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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]具有用于有效磁力传输的射频屏蔽件结构的变压器隔离器-CN202180040682.7在审
发明人：尼尔·本杰明;赫马·斯瓦鲁普·莫佩德维;约翰·皮斯 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2021-03-23 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H01F27/36 文献下载
摘要：提供了一种用于向等离子体腔室中使用的衬底支撑件的元件传输功率的变压器隔离器的装置。变压器隔离器的初级装置包括配置为与大地电气耦合的初级基板。初级铁氧体设置在初级基板上，并且初级铁氧体具有初级圆形通道。初级线圈被缠绕在初级圆形通道内。在初级铁氧体和初级线圈上设置有初级屏蔽件。初级屏蔽件包括从初级中心区域延伸到初级铁氧体的外围的第一多个径向区段。初级屏蔽件的延伸区域具有弯曲部分以连接初级屏蔽件和初级基板。在一个示例中，变压器隔离器的次级装置具有与初级装置相似的构造，并作为变压器隔离器的一部分一起使用。
具有用于有效磁力传输射频屏蔽结构变压器隔离器

[发明专利]具有双平衡线性混频器的射频检测器及相应的操作方法-CN201780083489.5有效
发明人：欧内斯特·贝奥尔·汉克斯;约翰·皮斯 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2017-11-07 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供RF检测器，并且其包括LO路径和RF路径、混频器和滤波器。LO路径包括第一缓冲器和正弦波至方波转换器。第一缓冲器接收第一RF信号，该第一RF信号基于由RF检测器接收的RF输入信号。在衬底处理系统内检测RF输入信号。正弦波至方波转换器将第一RF信号的正弦波转换为方波，并输出具有方波的LO信号。RF路径包括接收第二RF信号并输出RF输出信号的第二缓冲器。第二RF信号基于RF输入信号。混频器根据LO和RF输出信号产生IF信号。滤波器对IF信号进行滤波以产生DC信号，该DC信号代表第二RF信号。
具有平衡线性混频器射频检测器相应操作方法

[发明专利]维护模式电源系统-CN201980049063.7在审
发明人：尼尔·马丁·保罗·本杰明;约翰·皮斯 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2019-07-25 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：公开了一种用于控制到等离子体处理装置的电压电平的双模式电源设备。该双模式电源设备包括电源连接器和控制电路。该电源连接器连接到第一电压电源或第二电压电源。该控制电路连接在该电源连接器的输出与该等离子体处理装置的第一和第二电压子系统之间。在该等离子体处理装置的第一操作模式下，该控制电路基于该第一电压电源将第一电压提供给该第一电压子系统。在该等离子体处理装置的第二操作模式下，该控制电路基于第二电压电源将第二电压提供给该第二电压子系统。
维护模式电源系统

[发明专利]用于半导体加工的使用交流驱动的多路复用加热器阵列-CN201710166837.7有效
发明人： 约翰·皮斯;尼尔·本杰明 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2013-01-30 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种用于半导体等离子体加工装置中的衬底支撑组件的加热板，包括布置在可扩展的多路复用布局中的多个可独立控制的平面加热器区以及独立控制所述平面加热器区并给其独立供电的电气设备。并入加热板的衬底支撑组件包括静电夹紧电极和温控基板。用于制造加热板的方法包括将具有平面加热器区、分支传输线、公共传输线和通孔的陶瓷或聚合物片材粘合在一起。加热板能通过交流电或直流相变功率驱动，这样的优点是使衬底支撑组件上方的直流磁场效应最小并且减小直流磁场引起的等离子体不均匀性。
用于半导体加工使用交流驱动多路复用加热器阵列

[发明专利]用于电源电路的铁笼射频隔离器-CN201880077749.2在审
发明人：赫马·斯瓦鲁普·莫佩德维;约翰·皮斯;托马斯·W·安德森;尼尔·M·P·本杰明 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： H02N13/00 文献下载
摘要：电源电路的RF隔离包括围绕成对线圈的一个或多个铁氧体笼，一个线圈连接到电源输入，另一个线圈连接到负载(例如加热器)。该铁氧体笼为线圈提供了通用的隔离，从而不需要特别调谐的滤波器或更复杂的线圈布置。成对的介电盘支撑相应的线圈。一方面，铁氧体笼由铁氧体片构成，这些铁氧体片从介电盘的中央部分呈扇形散开，并在介电盘的外围和介电盘的中央部分连接。一方面，扇形铁氧体片包括锰锌或镁锌铁氧体，连接扇形铁氧体片的铁氧体片包括镍锌铁氧体。
用于电源电路铁笼射频隔离器

[发明专利]用于半导体加工的使用交流驱动的多路复用加热器阵列-CN201380011565.3有效
发明人： 约翰·皮斯;尼尔·本杰明 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2013-01-30 - 公布日： 2017-04-19 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：一种用于半导体等离子体加工装置中的衬底支撑组件的加热板，包括布置在可扩展的多路复用布局中的多个可独立控制的平面加热器区以及独立控制所述平面加热器区并给其独立供电的电气设备。并入加热板的衬底支撑组件包括静电夹紧电极和温控基板。用于制造加热板的方法包括将具有平面加热器区、分支传输线、公共传输线和通孔的陶瓷或聚合物片材粘合在一起。加热板能通过交流电或直流相变功率驱动，这样的优点是使衬底支撑组件上方的直流磁场效应最小并且减小直流磁场引起的等离子体不均匀性。
用于半导体加工使用交流驱动多路复用加热器阵列

[发明专利]用于监测复用加热器阵列的温度并控制该阵列的系统和方法-CN201280040080.2有效
发明人： 约翰·皮斯 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2012-08-16 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： H01L21/477 文献下载
摘要：一种测量在用于支撑在半导体处理装置中的半导体衬底的衬底支撑组件中的多区加热板的温度并控制该多区加热板的系统，该系统包括电流测量装置和开关装置。第一开关装置将所述功率回线中独立于其它功率回线选择性地连接到电接地、电压源或电隔离端。第二开关装置将所述功率供给线独立于其它功率供给线选择性地连接到所述电接地、功率源、所述电流测量装置或电隔离端。所述系统可用于通过测取串联连接到平面加热区域的二极管的反向饱和电流的电流读数，计算加热区域的温度和供电每个加热器区域，以实现期望的温度分布，从而保持所需的加热板的温度分布。
用于监测加热器阵列温度控制系统方法

[发明专利]检测无约束等离子事件的系统-CN200980103877.0有效
发明人： 约翰·皮斯;赛义德·法尔·杰夫润-泰赫拉尼 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2009-02-06 - 公布日： 2010-12-22 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：披露了用于在等离子处理室中检测无约束等离子事件的系统。该系统可包括置于等离子处理室中的传感器，其用于在该等离子处理室中存在无约束等离子时提供电流。该系统还可包括用于将电流转换为电压的转换器，以及包括去除电压中的噪声以提供第一信号的滤波器。该系统还包括检测器，其用于采用该第一信号的放大信号和/或该第一信号确定该无约束等离子的存在。该系统还可包括导线，其用于耦合该传感器和该转换器，以将电流从该传感器传导至该转换器。该系统还可包括屏蔽，其用于围绕该导线的至少一部分，从而至少减少该导线接收的电磁噪声。
检测无约束等离子事件系统

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