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[发明专利]一种超导转变边沿传感器、制备方法及微量能器-CN202111194967.4在审
发明人：黎发军;梁亚杰;王烨儒;王国乐;王思凡;丁骄;崔伟 -专利权人：清华大学
申请日： 2021-10-14 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： H01L39/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种超导转变边沿传感器、制备方法及微量能器，其中超导转变边沿传感器制备方法，包括：提供衬底；在所述衬底的上表面形成超导金属薄膜；在所述超导金属薄膜的上表面形成正常金属薄膜，所述超导金属薄膜与正常金属薄膜的厚度之比为1‑10；所述超导金属薄膜和正常金属薄膜在真空腔内形成。通过在衬底上形成超导金属薄膜和正常金属薄膜，并使超导金属薄膜与正常金属薄膜的厚度之比保持在1‑10的范围内。通过对超导金属薄膜与正常金属薄膜的厚度比进行控制，提高了TES的转变温度Tc均匀性和转变区间可控性。
一种超导转变边沿传感器制备方法微量

[发明专利]用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系及制备方法-CN201610906540.5有效
发明人：王晋峰;王烨儒;田杰;李新南 -专利权人：中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
申请日： 2016-10-18 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： G02B23/16 文献下载
摘要：用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系及制备方法，该金增强反射膜系结构如下，自主镜表面开始，依次为：打底层、金层、过渡层、介质增强膜系层；其中打底层采用铬、镍铬合金，厚度10nm‑25nm；金膜层厚度95nm‑105nm；过渡层采用二氧化铪，厚度15nm‑150nm；介质增强膜系层采用二氧化硅、五氧化二钽或二氧化硅、二氧化铪或二氧化硅、五氧化三钛或三种搭配的任意组合。本发明在近紫外、可见光与红外波段均具有高反射效率同时兼具优良的环境稳定性与较长使用寿命，光谱反射效率在可见光波段高出约8%；膜层更加耐用；使用反射波段拓展至近紫外与可见光波段；本发明膜层带来的应力要远远小于全介质反射镜。
用于大型天文望远镜增强反射制备方法

[发明专利]用于碳化硅光学镜面改性与面形提升的磁控溅射扫描方法-CN201810144019.1有效
发明人：王晋峰;黄猛;田杰;王烨儒 -专利权人：中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
申请日： 2018-02-12 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：碳化硅光学镜面改性层制备与面形改进提升的磁控溅射扫描方法：⑴.待改性的碳化硅平面镜，首先采用传统抛光方法或CCOS数控加工方法，利用金刚石微粉对非球面碳化硅反射镜进行研磨和粗抛光；⑵.当碳化硅反射镜面形精度符合改性要求后，利用长条形磁控溅射源在碳化硅镜面表面沉积一层致密的Si改性层；⑶.再利用圆形溅射源对反射镜面形加以修正和改进；⑷.最后对改性层进行精抛光，达到反射镜面形与粗糙度加工要求。本发明解决了碳化硅镜面加工中对改性层厚度把控不适宜而出现的返工问题。本发明方法制作的碳化硅光学镜面，粗糙度可达0.2～0.5ｎｍ，用时可缩短至1.5‑3个月。本发明工艺简单，加工效率和质量明显提高。
碳化硅改性层光学镜面改性面形碳化硅反射镜反射镜面形磁控溅射扫描致密磁控溅射源粗糙度加工金刚石微粉加工效率镜面表面镜面加工数控加工研磨长条形粗糙度粗抛光非球面溅射源精抛光平面镜再利用抛光返工用时沉积制备改进修正制作

[发明专利]包含紫外波段与近红外波段的超宽带增透膜的制作方法-CN201810397698.3在审
发明人：李新南;王烨儒;王晋峰;田杰;黄猛 -专利权人：中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： C03C17/34 文献下载
摘要：包含紫外波段与近红外波段的超宽带增透膜的制备方法：以正硅酸乙酯为前驱体、无水乙醇为溶剂、浓氨水为催化剂、去离子水为水解反应物，制备碱催化溶胶，提拉成膜后形成多孔氧化硅作为两层膜的上层；以正硅酸乙酯为前驱体、无水乙醇为溶剂、浓盐酸为催化剂，去离子水为水解反应物，制备酸催化溶胶，将所述碱催化溶胶与酸催化溶胶按一定比例混合，提拉成膜，形成折射率较大的底层薄膜；最后经过高温烘烤，在熔融石英基底表面形成两层氧化硅超宽带增透膜。本发明的增透膜透过带宽大，从300nm到1100nm波段透过率高，紫外透过效果好、膜系结构简单、容易操作、减少了厚度和膜层数，拓宽了带宽区域、膜层具有良好的疏水性和自清洁性。
增透膜超宽带制备近红外波段水解反应物正硅酸乙酯去离子水提拉成膜无水乙醇紫外波段碱催化前驱体酸催化溶剂两层催化剂多孔氧化硅带宽区域底层薄膜高温烘烤基底表面膜系结构熔融石英自清洁性膜层数浓氨水浓盐酸疏水性透过率氧化硅折射率波段膜层上层制作

