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[发明专利]用于制造针头的方法和设备-CN201580060084.0在审
发明人： P·鲍尔;S·库尔;W·绍乐;F·沈乐;M·韦伯;R·泽沙勒 -专利权人： 睿纳有限责任公司
申请日： 2015-11-05 - 公布日： 2017-08-18 - 主分类号： B23H9/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造针头的方法以及采用该方法制成的针头。本发明还涉及适用于采用该方法制造针头的设备。该方法涉及由空心的管节段(1)制造具有倾斜的插入端部的针头，该插入端部具有前部的插入部分和后部的开口部分，其中前部的插入部分具有倾斜的面，该倾斜的面从进入尖端向后延伸并且具有内部的侧棱边，并且其中，后部的开口部分具有倾斜的面，该倾斜的面从前部部分的倾斜的面向后延伸并且具有内部的侧棱边以及倒圆的后棱边(10、12)，其中，通过电化学剥蚀(ECM)在存在电解质的情况下对后棱边(10、12)进行倒圆。
用于制造针头方法设备

[实用新型]处理平坦基板的装置-CN201320560416.X有效
发明人：默克.延斯 -专利权人： 睿纳有限责任公司
申请日： 2013-09-10 - 公布日： 2014-07-30 - 主分类号： H01L21/302 文献下载
摘要：本实用新型涉及平坦基板的处理领域，具体涉及处理平坦基板的装置。本实用新型特别涉及使用彼此不同的液体，进行固定于保持装置的平坦基板（尤其是硅片等）的处理以及平坦基板自保持装置剥离的准备。本实用新型的处理平坦基板的装置具有：收纳液体的槽（1）、改变保持装置（3）和槽（1）之间的垂直距离的装置（2）、分别向槽（1）内供给适用于进行所述平坦基板（4）的处理或剥离平坦基板（4）的准备的至少二种液体的机构、以及优选的从所述槽（1）除去液体的机构。
处理平坦装置

[发明专利]用以调整平面物品的方法-CN201280039903.X无效
发明人：延斯·默克 -专利权人： 睿纳有限责任公司
申请日： 2012-06-01 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种用以调整如硅衬底之类的平面物品的方法。以常规的冲洗、分开及湿化学处理对从块状材料锯开且一个边缘被固定在板状固定装置上形成梳子状构造物的物品进行调整，其中此种调整在将被锯开的平面物品从固定装置分开之前进行。一种适于用来执行该方法的装置，具有两个与装置的纵轴(L)平行且上下相叠的区域，其中上方区域是作为转接区(1)。下方区域是作为保持区(2)构成的，这个区域具有通道(11)，该通道（11）是通道系统的一部分，该通道系统可经由可关闭的供料开口(5)供应处理液且是四周关闭或可关闭的。在锯开衬底块时，通道(11)的底部会以细缝形式打开以形成通道开口(15)让处理液通过，通道(11)沿着装置的纵轴(L)被分成多个区段(11A、11B)。
用以调整平面物品方法

[实用新型]对平坦基板进行单面湿化学处理的装置-CN201320554259.1有效
发明人：巴赖斯·德克;卡尔滕巴赫·弗洛里安;桑德·贝恩德-尤韦;丁佩尔费尔德·沃尔夫冈;伯诺尔·迪特马尔;派蒂阿迪克斯·亚历克西斯;魏泽·凯特琳 -专利权人： 睿纳有限责任公司
申请日： 2013-09-06 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及液体辅助的平坦基板的处理领域。本实用新型特别涉及在单面湿化学处理中改善上述基板的背面保护。一种对平坦基板进行单面湿化学处理的装置，所述平坦基板（2）的单面湿化学处理装置具有：收纳处理液（F）的处理槽（7）；沿输送平面（8）向预定的输送方向水平引导基板（2）沿处理液（F）的表面通过该处理槽（7）的输送装置（4）；至少一个配置在所述输送平面（8）的上侧、向基板（2）的非处理面垂直供给排气（3）的机器（1）。
平坦进行单面化学处理装置

[实用新型]用于多列传送平坦物体的装置-CN201220422586.7有效
发明人：约尔格·弗兰茨克;马蒂亚斯·尼泽 -专利权人： 睿纳有限责任公司
申请日： 2012-08-23 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： B65G49/07 文献下载
摘要：本实用新型涉及传送平坦物体的领域。本实用新型尤其涉及在湿法化学的连续式设备中传送例如为硅晶圆的平坦物体的领域。根据本实用新型的用于多列传送平坦物体的装置用于在多个彼此平行设置的列中同时地传送衬底，其包括用于供给衬底的多列的供给区域、用于传送衬底的多列的传送区域以及用于提取由传送区域供给的衬底的多列的提取区域，其中供给区域的每个列包括用于容纳多个彼此重叠设置的衬底的、可竖直移动的设备以及用与对所述衬底进行拆堆的机构，并且提取区域的每个列包括用于容纳多个彼此重叠设置的衬底的、可竖直移动的设备以及用于对所述衬底进行堆叠的机构。
用于传送平坦物体装置

