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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于处理衬底的装置和方法-CN201910444327.0有效
发明人： 田明娥;李茂贤;李瑟 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2019-05-27 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本文中描述的发明构思的实施例涉及用于去除从被处理的对象暴露于外面的粘合剂的装置和方法。一种用于去除从被处理的对象的边缘区域暴露于外面的粘合剂的装置，其中，所述对象具有通过粘合剂粘合在一起的图案化衬底和支撑板，覆盖液喷嘴将覆盖液分配至对象顶表面中除暴露区域之外的覆盖区域上，并且控制器控制覆盖液分配构件以调节覆盖液的流速，从而使粘合剂的去除速率保持恒定。
用于处理衬底装置方法

[发明专利]臭氧水分解装置及方法-CN202310121311.2在审
发明人： 田明娥;崔永燮;李福圭;张奎焕;高镛璿 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C02F1/20 文献下载
摘要：提供了一种能够快速且稳定地分解臭氧水的臭氧水分解装置及方法。该臭氧水分解装置包括：罐，配置成容纳臭氧水并分解臭氧水；第一供应单元，配置成将臭氧水供应到罐；第二供应单元，配置成将添加剂供应到罐，其中添加剂以预设的第一供应量或第二供应量供应；循环管线，配置成循环罐中的臭氧水；以及浓度计，安装在循环管线中，其中：使用循环管线循环臭氧水之后，使用浓度计测量臭氧水的臭氧浓度；随后基于臭氧水的测量到的臭氧浓度供应第一供应量或第二供应量的添加剂；以及随后循环臭氧水直至臭氧水的臭氧浓度达到预设的参考浓度。
臭氧水分装置方法

[发明专利]臭氧分解单元和方法、及包括该臭氧分解单元的基板处理装置-CN202211733910.1在审
发明人：李福圭;沈秉禹;高镛璿;崔永燮;田明娥 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开了一种分解臭氧水中的臭氧的方法。根据本发明，通过将臭氧水与经加热的水混合来升高臭氧水的温度，并且通过温度的升高而将臭氧水中的臭氧分解成氧气。
臭氧分解单元方法包括处理装置

[发明专利]基板处理装置和液体供应方法-CN202110449834.0在审
发明人：洪榕焄;李瑟;田明娥;崔文植;金荣洙 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及基板处理装置和液体供应方法。本发明构思提供基板处理装置。在实施方式中，基板处理装置包括：壳体，该壳体具有用于在该壳体的内部中处理基板的处理空间；支承单元，该支承单元在该处理空间中支承该基板；喷嘴，该喷嘴将液体供应到位于该支承单元上的基板；液体供应单元，该液体供应单元将液体供应到该喷嘴；以及控制器，该控制器控制该液体供应单元，该液体供应单元包括：罐，该罐具有用于存储液体的内部空间；以及第一循环管线，该第一循环管线使存储在内部空间中的液体循环，第一加热器安装在该第一循环管线中，并且该控制器控制第一加热器，使得该第一加热器将液体加热到第一温度，在该第一温度下在液体的内部中的颗粒不被洗脱。
处理装置液体供应方法

[发明专利]供应液体用单元、具有该单元的处理基板用设备及方法-CN202010591142.5在审
发明人：李成洙;郑富荣;崔气勋;田明娥;朴修永 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供一种供应液体用单元、具有该单元的处理基板用设备及方法。用于处理基板的设备包括：处理容器，其具有处于所述处理容器内部的处理空间；基板支撑单元，其用于在所述处理空间中支撑基板；以及液体供应单元，其用于将处理液体供应至由所述基板支撑单元支撑的所述基板。所述液体供应单元包括：喷嘴；供应管线，其用于将所述处理液体供应至所述喷嘴且在所述供应管线中安装有第一阀；以及排出管线，其自作为所述供应管线中所述第一阀下游的点的分支点分支，以自所述供应管线排出所述处理液体，且在所述排出管线中安装有第二阀。在所述供应管线中，在所述分支点与所述喷嘴之间的区域中没有阀。
供应液体单元具有处理基板用设备方法

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