[发明专利]聚醚醚酮光学反射镜的加工方法-CN201711020730.8在审
发明人：王晋峰;黄猛;王烨儒 -专利权人：中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2018-03-20 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：聚醚醚酮光学反射镜的加工方法，包括聚醚醚酮反射镜基底抛光、改性层制备、改性层抛光、真空蒸镀反射膜，聚醚醚酮反射镜基底抛光包括前期准备；配制研磨液；镜坯表面抛光处理；擦拭残留研磨液；改性层制备包括放入真空蒸镀设备；抽真空；轰击清洗；蒸镀改性层材料；改性层抛光工艺过程包括配制抛光溶液；镜坯改性层表面抛光；结合干涉仪检测表面面形；真空蒸镀反射膜包括镜坯放入真空蒸镀设备；抽真空；轰击清洗；蒸镀反射层材料，在真空室自然冷却至室温。本发明可使聚醚醚酮反射镜达到传统光学玻璃反射镜的面形精度、并达到传统光学玻璃反射镜的光谱反射效率；所得聚醚醚酮反射镜轻便、耐磕碰、结构易加工、耐腐蚀。
聚醚醚酮光学反射加工方法

[发明专利]天文望远镜的超宽带高反射率反射镜膜系及其制备方法-CN201711042847.6在审
发明人：王晋峰;黄猛;田杰;王烨儒 -专利权人：中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2018-01-26 - 主分类号： G02B5/08 文献下载
摘要：天文望远镜的超宽带高反射率反射镜膜系及其制备方法，膜系结构如下，自反射镜表面开始依次为打底层、银层、钝化层、介质膜堆层。所述打底层采用铬、镍铬合金或三氧化二铝，厚度为10nm‑25nm；所述银膜层厚度约为100nm；所述钝化层采用NiCrNx，厚度1nm；所述介质膜堆层采用氧化铪与氟化镁两种高、低折射率的光学薄膜材料交替组成。本发明是目前所有空间天文反射镜制备方法中波段最宽、反射效率最高的反射镜，相比于传统铝反射镜，光谱反射效率在紫外与可见光波段高出约8%；本发明所涉及超宽带高效反射镜相比于传统银反射镜，使用寿命更长，环境稳定性更加出色。
天文望远镜宽带反射率反射镜膜系及其制备方法

[发明专利]碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法-CN201510346877.0有效
发明人：王晋峰;王烨儒 -专利权人：中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
申请日： 2015-06-23 - 公布日： 2017-10-31 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法，其特征在于，步骤如下⑴. 真空蒸镀材料膜厚分布的确定；⑵. 蒸镀非球面膜厚分布的推导；⑶. 掩膜板形状的确定；⑷. 在设置好步骤⑶确定的掩膜板以后，利用真空蒸发镀膜技术蒸镀改性材料到碳化硅起始球面之上，以实现碳化硅非球面的初步成型；⑸. 对致密改性层进行光学精密抛光，最终得到改性后的碳化硅非球面反射镜。本发明可用于大口径非球面的加工，蒸镀材料可以根据光学元件的性质进行选择。由于在碳化硅非球面成型与改性后还要进行光学精密抛光，因此可以获得高精度低粗糙度的碳化硅非球面元件。
碳化硅球面反射加工改性一体化制备方法

[发明专利]极低温环境大口径反射式望远镜防霜膜系及其制备方法-CN201510340393.5有效
发明人：王晋峰;王烨儒;田杰;李新南 -专利权人：中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
申请日： 2015-06-18 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： G02B1/18 文献下载
摘要：用于极低温的大口径反射光学望远镜防霜膜系及其制备方法，防霜膜系的结构如下，自主镜表面开始依次为透明导电膜层、中间绝缘层、反射膜层及最外介质保护层；在所述透明导电膜层的两边，设有导电电极。步骤如下⑴准备工作；⑵.导电膜镀制步骤；⑶.中间绝缘层镀制步骤；⑷.反射膜镀制步骤；⑸.最外介质保护层的镀制步骤；⑹.导电电极镀制步骤。本发明可用于极端低温环境下，结合镜面温升控制避免镜面结霜。本发明对防霜反射膜系的结构进行了合理设计，在具有防霜功能的同时保证了膜系的光谱反射性能。在膜层反射材料同样使用铝时，在400nm‑2000nm波段范围，本防霜反射膜系光谱反射率平均值优于89%。
低温环境口径反射望远镜防霜膜系及其制备方法