[实用新型]用于衬底强度测试的装置-CN201220601114.8有效
发明人：罗朗德·德尚-瓦格内 -专利权人： 睿纳有限责任公司
申请日： 2012-11-14 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： G01N3/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于衬底强度测试的装置，其设置用于对平坦的易破碎的衬底进行强度测试，其包括用于衬底的安置面和加载设备，其中所述加载设备包括用于对衬底进行无接触加载的机构。
用于衬底强度测试装置

[实用新型]用于湿法化学工艺的设备-CN201220451506.0有效
发明人：约尔格·弗兰茨克;马蒂亚斯·尼泽;于尔根·施韦希肯迪克 -专利权人： 睿纳有限责任公司
申请日： 2012-09-05 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及用于湿法化学工艺的设备，其用于借助处理液在形成从处理液中逸出的气态物质的情况下对衬底进行湿法化学处理。更准确地，本实用新型涉及可替换的处理池。用于借助处理液在形成从处理液中流出的气态物质的情况下对衬底进行湿法化学处理的设备包括：构成为双层壁的并可替换的处理池，其外壁和内壁在形成中间腔的情况下彼此隔开；设置在处理池之下的容器以容纳从处理池中流出的气态物质和/或处理液，其能够通过中间腔排出到用于容纳的容器中；和设置在处理池的外壁和用于容纳的容器之间的过渡区域中的密封部以相对于周围环境屏蔽气态物质和/或处理液，其中密封部是基于液体的密封部，通过在过渡区域中提供液体收集容积部构成所述密封部。
用于湿法化学工艺设备

[实用新型]定量加料装置、处理站和处理设备-CN201220713085.4有效
发明人：塔尼娅·维特曼;马蒂亚斯·尼泽;于尔根·施韦希肯迪克 -专利权人： 睿纳有限责任公司
申请日： 2012-12-20 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： B01J4/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及定量加料装置领域。尤其地，本实用新型涉及用于在对工件进行湿法化学处理的范围中使用的液态组分的定量加料装置领域，以及一种带有这种定量加料装置的处理设备。用于提供在对工件进行湿法化学处理的范围中使用的液态组分的根据本实用新型的定量加料装置包括带有入口和出口的储存器、至少一个通到储存器中的导入管道、用于储存器内含物的称重装置、设置在出口下游的流量测量装置、至少一个可控制的排出阀、以及导出管道，其中储存器具有用于压缩气体的入流口，并且出口设置在储存器的下部区域中。
定量加料装置处理设备

[实用新型]用于干燥衬底的设备-CN201220646816.8有效
发明人：马蒂亚斯·尼泽;约尔格·弗兰茨克 -专利权人： 睿纳有限责任公司
申请日： 2012-11-29 - 公布日： 2013-10-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于干燥衬底的设备，其具有用于降低和提升支承体（6）的运动装置（3，4），使得支撑在支承体（6）上的衬底能够浸入到处理液体的液位之下并且能够沿基本上垂直方向（V）从处理液体中提出，使得处理液体基本上完全从衬底的表面流走，其中所述设备设有偏转装置（5），支承体（6）能够借助于所述偏转装置在提升时相对于竖直方向（V）偏转预设的角度（α，β）。
用于干燥衬底设备

[实用新型]带有定量加料装置的处理设备-CN201220715462.8有效
发明人：塔尼娅·维特曼;马蒂亚斯·尼泽;于尔根·施韦希肯迪克 -专利权人： 睿纳有限责任公司
申请日： 2012-12-21 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及处理设备领域。尤其地，本实用新型涉及在使用剂量装置的情况下借助于液态组分对工件进行湿法化学处理的处理设备的领域。本实用新型公开一种处理设备，其具有：能够经由介质供应管道供应的处理池，以用于借助于处理介质对工件进行湿法化学处理，所述处理介质具有至少一种液态组分；至少一个具有单独的导出管道的定量加料装置，其中用于在整个设备的范围内进行处理所需要的每种液体组分分配有单独的定量加料装置，并且其中每个导出管道经由可控制的切换阀与处理池的介质供应管道连接，并且/或者其中每个导出管道通到每个处理池中并且包括选择阀。
带有定量加料装置处理设备

