庆;练菊;房如枫;彭为报;王红美;孙嵩泉 -专利权人：普乐新能源（蚌埠）有限公司
申请日： 2019-05-10 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明给出了一种低压化学气相沉积真空管式炉的补气装置，包括补气管，补气管端部开有补气口；还包括冷却管和堵头，冷却管设有供冷却介质通过的内孔，冷却管在补气管的出气口处节距盘绕呈多线圈状的导流弹簧段，处于导流弹簧段的相邻冷却管线圈之间具有间隙，堵头设置在冷却管的导流段远离补气管一侧端部处。冷却管通入冷却气体，进而导流弹簧段的冷却管对补气管进行冷却，将补气管温度下降，镀膜反应气体的温度控制在反应温度以下，反应物不会沉积在补气管的管壁及补气口处；处于导流弹簧段的相邻冷却管线圈之间设有间隙，镀膜反应气体通过该间隙，达到出气缝的效果，提高镀膜工件的膜层均匀度。
冷却管补气管弹簧段导流低压化学气相沉积真空管式炉补气装置反应气体补气口堵头镀膜膜层均匀度出气口处镀膜工件冷却介质冷却气体出气缝导流段多线圈反应物盘绕管壁节距内孔沉积冷却

[实用新型]管状反应器的补气装置-CN201821341961.9有效
发明人：王杨阳;孙友巍;练菊;孙嵩泉 -专利权人：普乐新能源（蚌埠）有限公司
申请日： 2018-08-20 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型给出了一种管状反应器的补气装置；包括至少一根补气管，所述补气管后端通入镀膜所需的工艺气体，补气管前端贯穿炉尾盖板伸入LPCVD管炉内，补气管前端面开有供工艺气体排出的出气孔。通过补气管向LPCVD管炉内输送工艺气体，补充主进气管喷出的工艺气体的量，改善某区域内LPCVD镀膜的片间膜层厚度均匀性，使用本管状反应器的补气装置可以增加炉管长度，以增加恒温区长度，达到增加产能的目的。
补气管工艺气体管状反应器补气装置镀膜管炉膜层厚度均匀性本实用新型主进气管盖板出气孔恒温区前端面产能炉管炉尾排出喷出伸入贯穿补充

[发明专利]管状反应器的补气装置-CN201810948880.3在审
发明人：王杨阳;孙友巍;练菊;孙嵩泉 -专利权人：普乐新能源（蚌埠）有限公司
申请日： 2018-08-20 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明给出了一种管状反应器的补气装置；包括至少一根补气管，所述补气管后端通入镀膜所需的工艺气体，补气管前端贯穿炉尾盖板伸入LPCVD管炉内，补气管前端面开有供工艺气体排出的出气孔。通过补气管向LPCVD管炉内输送工艺气体，补充主进气管喷出的工艺气体的量，改善某区域内LPCVD镀膜的片间膜层厚度均匀性，使用本管状反应器的补气装置可以增加炉管长度，以增加恒温区长度，达到增加产能的目的。
补气管工艺气体管状反应器补气装置镀膜管炉膜层厚度均匀性主进气管盖板出气孔恒温区前端面产能炉管炉尾排出喷出伸入贯穿补充

[实用新型]连续掩膜挡板传动装置-CN201521142082.X有效
发明人：郭祖华;葛怀庆;练菊;朱向炜 -专利权人：蚌埠雷诺真空技术有限公司
申请日： 2015-12-31 - 公布日： 2016-06-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型给出了一种连续掩膜挡板传动装置,包括电机、掩膜挡板、安装支架、传动组件和底座，安装支架内开有贯穿上、下端面的镀膜槽口，镀膜槽口内侧壁上开有至少一条滑槽，掩膜挡板在所述滑槽内移动，底座放置在镀膜槽口下侧；传动组件至少包括传动丝杆，传动丝杆包括螺杆和螺母，螺杆支撑在安装支架上，螺杆的放置走向与滑槽的走向一致，螺母固定在掩膜挡板上；电机带动传动组件的螺杆转动。初始状态下掩膜挡板完全遮挡待镀膜的工件，电机驱动传动组件带动掩膜挡板移动，使工件逐步暴露在掩膜挡板外，配合外部镀膜设备对工件持续镀膜，进而达到渐进式镀膜的目的，满足对工件镀膜厚度的变化要求。
连续挡板传动装置

[发明专利]连续掩膜挡板传动装置-CN201511033444.6在审
发明人：郭祖华;葛怀庆;练菊;朱向炜 -专利权人：蚌埠雷诺真空技术有限公司
申请日： 2015-12-31 - 公布日： 2016-04-27 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明给出了一种连续掩膜挡板传动装置,包括电机、掩膜挡板、安装支架、传动组件和底座，安装支架内开有贯穿上、下端面的镀膜槽口，镀膜槽口内侧壁上开有至少一条滑槽，掩膜挡板在所述滑槽内移动，底座放置在镀膜槽口下侧；传动组件至少包括传动丝杆，传动丝杆包括螺杆和螺母，螺杆支撑在安装支架上，螺杆的放置走向与滑槽的走向一致，螺母固定在掩膜挡板上；电机带动传动组件的螺杆转动。初始状态下掩膜挡板完全遮挡待镀膜的工件，电机驱动传动组件带动掩膜挡板移动，使工件逐步暴露在掩膜挡板外，配合外部镀膜设备对工件持续镀膜，进而达到渐进式镀膜的目的，满足对工件镀膜厚度的变化要求。
连续挡板传动装置

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