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[发明专利]一种半导体晶圆用快速退火设备及其使用方法-CN202310435533.1有效
发明人：钱勇;申伏龙 -专利权人： 精典电子股份有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体晶圆用快速退火设备及其使用方法，属于半导体晶圆制造处理技术领域，包括：退火炉单元，包含有炉底、炉芯体、炉盖和加热组件，所述炉底的顶部外周侧通过外固定沿固定连接圆炉体的底部，圆炉体的前侧中部开设有炉口，圆炉体的外侧安装有与炉口对应的炉口塞封单元，所述圆炉体的内侧套接有保温隔热套，保温隔热套的内侧套接有储热铁套，所述炉底的顶部中心通过内固定沿固定连接炉芯体底部，所述炉盖的底部固定连接圆炉体的顶部，所述炉盖的底部开设有弧形槽；既可以快速完成退火前的升温加热阶段，又可以使半导体晶圆均匀受热，且可以快速完成退火，退火整个流程的效率高，退火充分。
一种半导体晶圆用快速退火设备及其使用方法

[实用新型]集成电路专用设备搬运防倾倒装置-CN202320151069.9有效
发明人：王佩而 -专利权人： 精典电子股份有限公司
申请日： 2023-01-29 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： B62B3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种集成电路专用设备搬运防倾倒装置，集成电路专用设备为底部具有若干脚轮的矩形体，包括两个平板车体，平板车体分别位于集成电路专用设备的相对两侧底端并紧贴集成电路专用设备，两个平板车体之间设有夹持件，通过平板车体和夹持件围合夹持并固定住集成电路专用设备，平板车体的底部设有至少两个滚轮，滚轮的底面与脚轮的底面处于同一平面。本实用新型在集成电路芯片制造专用设备搬入和移出超净厂房的过程中，可增加被搬运专用设备的底部稳定性，防止高大而扁薄形状的设备组件在搬运移动中因意外而倾覆，造成经济损失和人身意外，保证了设备移出和搬入的正常进行和操作人员的人身安全。
集成电路专用设备搬运倾倒装置

[实用新型]自动焊接管道的点固焊快速定位对准装置-CN202223246160.3有效
发明人：陈弯弯;吴惠权 -专利权人： 精典电子股份有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： B23K9/007 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动焊接管道的点固焊快速定位对准装置，包括：定位底座，包括底板和长条件，顶面具有长槽，焊接管道定位于长槽内；定位压合装置，包括弹性拉升装置和压板，弹性拉升装置包括固定转轴、压簧导柱、压簧和限位螺母，固定转轴设于底板上，其旋转轴平行于长槽的延伸方向，压簧导柱的底端连接固定转轴，上端连接限位螺母螺纹，压缩状态的压簧的上端连接压板，下端连接固定转轴。本装置使焊接人员迅速直观地发现施工缺陷并及时予以纠正；结构简单，操作及使用方便，确保点固焊后管道之间的同心度和错位值、焊缝间隙等达到标准；提高毒性腐蚀性气体管路内壁的耐腐蚀性和表面粗糙度，保证输送特气纯度；提升集成电路芯片的良品率。
自动焊接管道点固焊快速定位对准装置

[实用新型]一种快速更换滤芯式过滤器装置-CN202220405564.3有效
发明人：申伏龙;马超勇 -专利权人： 精典电子股份有限公司
申请日： 2022-02-25 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： B01D46/88 文献下载
摘要：本实用新型提供一种快速更换滤芯式过滤器装置，包括由壳体、进风端法兰口、出风端法兰口、快开面板、滤芯导向滚珠导轨、进风取样口、出风取样口、及滤芯等结构，所述壳体为偏心长方体上下通透结构，所述壳体上、下法兰为通用适配。本实用新型装置结构简单、实用性强，可以实现对集成电路芯片制造超净厂房中，MAU(新风机组)新风管进风过滤器滤芯的不停机快速更换。
一种快速更换滤芯式过滤器装置

