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[实用新型]磁浮重力补偿器及光刻装置-CN202320355421.0有效
发明人：姚艺华;印欣;时磊;石佳蒙;王善明 -专利权人：雅科贝思精密机电（上海）有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： F16F6/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁浮重力补偿器及光刻装置，涉及集成电路装备制造技术领域。该磁浮重力补偿器包括磁浮单元，磁浮单元包括定子组件和动子组件，定子组件设于磁浮单元的外圈，包括定子磁环和线圈环，定子磁环和线圈环沿磁浮单元的轴线方向排布，定子磁环的充磁方向为径向充磁，线圈环周向设有冷却单元。动子组件设于磁浮单元的内圈，包括动子磁环，动子磁环包括第一动子磁环和第二动子磁环，第一动子磁环和第二动子磁环沿磁浮单元的轴线方向排布，第一动子磁环的充磁方向为径向充磁，第二动子磁环的充磁方向为轴向充磁。该磁浮重力补偿器能够产生被动悬浮力和主动悬浮力，主动悬浮力的大小可调。
重力补偿光刻装置

[实用新型]直线电机-CN202320764177.3有效
发明人：陈琦凯;周万里;石佳蒙;印欣 -专利权人：雅科贝思精密机电（上海）有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H02K9/02 文献下载
摘要：本实用新型属于电机技术领域，公开了一种直线电机，包括磁轨和本体，磁轨包括相对间隔设置的第一永磁体及第二永磁体，本体包括线圈部及顶盖，线圈部间隔设置于第一永磁体和第二永磁体之间，顶盖的底部连接于线圈部的顶部，顶盖内部开设有气流通道，气流通道内间隔设置有若干鳍片，且若干鳍片能够将顶盖的热量传递至气流通道中，压缩气体进入气流通道后带走顶盖内壁及鳍片上的热量，之后流向线圈部及磁轨中，对其进行进一步冷却。通过在顶盖内部设置气流通道且在气流通道中设置若干鳍片，在直线电机整体体积不变的前提下提高了顶盖的换热面积，从而提高了顶盖的散热效率，提高了直线电机整体的散热效率，进而使得直线电机获得了更高的推力密度。
直线电机

[发明专利]磁浮重力补偿器-CN202310185752.9在审
发明人：姚艺华;印欣;时磊;石佳蒙;王善明 -专利权人：雅科贝思精密机电（上海）有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H02N15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁浮重力补偿器，涉及精密元器件制造技术领域。该磁浮重力补偿器包括至少一个磁浮单元，磁浮单元包括定子组件和悬浮组件，定子组件设于磁浮单元的外圈，包括壳体、定子磁环和线圈环，定子磁环和线圈环沿磁浮单元的轴线方向排布，定子磁环的充磁方向为径向充磁，线圈环位于壳体内，壳体内设有冷却液流道，冷却液流道设于线圈环的周向。悬浮组件设于磁浮单元的内圈，包括动子磁环，动子磁环包括第一动子磁环和第二动子磁环，第一动子磁环和第二动子磁环沿磁浮单元的轴线方向排布，第一动子磁环的充磁方向为径向充磁，第二动子磁环的充磁方向为轴向充磁。该磁浮重力补偿器能够产生被动悬浮力和主动悬浮力，主动悬浮力的大小可调。
重力补偿

[发明专利]一种平板音圈电机-CN202310370672.0在审
发明人：姚艺华;印欣;时磊;王善明;石佳蒙 -专利权人：雅科贝思精密机电（上海）有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H02K41/035 文献下载
摘要：本发明涉及半导体设备技术领域，具体公开了一种平板音圈电机，其线圈组件包括至少一个线圈和至少一个导磁块，线圈整体为环形，线圈环绕设置在导磁块的周向，磁轨组件包括背铁和磁铁阵列，磁铁阵列固定在背铁上，线圈组件设置在磁铁阵列沿Z轴方向的中心，当线圈通电时，磁轨组件和导磁块形成的磁场共同对线圈施加安培力，通过导磁块增加了平板音圈电机在其输出方向的受力，从而在相同的铜耗下实现推力密度的提升，同时保证平板音圈电机整个运行过程平稳，出力均匀。并且对于平板音圈电机的结构改动较小，无需对现有的生产工艺进行较大改动，适用性良好，方便工业生产。
一种平板电机

[实用新型]直线电机-CN202320056239.5有效
发明人：周万里;石佳蒙;印欣;林浩元 -专利权人：雅科贝思精密机电（上海）有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H02K9/02 文献下载
摘要：本实用新型属于电机技术领域，公开了一种直线电机。该直线电机包括底座和动子组件。底座具有沿第一方向延伸的滑槽，动子组件与滑槽滑动连接，底座还包括底板、第一散热板和第二散热板。其中，底板设置在滑槽的底部，底板内设有沿第一方向延伸的第一气道，底板靠近滑槽的一侧上设有与第一气道连通的若干第一出气孔；第一散热板设置在底板的一端，第一散热板内设有第二气道；第二散热板设置在底板的另一端，第二散热板内设有第三气道；第一散热板和第二散热板均与底板垂直。上述直线电机的散热效率较高，能够有效控制线圈和直线电机的温升，提高了直线电机的精度。
直线电机

[实用新型]线性马达模组-CN202320114878.2有效
发明人：王建设;印欣;张新密;石佳蒙 -专利权人：雅科贝思精密机电（上海）有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H02K41/02 文献下载
摘要：本实用新型属于电机控制模组技术领域，公开了线性马达模组。其中包括框架，框架上安装有磁轨，磁轨上安装有马达构件，马达构件沿磁轨长度方向滑动，线性马达模组还包括磁性弹簧，磁性弹簧包括定子端和动子端，定子端固定在框架上，动子端与线性构件连接，定子端与动子端上的磁极相反，定子端与动子端相互吸引；解决现有技术下气缸在断电的时候会使动子端与负载发生自由落体，导致线性马达模组损坏的问题。
线性马达模组

[实用新型]一种运用于超薄直线电机的紧凑型石墨散热线圈装置-CN202122810213.9有效
发明人：周万里;石佳蒙;姚艺华;印欣;林浩元 -专利权人：雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H02K3/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种运用于超薄直线电机的紧凑型石墨散热线圈装置，所述紧凑型石墨散热线圈装置为直线电机的动子，包括：线圈支架、石墨片、线圈、环氧树脂；所述线圈支架的一侧设有多个用于安装线圈的安装槽，所述线圈放置在安装槽中，并通过环氧树脂固定，所述石墨片贴附在线圈支架上下两侧。本实用新型，对于高电流，高发热状况，能有效的降低线圈的最高温度，对于线圈绝缘起到很好的保护作用；在相同的绝缘等级下，能提高线圈的运行电流，有更大的推力产生，使得电机更具有竞争力。
一种运用于超薄直线电机紧凑型石墨散热线圈装置

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