[实用新型]具有防霜除霜功能的宽带增透膜镜片-CN201420797063.X有效
发明人：王晋峰;李新南;田杰;王烨儒 -专利权人：中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
申请日： 2014-12-16 - 公布日： 2016-04-20 - 主分类号： G02B1/10 文献下载
摘要：具有防霜除霜功能的宽带增透膜镜片，在镜片的基片上设置有光学介质膜系，特征是所述光学介质膜系中含有透明导电膜层，该透明导电膜层上表面的边缘处设置有两个铜电极。所述的透明导电膜层采用氧化铟锡层。所述光学介质膜系由四层膜组成，依次包括：氧化钛膜、氧化硅膜、氧化铟锡膜和氧化硅膜，其中，最下层为氧化钛膜层，且与基片的表面相接触。本实用新型只需对电极通电，使得宽带增透膜表面温度升高，从而去除表面的雾与霜；在不损失工作波段透过率的同时，达到了低温环境下光学仪器的防霜除霜功能，具有较大的推广价值。
具有除霜功能宽带增透膜镜片

[实用新型]一种三坐标数控机床-CN201520147539.X有效
发明人：董志川;王晋峰;王烨儒 -专利权人：中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
申请日： 2015-03-16 - 公布日： 2015-07-15 - 主分类号： B24B41/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种三坐标数控机床，包括床身、磨头、机床伺服进给控制台、二次曲线运动轨迹生成器，床身包括横梁、立柱和转台，横梁设置于立柱上方，转台由立柱支撑，磨头设置于转台上方的横梁上，磨头下方设置有铣磨主轴，床身、机床伺服进给控制台和二次曲线运动轨迹生成器之间通过缆线连接。本实用新型的床身结构为龙门式，可以获得较大的加工空间，抵抗弹性变形的能力强，可以提高机床的整体刚性、稳定性及热对称性；平尺有利于机床的安装调试，而且能够测定Y轴在z方向的直线度，数控加工时可作为系统误差进行相应补偿；本实用新型可四轴联动，加工范围广泛。
一种坐标数控机床

[实用新型]防雾自清洁光学反射镜-CN201420797327.1有效
发明人：王晋峰;李新南;田杰;王烨儒 -专利权人：中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
申请日： 2014-12-16 - 公布日： 2015-05-13 - 主分类号： G02B5/08 文献下载
摘要：防雾自清洁光学反射镜，包括基片和覆盖在基片表面上的膜层，其特征在于，所述的膜层由四层膜叠加而成，依次为，二氧化硅层、铝膜层、二氧化硅膜层和防雾自清洁涂层所述自清洁涂层为防水药层。所述防水药层采用以N-全氟辛磺酰氨基丙基三乙氧基硅烷为主要原料的聚合物。本实用新型采用的保护膜层很薄，重新镀膜时旧膜易于去除；采用离子辅助成膜工艺可以实现低温镀膜，可用于树脂镜片；材料成膜结构稳定，是最常用的镀膜膜料；选用防水药（氟硅化合物）作为自清洁涂层，不影响光谱性能；只需四层膜就可实现兼具防雾自清洁的高反射效果，具有优良的环境适应性。
清洁光学反射

[发明专利]光学超宽带增透膜的复合制作方法-CN201510010517.3有效
发明人：王晋峰;王烨儒;田杰 -专利权人：中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
申请日： 2015-01-08 - 公布日： 2015-04-22 - 主分类号： G02B1/115 文献下载
摘要：超宽带增透膜复合工艺方法，包括真空蒸镀成膜与溶胶凝胶成膜；真空蒸镀成膜工艺：准备工作，清洁真空室内所有相关器具并放入光学镜片和加入膜料；抽真空；预热膜料；将膜料气化沉积到所述光学镜片表面；烘烤60分钟；进行氟化镁层蒸镀；在同样烘烤温度下进行氧化铝层的蒸镀，蒸镀的膜层厚度为4纳米；步骤⑴-⑹为真空蒸镀成膜工艺；步骤⑺-⑽为溶胶凝胶成膜工艺。本发明减少了宽带增透膜的膜层数，拓宽了现有宽带增透膜的带宽区域。通过镀膜后处理工艺，膜层具有良好的疏水性和自清洁性能，有很好的环境适应性。采用本发明的复合成膜方法，在300nm-1000nm波段范围平均透过率可达98.5%。
光学宽带增透膜复合制作方法

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