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- [发明专利]用于处理衬底的方法和设备-CN201880067987.5有效
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J.韦查特;J.韦查特
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瑞士艾发科技
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2018-09-14
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2023-10-13
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H01L21/67
- 一种处理衬底或制造经处理的衬底的方法包括以下步骤：a)在第一压力的第一气氛中对衬底进行第一处理，b)随后，在第二压力的第二气氛中对经第一处理的衬底进行第二处理，其中，衬底的第二温度不同于第一温度，并且第二压力低于第一压力，c)在步骤a)与b)之间，将经第一处理的衬底从第一气氛锁定到第二气氛中，d)在锁定期间，将经第一处理的衬底从第一温度朝向第二温度加热或冷却。一种对应的衬底处理设备包括：a)第一处理站，b)第二处理站，c)负载锁定室，其互连在第一站输出端与第二站输入端之间；d)在负载锁定室中的受控热交换装置，其适于与负载锁定室中的经第一处理的衬底进行热交换。
- 用于处理衬底方法设备
- [发明专利]生物特征认证系统-CN202180049149.7在审
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S·施温瑟尼
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瑞士艾发科技
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2021-07-14
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2023-06-09
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G06V40/13
- 本发明涉及生物特征认证系统，其包含：‑半透明保护板，其在所述保护板的正面上具有认证区域，并且基本上平行于所述正面，其具有形成所述板的第二面的反面；‑发光源，以照亮按压或触摸所述认证区域的物体；‑传感器，其布置在所述反面或与所述反面相距一定距离；‑从所述认证区域到所述传感器的光学路径；‑在所述光学路径内的光学滤波器；其中所述光学滤波器是层状近红外(NIR)滤波器，其包含：‑在基底侧的内ZnOx和/或内TiOx层中的至少一个；‑随后是多个银层，每个银层通过另外的ZnOx和/或另外的TiOx层中的至少一个与每个相邻的银层分隔开；‑沉积在最外银层上的外ZnOx层、外TiOx层和/或阻挡层中的至少一个。
- 生物特征认证系统
- [发明专利]采用直流脉冲阴极阵列的设备和方法-CN202180020780.4在审
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M·厄尔加扎里;O·拉通德;C·埃格利
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瑞士艾发科技
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2021-02-01
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2022-10-18
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H01J37/34
- 用于在基材上溅射沉积材料的设备，所述设备（30）包括：‑沉积室（31）；‑安装在沉积室中的阴极阵列，所述阵列具有三个或更多个旋转阴极（1、2、3、4、n），每个阴极具有相等靶长度LT的圆柱形靶（5、6、7、8、n）和磁系统（9、10、11、12、n），该阴极彼此间隔以使它们的纵轴YCj以距基材平面S的距离TSD彼此平行布置，并以距离TTT沿基材轴X的投影间隔开，其中该阴极阵列的每个阴极包括磁系统（9、10、11、12、n），并且至少一个阴极的磁系统（9、12、n）围绕相应的阴极轴YCj回转安装，以使磁系统回转进入和离开回转平面PTS；‑底座（15），其设计为以静态方式支撑要涂覆的最大尺寸x*y的至少一个基材（14），该底座位于沉积室中，相对于阴极阵列在前方并居中；‑至少一个脉冲电源（13），其配置为向至少一个阴极供应和控制电力。
- 采用直流脉冲阴极阵列设备方法
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