[实用新型]一种集成电路芯片生产设备防误报警开关装置-CN202220402444.8有效
发明人：宗天培 -专利权人： 精典电子股份有限公司
申请日： 2022-02-25 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： G08B21/18 文献下载
摘要：本实用新型提供安装在集成电路芯片生产设备反应腔体盖子上的防误报警开关装置，包括壳体以及固定设置在壳体中的水银开关；水银开关包括充有惰性气体的玻璃管以及玻璃管内置的水银液滴；所述玻璃管一端设置固定电极，固定电极穿过玻璃管连接引出线，引出线穿出壳体经传板接头与电缆相连，电缆与气体监控报警系统电性连接。随着玻璃管倾斜角度的变化,水银液滴位置由于重力立即发生改变,并以面接触的方式与固定电极相浸润完成开关导通动作。该装置结构简单、成本低廉、易于操作、后期维护费用低，能避免因腔体内极少量的残余气体逸出、而触发厂务端的特气监控报警系统发生误报警，同时保持厂务中央控制室的监控人员对此设备的关注。
一种集成电路芯片生产设备报警开关装置

[实用新型]用于集成电路芯片制造的立式低压炉管防结晶结构-CN202122973456.4有效
发明人：王晓龙 -专利权人： 精典电子股份有限公司
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及用于集成电路芯片制造的立式低压炉管防结晶结构，包括：外管、内管、气体集散装置内罩、气体集散装置、内套管。本实用新型可防止集成电路芯片制造的关键设备立式低压炉管的石英腔体底部温度下降过快，减少现有的立式低压炉管在使用过程中，由于原有排气系统的不合理设计，造成的附加产物氯化铵微颗粒堆积在排气口处，对后续生产的芯片质量和良品率带来的负面影响；可有效地延长机台的定期维护周期，提高产品良品率及炉管设备的正常运行时间。
用于集成电路芯片制造立式低压炉管结晶结构

[实用新型]一种用于高精密芯片测试的探针台-CN202122379685.3有效
发明人：戚艳磊 -专利权人： 精典电子股份有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于高精密芯片测试的探针台，涉及高精密芯片测试技术领域。本实用新型包括底座，底座上表面设有限位杆、升降丝杆、气缸和支撑架，限位杆表面设有升降台，升降丝杆穿透升降台并与升降台螺纹连接，升降丝杆上表面设有电机，电机输出端同轴连接有连杆，连杆与升降丝杆同轴连接。本实用新型通过气缸，在使用时，启动气缸，从而升降工作台，随后将芯片通过固定槽和支撑块固定，随后启动电机随后带动升降丝杆旋转，从而带动升降台升降，随后移动滑动块将探针移动至需要测试的位置，从而对芯片进行测试，当需要对其他位置进行测试时，旋转工作台，从而对其他位置进行测试，较为便捷。
一种用于精密芯片测试探针

[实用新型]一种集成电路制造扩散炉腔自动温度检查装置-CN202123164179.9有效
发明人：马晓倩 -专利权人： 精典电子股份有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： F27D21/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及集成电路制造领域，具体涉及一种集成电路制造扩散炉腔自动温度检查装置；包括升降装置和控制显示装置，其可以在扩散炉实施大修、关键性的加热或测温元器件更换之后，精确地显示扩散炉内部核心工作区域的温度情况并对之进行补偿和校准，使用后有助于在正常生产时保持炉腔内各处温度的恒定性，同时也保证了芯片制造工艺的精确度。
一种集成电路制造扩散自动温度检查装置

[实用新型]一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置-CN202121940539.7有效
发明人：赵志军 -专利权人： 精典电子股份有限公司
申请日： 2021-08-18 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，属于电子技术领域，包括密封室，所述密封室上方配合连接有密封盖，所述密封室与密封盖之间设置有门阀，所述密封盖顶部设置有透镜，所述透镜下方设置有消像散器，所述密封室两侧安装有伸缩机构，所述伸缩机构一端安装有防反光板，所述密封室底部设置有底座，所述密封室外部安装有万能表，所述万能表与底座之间设置有陶瓷导线。本实用新型该装置在使用过程中，能够进行对电子束电流进行一个有效的测量效果，且内部的测量数据准确，避免造成实验时的数据产生偏差，能够正常投入使用。
一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流装置

[实用新型]一种微电子集成电路拿取装置-CN202122095525.6有效
发明人：荆昊 -专利权人： 精典电子股份有限公司
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： B25B9/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及微电子技术领域，具体地说，涉及一种微电子集成电路拿取装置，包括镊子，镊子成V形结构镊子双腿前端设有镊头，镊子左侧设有吹风装置，镊子右侧设有照明装置，镊子两侧固定连接有固定块，固定块固定连接弧形卡环，吹风装置包括第一柱体.第一柱体内部设有风机，第一柱体内部开设有第一圆孔，风机与第一圆孔尺寸相适配，第一柱体前端设有锥体，锥体为锥形空心结构，锥体前端开设有通孔，第一柱体与弧形卡环卡接配合。通过设置的吹风装置与照明装置可对所取物所处环境以为过暗及灰尘较多的情况进行吹尘及照明处理，从而更方便的夹取所取物。
一种微电子集成电路装置

