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[实用新型]一种适用于晶圆吸附的卡盘-CN202320882373.0有效
发明人： 王进文;邓忠光;欧昌东 -专利权人：武汉精测电子集团股份有限公司;武汉精立电子技术有限公司
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种适用于晶圆吸附的卡盘，属于半导体生产设备领域，其包括铝质的吸附板，吸附板的吸附面上开设有多道同心圆形式的槽道，各道次同心圆形式的槽道物理上相互独立并相互隔离，分别连通不同的气路，以能被独立控制产生负压吸附。其还包括转接板，转接板设置在吸附板的底部并相互紧密贴合以形成气密封，吸附板顶部处具有台阶状镂空部，转接板外形与吸附板相匹配，且内部开设有多路相互独立的气路槽道，以能用于实现将吸附板转接连通于外界的气源。本实用新型申请设计有多组独立的气路，多路气槽或者槽道进行隔离，能适应吸附不同尺寸的晶圆。
一种适用于吸附卡盘

[实用新型]一种微生物菌剂喷洒装置-CN202320929088.X有效
发明人：张海波;黄寅玲;李明利;王进文 -专利权人：鹤壁市汇恩生物科技有限公司
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： B05B15/68 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种微生物菌剂喷洒装置，包括底座，其顶部的左右两侧上均架设有第一液压缸，两第一液压缸活塞杆均朝下固连有安装板，安装板底部的前后两侧均设有安装钉，底座顶部中心设有第二液压缸，第二液压缸活塞杆朝上固连有升降板，升降板上设有菌剂筒，菌剂筒顶部贯穿且转动设有喷洒管，喷洒管顶端封闭、底端敞口且其底端对应的菌剂筒内底部上设有第三液压缸，第三液压缸活塞杆朝上固连有封堵板，封堵板上设有锥形堵头，堵头的小径端朝上且其可伸入喷洒管，喷洒管上部周侧均布有四组喷洒支管，喷洒支管上设有闸阀且其尾端连通有喷头。本实用新型可实现安装钉的自动拔出、周转均匀喷洒以及喷洒高度、方向和剂量的灵便调节，更加实用。
一种微生物喷洒装置

[发明专利]一种皮带输煤机输料计量方法及系统-CN202310624979.9在审
发明人：李伟伟;周智宾;刘华;王凯;崔云飞;王进文;蒋妙根;李伟 -专利权人：华能巢湖发电有限责任公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B65G43/08 文献下载
摘要：本发明输料计量技术领域，更具体地，涉及一种皮带输煤机输料计量方法及系统，该方法包括：获取预设周期的输料轮廓数据和皮带秤数据，将同一预设周期的所述输料轮廓数据和所述皮带秤数据记为计量数据组；将所述输料轮廓数据输送到输料量预测模型中，计算得到第一输料量，根据所述皮带秤数据计算得到第二输料量；将同一计量数据组中第一输料量和第二输料量作差得到输料差值绝对值，若所述输料差值绝对值不大于预设输料差值绝对值，取第一输料量和第二输料量的平均值为最终输料量，本发明解决了在当皮带秤精度不准或出现异常状况时，这种测量方式可能会造成较大误差，从而使输煤量产生较大误差，从而影响掺配效率及效果的问题。
一种皮带输煤机输料计量方法系统

[发明专利]一种智能斗轮取料系统-CN202310625001.4在审
发明人：李伟伟;周智宾;刘华;王凯;崔云飞;王进文;睢银江;宋金浩 -专利权人：华能巢湖发电有限责任公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B65G65/02 文献下载
摘要：本发明涉及工程控制领域，具体公开了一种智能斗轮取料系统，包括：斗轮机构和输送机构，还包括：清理机构，用于对待取煤料中的杂物进行清理；控制模块，用于获取待取煤料图像，基于语义分割算法结合待取煤料图像设定所述清理机构的齿轮转速；修正模块，用于对所述齿轮转速进行修正；频率设定模块，用于获取当前待取煤料温度，根据当前待取煤料温度设定所述清理机构的启闭频率；输送机构检测模块，用于检测所述输送机构的异常情况，根据所述异常情况的发生频率对所述清理机构的启闭频率进行调整。本发明通过增加清理机构，防止煤料内的杂物对取料机器造成影响，通过对清理机构的控制，防止扬尘污染，节能环保，提升了系统的安全性。
一种智能斗轮取料系统