[实用新型]夹具和携动件-CN201220538861.1有效
发明人：贝恩德·舍勒 -专利权人： 睿纳有限责任公司
申请日： 2012-10-19 - 公布日： 2013-07-31 - 主分类号： B65G39/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及夹具和携动件。本实用新型涉及用于平的衬底的运输装置的领域。本实用新型尤其涉及夹具和其在轴上的固定。根据本实用新型的用于能运输穿过具有处理液的处理池的平衬底的夹具（1）具有：能插装到能旋转的轴（2）上的套筒（3），套筒在其壳面（3A）上具有至少一个突出的、环绕的、用于衬底的接触面（4）和两个端部（5A、5B）；和用于将力从轴（2）传递到套筒（3）上的至少一个携动件（6A；6B），其特征在于，携动件（6A；6B）能够力配合和/或形状接合地在所述套筒（3）的侧向上定位在轴（2）上并且具有爪（7A），所述爪与设置在套筒（3）的朝向爪的端部（5A；5B）上的凹部（7B）配合。
夹具携动件

[实用新型]用于湿法化学处理的设备-CN201220451012.2有效
发明人：约尔格·弗兰茨克;马蒂亚斯·尼泽;于尔根·施韦希肯迪克 -专利权人： 睿纳有限责任公司
申请日： 2012-09-05 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及用于湿法化学处理的设备，其用于借助处理液对衬底进行湿法化学处理。更准确地，本实用新型涉及可替换的处理池。用于借助处理液（F）对衬底进行湿法化学处理的设备包括具有外壁（2）的可替换的处理池（1）、设置在处理池（1）之下的用于容纳从处理池（1）中流出的处理液（F）的容器（5）以及至少两根偏心轴（9），借助于所述偏心轴（9）将所述处理池（1）通过提升来与所述用于容纳的容器（5）分离。
用于湿法化学处理设备

[发明专利]用于处理平的衬底的设备和方法-CN201210447858.3无效
发明人：恩里科·豪赫维茨;迪特马尔·贝尔瑙尔;弗洛里安·卡尔滕巴赫;塞巴斯蒂安·帕齐希-克莱因;迪尔克·巴赖斯 -专利权人： 睿纳有限责任公司
申请日： 2012-11-09 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：在用于在连续的过程中处理平衬底的设备中，用液态处理介质填充槽容器直至一定液位。借助于运输装置，衬底能够通过引导元件在水平的运输平面中沿运输方向引导地运输通过处理介质，使得将衬底的至少一个处理侧浸入到处理介质中。处理介质能够借助于循环装置在槽容器中循环，循环装置包括抽吸装置和输出装置，处理介质通过抽吸装置从槽容器中抽出，抽出的处理介质又通过输出装置输出到槽容器中。迎流元件在槽容器中设置在低于运输平面的高度水平上，循环装置的输出装置包括输出喷嘴，输出喷嘴设置在低于迎流元件的高度水平上并设计成，使得输出喷嘴中的每个目的明确地朝向迎流元件的每个输出处理介质的主要部分。还说明用于处理平衬底的方法。
用于处理衬底设备方法

[实用新型]用于清洁硅衬底的设备-CN201220277499.7有效
发明人：马库斯·乌伊莱因;斯特凡·海因里希·韦内特;帕特里克·甘特尔;克劳迪娅·沙夫纳;马丁·韦伯 -专利权人： 睿纳有限责任公司
申请日： 2012-06-05 - 公布日： 2013-04-10 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于清洁硅衬底的设备。特别地，本实用新型涉及一种用于清洁由清洁液体包围并运输通过处理池的硅衬底的设备。根据本实用新型，用于单侧清洁硅衬底(1)的设备包括容纳清洁液体(F)的处理池(2)、用于通过处理池(2)沿着清洁平面(4)水平运输硅衬底(1)的运输设备(3)、用于产生声波场的至少一个振动器(5)以及用于将清洁的液体输出到待清洁衬底表面上的至少一个喷嘴(6)，其中至少一个振动器(5)设置在处理池(2)中，使得由所述振动器发射的声波能到达非待清洁的衬底表面上，且其中至少一个喷嘴(6)设置并定向成使得由喷嘴输出的液体在由振动器发射的声波的作用区域(W)中能到达待清洁衬底表面上。
用于清洁衬底设备

[发明专利]用于在连续式设备中进行液体液位调节的方法和装置-CN201210308583.5无效
发明人：拜尔·马库斯 -专利权人： 睿纳有限责任公司
申请日： 2012-08-27 - 公布日： 2013-03-06 - 主分类号： G05D9/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种在以液体为基础的单侧处理平坦物体期间允许精确维持衬底和液体表面之间期望的相对垂直距离的方法以及一种适合于此的装置。该方法包括步骤：借助于调节设备比较与当前的垂直距离相关的液位实际值和与期望的垂直距离相关的液位理想值，在偏离液位理想值时，调节设备生成理想调整值以用于达到液位理想值，调节设备将理想调整值传送给用于控制相对垂直距离的设备。该方法的特征在于，根据平坦物体的同时接触在处理池中的液体的总表面积求得液位实际值。本发明的装置包括调节设备、用于控制相对垂直距离的设备以及用于检测和/或确定平坦部件的同时接触处理池中液体的总表面积和/或用于检测和/或确定处理池中的平坦物体的数量的机构。
用于连续设备进行液体调节方法装置

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