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[发明专利]含氟氧化钛-纳米二氧化硅复合物粒子及其制造方法-CN201580012989.0有效
发明人： 福岛刚史;佐藤胜之;泽田英夫 -专利权人：优迈特株式会社;国立大学法人弘前大学
申请日： 2015-03-10 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： C08G79/00 文献下载
摘要：本发明提供含氟氧化钛‑纳米二氧化硅复合物粒子，所述含氟氧化钛‑纳米二氧化硅复合物粒子包含通式R_F‑A‑OH表示的含氟醇和烷氧基硅烷及氧化钛和纳米二氧化硅粒子的缩合物。所述含氟氧化钛‑纳米二氧化硅复合物粒子可使用并非如氟化氢那样在处理时存在困难的、容易进行处理的含氟醇制造，即使对产物进行高温加热处理，也可抑制氧化钛作为光催化剂的功能的降低。（通式R_F‑A‑OH中，R_F为碳原子数6以下的全氟烷基，或为全氟烷基的氟原子的一部分被氢原子代替、且包含碳原子数6以下的末端全氟烷基及碳原子数6以下的全氟亚烷基的多氟烷基，A为碳原子数1～6的亚烷基）。
氧化纳米二氧化硅复合物粒子及其制造方法

[发明专利]树脂-含氟硼酸复合物粒子的复合体-CN201580013004.6有效
发明人： 福岛刚史;佐藤胜之;泽田英夫 -专利权人：优迈特株式会社;国立大学法人弘前大学
申请日： 2015-03-10 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： C08L101/00 文献下载
摘要：本发明提供树脂‑含氟硼酸复合物粒子的复合体，所述树脂‑含氟硼酸复合物粒子的复合体是在树脂中添加通式R_F‑A‑OH表示的含氟醇或含氟醇和烷氧基硅烷两者与硼酸的缩合物而形成的，所述烷氧基硅烷相对于所述含氟醇的摩尔比为1.0以下。上述树脂‑含氟硼酸复合物粒子的复合体相对于无机质基材等具有良好的密合性。（通式R_F‑A‑OH中，R_F为碳原子数6以下的全氟烷基，或为全氟烷基的氟原子的一部分被氢原子代替、且包含碳原子数6以下的末端全氟烷基及碳原子数6以下的全氟亚烷基的多氟烷基，A为碳原子数1～6的亚烷基）。
树脂硼酸复合物粒子复合体

[发明专利]含氟硼酸PVB复合物-CN201680014286.6有效
发明人： 福岛刚史;佐藤胜之;泽田英夫 -专利权人：优迈特株式会社;国立大学法人弘前大学
申请日： 2016-03-10 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： C08L29/14 文献下载
摘要：含氟硼酸PVB复合物，其包含以通式Rf(A‑OH)_k（这里，k为1或2；k为1时，Rf为碳数6以下的全氟烷基、该全氟烷基的氟原子的一部分被氢原子取代的多氟烷基、包含碳数6以下的末端全氟烷基及碳数6以下的全氟亚烷基而构成的多氟烷基、或具有碳数6以下的末端全氟烷基、碳数6以下的全氟亚烷基及醚键的直链状或支链状全氟烷基；k为2时，Rf为具有碳数6以下的全氟亚烷基及醚键的直链状或支链状的全氟亚烷基或多氟亚烷基；A为碳数1～6的亚烷基）表示的含氟醇、硼酸和聚乙烯醇缩丁醛的缩合物。
硼酸 pvb 复合物

[发明专利]含氟硼酸复合物粒子-CN201580012993.7有效
发明人： 福岛刚史;佐藤胜之;泽田英夫 -专利权人：优迈特株式会社;国立大学法人弘前大学
申请日： 2015-03-10 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： C09D5/16 文献下载
摘要：本发明提供含氟硼酸复合物粒子，其包含通式RF‑A‑OH表示的含氟醇与硼酸的缩合物。含氟硼酸复合物粒子也可以是含氟醇和烷氧基硅烷两者与硼酸的缩合物，所述烷氧基硅烷相对于含氟醇的摩尔比为1.0以下。上述含氟复合物粒子相对于无机质基材等具有良好的密合性。（通式RF‑A‑OH中，RF为碳原子数6以下的全氟烷基，或为全氟烷基的氟原子的一部分被氢原子代替、且包含碳原子数6以下的末端全氟烷基及碳原子数6以下的全氟亚烷基的多氟烷基，A为碳原子数1～6的亚烷基）。
硼酸复合物粒子