[实用新型]一种快开式扩充阀箱-CN202122877003.1有效
发明人：申伏龙 -专利权人： 精典电子股份有限公司
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： F16K27/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种快开式扩充阀箱，特别是一种适用于集成电路芯片厂的快开式扩充特气阀箱，包括箱体、支撑型钢、滑轨、软风管接口、封堵片、锁紧装置、拉手机构等。该装置结构简单、操作简便，可以实现阀箱的快速开关，完成阀门的操作或者扩充，并实现对箱体负压换气功能。
一种快开式扩充

[发明专利]一种圆晶片切割设备-CN202010031586.3有效
发明人：梅文江 -专利权人： 精典电子股份有限公司
申请日： 2020-01-13 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及芯片生产设备技术领域，且公开了一种圆晶片切割设备，包括旋转台，所述旋转台的上表面固定安装有行槽一，所述行槽一内部的一侧固定安装有步进电机一，所述行槽一的内部通过步进电机一活动安装有丝杠一，所述行槽一的上表面固定安装有行槽二，所述行槽二内部的一侧固定安装有步进电机二。该圆晶片切割设备，通过将两个设置成圆锥尖状的锥管放在切刀与圆晶片接触切割点的两侧切割线上，两个锥管之间的距离为圆晶片上两个晶元片的长度，使得切刀在对圆晶片切割过程中，能够杜绝贴在圆晶片背面薄膜本身具有的弹性的影响，能够固定所需切割位置两侧的平稳性，从而保证了圆晶片切割设备的切割成品率。
一种晶片切割设备

[实用新型]一种晶圆的定位装置-CN201821523145.X有效
发明人：张泳;张霖 -专利权人： 精典电子股份有限公司
申请日： 2018-09-18 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种晶圆的定位装置，包括承载晶圆的调整台、反射式光电传感器、信号处理单元和控制单元，所述的反射式光电传感器包括红外线发射端、反射装置以及红外线接收端，所述红外线发射端和反射装置分置于晶圆两侧，红外线发射端发射出的红外线垂直于晶圆，反射装置可将透射晶圆的红外线反射到红外线接收端，所述红外线接收端同信号处理单元输入端连接，信号处理单元内设置放大电路，信号处理单元的输出端连接控制单元。该装置可实现半透明多角度主、副双平边型晶圆的精准定位，并完成该晶圆正反面的识别。
一种定位装置

[实用新型]一种夹具-CN201921783718.7有效
发明人：胡从飞 -专利权人： 精典电子股份有限公司;上海精泰机电系统工程有限公司
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：一种夹具，包括若干组夹持单元，若干组所述夹持单元间隔夹持于待切割管道上，每组所述夹持单元包括两个对称设置的夹持结构，所述夹持结构包括两个对称设置的夹持环，两个所述夹持环的一端活动连接，另一端通过连接件可拆卸连接。一方面，通过夹持单元，可对切割部位进行准确定位，并作为管道切割工具的切割定位器，利于管道切割工具稳定准确的对管道进行切割；另一方面，夹持单元设置有若干组，分别间隔设置于同一根待切割管道上，有利于对待切割管道的识别，避免发生误切割现象。
一种夹具

[实用新型]一种晶圆冲洗装置-CN201921501753.5有效
发明人：刘青;俞韶兵 -专利权人： 精典电子股份有限公司
申请日： 2019-09-10 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种晶圆冲洗装置，包括安装底座、第一安装架、第二安装架、特氟龙软管和锥形喷嘴，所述安装底座安装于支架上，于所述安装底座上设置第一安装架和第二安装架，所述第一安装架和所述第二安装架上设置有同轴的通孔，于所述第一安装架和所述第二安装架的同轴通孔中依次穿设安装特氟龙软管，于所述特氟龙软管的喷嘴端设置锥形喷嘴。该冲洗装置能有效避免冲水管在固定处发生折损的问题，降低因冲水管破裂和微颗粒掉落导致产品异常的概率，同时提高冲水管冲水方向的稳定性。
一种冲洗装置

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