[发明专利]一种基于皮带运输警示的煤料输送分析方法及系统-CN202310625008.6在审
发明人：李伟伟;周智宾;刘华;王凯;崔云飞;王进文;杨燕青;于汝栋 -专利权人：华能巢湖发电有限责任公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B65G43/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于皮带运输警示的煤料输送分析方法及系统，包括：获取输煤皮带机的电流警示信息，根据所述电流警示信息确定输煤皮带机的煤料输送量；确定输煤皮带机的规格参数，基于所述煤料输送量，根据所述规格参数确定输煤皮带机的煤料高度；获取输煤皮带机的皮带警示信息，所述皮带警示信息包括皮带撕裂警示信息和皮带跑偏警示信息，根据所述皮带撕裂警示信息确定输煤皮带机的煤料漏料量，根据所述皮带跑偏警示信息确定输煤皮带机的煤料跑偏量；根据所述煤料高度、所述煤料漏料量和所述煤料跑偏量确定输煤皮带机中煤料输送状态。通过分析皮带运输警示实现煤料输送状态的确定。
一种基于皮带运输警示输送分析方法系统

[发明专利]一种显微检测对焦系统及对焦方法-CN202310578040.3在审
发明人：邓俊涛;王进文;王佳;谭盼;夏振义;苗丹 -专利权人：武汉精立电子技术有限公司;武汉加特林光学仪器有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G02B21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种显微检测对焦系统及对焦方法，其包括：管透镜模组，管透镜模组包括至少两个调焦管透镜，每个所述调焦管透镜均对应设置有摄像装置；微驱控制设备，所述微驱控制设备与至少两个所述调焦管透镜连接，所述微驱控制设备通过控制所述调焦管透镜调整所述摄像装置的后焦距v，使不同的所述摄像装置分别对焦至待测产品的不同层。由于显微检测对焦系统设置了至少两个调焦管透镜，每个调焦管透镜上均设置有摄像装置，同时，通过微驱控制设备可以控制至少两个调焦管透镜调整对应的摄像装置的后焦距v，实现不同的摄像装置的后焦距v不同，使不同的摄像装置能够对焦至待测产品的不同层，因此，可以实现待测产品的多层同时对焦检测，节省时间。
一种显微检测对焦系统方法

[发明专利]一种平行度调节装置及光学检测设备-CN202310585314.1在审
发明人：韦晨;王进文;邓俊涛;张虎;欧昌东 -专利权人：武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G02B27/62 文献下载
摘要：本发明涉及一种平行度调节装置及光学检测设备，其包括：基体，基体设有半透半反镜和反射镜，反射镜位于半透半反镜的反射光路上；基体于半透半反镜透射的一侧设置有透射零点，并于半透半反镜反射的一侧设置有反射零点；当光机模组发出的入射光线照射至半透半反镜时，通过调节平行度调节装置的位置，使透射光线移动至透射零点，并根据反射光线经反射镜后与反射零点之间的偏移距离，调整光机模组的角度使光机模组与载物平台平行。本发明涉及的一种平行度调节装置及光学检测设备，通过简单的结构就可以调平，且不需用到特别昂贵的材料和加工方法，制作成本和难度较低。
一种平行调节装置光学检测设备

[发明专利]一种离轴自动对焦装置及对焦方法-CN202310322169.8在审
发明人：韦晨;王进文;邓俊涛;张虎;欧昌东 -专利权人：武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明涉及一种离轴自动对焦装置及对焦方法，其包括：载台，所述载台连接有Z轴调节装置；检测装置，所述检测装置设置于所述载台的一侧，所述检测装置上安装有测距装置，所述测距装置用于测量所述检测装置经过时间t后与所述载台上的被测物之间的预测距离；以及控制器，其与所述Z轴调节装置和所述测距装置连接，所述控制器用于根据所述预测距离以及预设的最佳工作距离，控制所述Z轴调节装置调节所述载台的高度，使得经过时间t后被测物与所述检测装置之间的距离等于最佳工作距离。测距装置可以安装于检测装置的外侧，不需要再对检测装置的内部进行改造，基本上可以兼容所有检测装置，且自动对焦更加准确。
一种自动对焦装置方法

[外观设计]晶圆外观检查机-CN202230848683.1有效
发明人： 王进文 -专利权人：武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：晶圆外观检查机。2.本外观设计产品的用途：用于晶圆检测。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
外观检查

[发明专利]一种晶圆自动对位装置及其对位方法-CN202310057061.0在审
发明人： 王进文;韦晨 -专利权人：武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司;苏州精濑光电有限公司
申请日： 2023-01-16 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆自动对位装置及其对位方法，包括：晶圆寻边器，该晶圆寻边器上设有用于吸附晶圆的吸附载台，所述晶圆寻边器带动吸附载台沿X轴、Y轴移动并旋转至设定角度；大视野相机，该大视野相机设有两组并分别位于晶圆寻边器顶部的两侧，以分别采集被测晶圆的弧边图像信息；控制器，控制器用于获取弧边图像信息以确定晶圆圆心位置与预设位置的偏差值，并将偏差值发送至晶圆寻边器。本申请由大视野相机来采集被测晶圆的弧边图像信息，由被测晶圆的弧边图像信息来确定被测晶圆的圆心位置与预设位置的偏差值。控制器将偏差值发送至晶圆寻边器，晶圆寻边器将被测晶圆的圆心位置与预设位置重合，完成晶圆的自动纠正对位，提高了自动检测效率。
一种自动对位装置及其方法