[实用新型]基板处理装置和喷嘴-CN201720915109.7有效
发明人： 福岛刚史;相浦一博;伊藤规宏 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-07-26 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基板处理装置和喷嘴，能够在停止了处理液的喷出之后确认喷嘴内的液面位置。实施方式的基板处理装置具备基板保持部和喷嘴。基板保持部保持基板。喷嘴向基板供给处理液。另外，喷嘴具备配管部和观察窗。配管部具有水平部分和从水平部分下垂的下垂部分，从下垂部分的顶端喷出处理液。观察窗设于配管部的水平部分。
处理装置喷嘴

[发明专利]基板处理装置和喷嘴-CN201710620301.8在审
发明人： 福岛刚史;相浦一博;伊藤规宏 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-07-26 - 公布日： 2018-02-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置和喷嘴，能够在停止了处理液的喷出之后确认喷嘴内的液面位置。实施方式的基板处理装置具备基板保持部和喷嘴。基板保持部保持基板。喷嘴向基板供给处理液。另外，喷嘴具备配管部和观察窗。配管部具有水平部分和从水平部分下垂的下垂部分，从下垂部分的顶端喷出处理液。观察窗设于配管部的水平部分。
处理装置喷嘴

[发明专利]含氟硼酸复合物胶囊粒子-CN201580012992.2有效
发明人： 福岛刚史;佐藤胜之;泽田英夫 -专利权人：优迈特株式会社;国立大学法人弘前大学
申请日： 2015-03-10 - 公布日： 2017-12-22 - 主分类号： C09K11/06 文献下载
摘要：本发明提供含氟硼酸复合物胶囊粒子，所述含氟硼酸复合物胶囊粒子包含通式RF‑A‑OH表示的含氟醇、客体化合物及硼酸粒子的缩合物。（通式RF‑A‑OH中，RF为碳原子数6以下的全氟烷基，具有碳原子数6以下的末端全氟烷基及碳原子数6以下的全氟亚烷基的含有O、S或N原子的直链状或支链状的全氟烷基，或全氟烷基的氟原子的一部分被氢原子代替、具有碳原子数6以下的末端全氟烷基及碳原子数6以下的全氟亚烷基的多氟烷基，该全氟亚烷基可以含有O、S或N原子，另外，该末端全氟烷基的1个氟原子可以被‑(CH2)fOH（此处，f为1～3的整数）代替，A为碳原子数1～6的亚烷基）。
硼酸复合物胶囊粒子

[发明专利]多氟烷基烯丙基化合物及其制备方法-CN201580053285.8在审
发明人： 福岛刚史 -专利权人：优迈特株式会社
申请日： 2015-09-18 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： C07C21/18 文献下载
摘要：由通式CF3(CF2)n(CH2CF2)a(CF2CF2)bCH2CH=CH2　[I](n0～5、a1或2、b0～3)表示的多氟烷基烯丙基化合物。该多氟烷基烯丙基化合物通过使过渡金属与由通式CF3(CF2)n(CH2CF2)a(CF2CF2)bCH2CHICH2OCOR´[II](n、a、b与上述定义相同，R´碳数1～3的烷基)表示的羧酸烯丙酯加成体反应进行制备。该制备方法提供不使用环境负荷高的金属试剂，可在进行氢化硅烷化反应之前去除来源于原料化合物的游离碘，且操作性也良好的、作为含氟烷基硅烷化合物的合成中间体使用的多氟烷基烯丙基化合物。
烷基丙基化合物及其制备方法

[发明专利]含氟烷基硅烷化合物及其制备方法-CN201580053193.X在审
发明人： 福岛刚史 -专利权人：优迈特株式会社
申请日： 2015-09-18 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： C07F7/18 文献下载
摘要：由通式CF3(CF2)n(CH2CF2)a(CF2CF2)b(CH2)3SiR3‑dXd　[I](n0～5的整数，a1或2，b0～3的整数，R碳数1～3的烷氧基、含氟烷氧基或烯基，X卤素，d0～3的整数)表示的含氟烷基硅烷化合物。该含氟烷基硅烷化合物通过如下制备在过渡金属催化剂的存在下，使由通式CF3(CF2)n(CH2CF2)a(CF2CF2)bCH2CH=CH2　[II](n、a、b与上述定义相同)表示的多氟烷基烯丙基化合物与烷氧基硅烷反应；或与氯硅烷反应之后，与低级醇或烯基金属反应。该制备方法提供不使用环境负荷高的金属试剂，可在进行氢化硅烷化反应之前去除来源于原料化合物的游离碘，且操作性也良好的含氟烷基硅烷化合物。
烷基硅烷化合物及其制备方法

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