[实用新型]一种适用于多规格尺寸晶圆的吸附载台-CN202223581271.X有效
发明人： 王进文;张虎 -专利权人：武汉精测电子集团股份有限公司;武汉精立电子技术有限公司
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请涉及一种适用于多规格尺寸晶圆的吸附载台，包括：吸附平台，该吸附平台为中空腔室结构，吸附平台内设有至少两个同心设置且互不相通的负压腔室；驱动转台，该驱动转台位于吸附平台的底部，包括基座，以及位于基座上驱动吸附平台转动的马达；驱动转台上设有至少两个进气口，各所述进气口分别设有连通各负压腔室的气路接头。本申请的吸附平台用于吸附不同尺寸的晶圆，不同尺寸的晶圆对应设置有不同直径的负压腔室，各个不同直径的负压腔室将对应直径的晶圆吸附在吸附平台上。各个负压腔室互不连通，吸附气压独立可控，且互不连通的负压腔室可共同吸附直径较大的晶圆，可适用于不同尺寸晶圆的吸附，提高了吸附载台的吸附兼容性和通用性。
一种适用于规格尺寸吸附

[发明专利]一种葡萄干上料机构-CN201710386755.3有效
发明人：王伟;陈兴平;王进文;杜招银;朱忠辉;刘建;揭剑亮 -专利权人：惠州市三协精密有限公司
申请日： 2017-05-26 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B65G65/42 文献下载
摘要：本发明公开一种葡萄干上料机构，用于对葡萄干进行分离上料，包括：工作机架、葡萄干上料装置、葡萄干拨料装置与螺杆分料装置，葡萄干上料装置、葡萄干拨料装置与螺杆分料装置从上至下依次安装在工作机架上。本发明的葡萄干上料机构通过设置葡萄干上料装置、葡萄干拨料装置与螺杆分料装置，从而实现对葡萄干的分离上料操作。从而解决葡萄干在上料过程中粘接在一起的问题，使得葡萄干可以逐个进行分离上料，而且有效的提高了生产效率。
一种葡萄干机构

[发明专利]一种大尺寸晶圆外观缺陷检测设备-CN202310057402.4在审
发明人： 王进文;张虎;邓忠光;欧昌东 -专利权人：武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司;苏州精濑光电有限公司
申请日： 2023-01-16 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本申请涉及一种大尺寸晶圆外观缺陷检测设备，属于半导体晶圆检测设备技术领域，包括：晶圆移送单元，其包括至少两组并列设置的晶圆装载埠，取放晶圆装载埠内的晶圆的晶圆移送机器人，晶圆移送机器人上设有检测晶圆装载埠内晶圆位置的晶圆映射传感器，以及驱动晶圆移送机器人在至少两组晶圆装载埠之间往复运动的横移轴模组；晶圆检测单元，其位于晶圆移送单元的一侧，晶圆移送单元包括晶圆吸附载台，位于晶圆吸附载台的顶部用于检测并定位晶圆的光机模块，位于晶圆吸附载台的底部用于驱动晶圆沿X轴、Y轴移动并旋转至设定角度的驱动模组。本申请可实现晶圆的全程自动化移送和自动化外观缺陷检测，提高了晶圆检测效率和检测质量。
一种尺寸外观缺陷检测设备

[外观设计]晶圆缺陷检测设备-CN202230827153.9有效
发明人： 王进文 -专利权人：武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：晶圆缺陷检测设备。2.本外观设计产品的用途：用于晶圆外观缺陷检测。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
缺陷检测设备

[发明专利]一种晶圆外观缺陷检测设备-CN202310057092.6在审
发明人： 王进文;邓忠光;张虎;欧昌东 -专利权人：武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司;苏州精濑光电有限公司
申请日： 2023-01-16 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆外观缺陷检测设备，属于晶圆外观缺陷检测技术领域。包括：多工位上下料模块，其包括晶圆移送机器人，围设在晶圆移送机器人外周的晶圆装载埠支架，晶圆装载埠支架的顶部设有多个围设在晶圆移送机器人外周的晶圆装载埠，晶圆装载埠内均设有用于存放晶圆的晶圆盒；主机检测模块，其位于所述多工位上下料模块的一侧，主机检测模块包括晶圆吸附载台，位于晶圆吸附载台的顶部用于检测并定位晶圆的光机模块，位于晶圆吸附载台的底部用于驱动晶圆沿X轴、Y轴移动并旋转至设定角度的驱动模组。本申请可实现晶圆的全程自动化移送和自动化外观缺陷检测，提高了晶圆检测效率和检测质量。
一种外观缺陷检测设备

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