“王文岩”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果57个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]工件处理方法、工件处理设备及半导体器件-CN202211669619.2有效
发明人：辛孟阳;姜伟鹏;刘韬;王文岩;余飞 -专利权人：北京屹唐半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-12-25 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本公开提供了一种工件处理方法、工件处理设备及半导体器件，涉及半导体制造技术领域。工件处理方法包括：将目标工件置于腔室中的支撑件上，目标工件上形成有氧化硅层；使用包含有氮气的工艺气体生成一种或多种等离子体，以得到第一混合物；第一混合物包含带电粒子和自由基；在氮化反应的过程中，利用腔室中的导电栅格结构对第一混合物进行过滤，以去除第一混合物中至少部分带电粒子，得到第二混合物；导电栅格结构位于目标工件远离支撑件的一侧；将目标工件暴露于第二混合物中，以在氧化硅层的至少部分区域上形成氮化硅层，以提升目标工件的稳定性，使得包括该目标工件的半导体器件能够满足高稳定性的应用需求。
工件处理方法设备半导体器件

[发明专利]用于半导体工件的热处理装置和温度调控方法-CN202310763577.7在审
发明人： 王文岩;李冬建;冀建民;赵亮 -专利权人：北京屹唐半导体科技股份有限公司
申请日： 2023-06-26 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开提供了一种用于半导体工件的热处理装置和温度调控方法。所述热处理装置包括一个或多个加热元件；包含三个或更多个第一窗口的第一盖板；包含两个或更多个第二窗口的第二盖板，所述第二窗口对2.7微米波长的辐射是透过性的；位于所述第一盖板和第二盖板之间的工件支撑元件；温度测量组件，包括一个红外发射器、连续的至少两个红外反射传感器和至少两个红外透射传感器；所述三个或更多个第一窗口中的中间位置的第一窗口面向第二盖板的表面具有反射透射涂层。本发明的热处理装置可精确测量半导体工件表面的温度，并能对半导体工件表面的不同位点进行独立的温度控制，提高控温精度，使得温度控制偏差在±1℃以内。
用于半导体工件热处理装置温度调控方法

[发明专利]用于半导体工件的热处理装置和精确测温方法-CN202310762006.1在审
发明人： 王文岩;冀建民;李文艺 -专利权人：北京屹唐半导体科技股份有限公司
申请日： 2023-06-26 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开提供了一种用于半导体工件的热处理装置和精确测温方法。所述热处理装置包括一个或多个加热元件；上盖板和下盖板；反应腔室，由上盖板、下盖板和反应腔室主体限定；工件支撑元件；位于上盖板一端的红外发射器；位于上盖板另一端的红外反射传感器，和位于下盖板另一端的红外透射传感器；红外发射器和红外反射传感器位于上盖板面向反应腔室的一侧，红外透射传感器位于下盖板面向反应腔室的一侧；且红外发射器位于反应腔室主体一端的侧壁上，红外反射传感器和红外透射传感器位于反应腔室主体另一端的侧壁上。本发明的热处理装置可精确测量半导体工件表面的温度，并能对半导体工件表面的不同位点进行独立的温度控制，提高控温精度。
用于半导体工件热处理装置精确测温方法

[发明专利]热处理系统及温度测量方法-CN202211669616.9在审
发明人： 王文岩;余飞;冀建民 -专利权人：北京屹唐半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-12-25 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种热处理系统和温度测量方法。该热处理系统包括用于测量工件在热处理的过程中的温度的测量系统，该测量系统包括向工件的第一表面发射具有第一波长的脉冲光线的发射器，以及第一探测器，该第一探测器可根据接收的第一表面反射的脉冲光线来测量工件的反射率，并且可根据第一表面辐射的具有第一波长的连续光线来分别测量工件的辐射强度。此外，该系统还包括处理单元，处理单元可根据反射率和第一表面的辐射强度确定第一表面的温度。根据本公开的热处理系统所包括的测量系统能够提高处于热处理工艺中的工件的表面温度的测量精度。
热处理系统温度测量方法

[发明专利]工件处理方法、工件处理设备及半导体器件-CN202211669618.8在审
发明人：余飞;辛孟阳;姜伟鹏;王文岩;刘韬 -专利权人：北京屹唐半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-12-25 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本公开提供了一种工件处理方法、工件处理设备及半导体器件，涉及半导体制造技术领域。工件处理方法包括：将目标工件置于腔室中的支撑件上，目标工件上形成有氧化硅层；使用包含有氮气的工艺气体生成一种或多种等离子体，以得到混合物；混合物中至少包含带电粒子；在氮化反应的过程中，利用设置于腔室的法拉第屏蔽层，以使带电粒子具有处于预设范围内的第一能量；将目标工件暴露于所包含的带电粒子具有第一能量的混合物中，以在氧化硅层的至少部分区域内形成氮氧化硅层。本公开实施例提供的工件处理方法、工件处理设备及半导体器件能够满足先进制程的要求。
工件处理方法设备半导体器件

[发明专利]一种光模块识别方法及装置-CN202210959195.7在审
发明人： 王文岩 -专利权人：新华三技术有限公司
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H04B10/80 文献下载
摘要：本申请涉及光模块技术领域，特别涉及一种光模块识别方法及装置。该方法应用于管理设备，所述方法包括：获取其纳管的各网络设备上接入有光模块的各接口的接口信息，并获取各接口接入的光模块的光模块信息；判断是否存在光模块信息相同的多个目标光模块；若存在，则基于所述多个目标光模块的光模块信息和所述多个目标光模块接入的接口的接口信息，判断所述多个目标光模块中是否存在伪光模块。
一种模块识别方法装置

[发明专利]铁掺杂氧化铝材料制备方法以及在光催化选择性氧化硫化氢上的应用-CN202010932819.7有效
发明人：王心晨;阳灿;王文岩;王佳丽 -专利权人：福州大学
申请日： 2020-09-08 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B01J23/745 文献下载
摘要：本发明公开了一种铁掺杂氧化铝材料及其制备方法以及在光催化选择性氧化硫化氢上的应用，属于材料制备及催化脱硫的技术领域。将铝源和铁源进行两步热处理，即得到所述的铁掺杂氧化铝材料催化剂。利用廉价前驱体合成铁掺杂氧化铝材料催化剂，能有效地将硫化氢气体氧化成硫单质，并且具有较高的转换效率和选择性，同时反应在室温可见光下进行，相比传统热催化可以大大降低能耗。本发明工艺简单，成本低，可大规模生产，符合实际生产需要，有较大的应用潜力。
掺杂氧化铝材料制备方法以及光催化选择性氧化硫化氢应用

[发明专利]控制氮掺杂深度分布的方法和半导体器件-CN202210780263.3有效
发明人： 王文岩;余飞;辛孟阳;姜伟鹏;刘韬 -专利权人：北京屹唐半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-07-05 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： H01L21/3115 文献下载
摘要：本发明涉及一种控制氮掺杂深度分布的方法和半导体器件。所述控制氮掺杂深度分布的方法包括氧化步骤、氮化掺杂步骤和退火步骤；其中，所述氮化掺杂步骤包括源功率不同的第一等离子体氮化掺杂步骤和第二等离子体氮化掺杂步骤。根据本发明的控制氮掺杂深度分布的方法能够获得更宽的氮掺杂深度分布。
控制掺杂深度分布方法半导体器件

[发明专利]多系统管理方法及装置-CN201911369521.3有效
发明人：王斌;孙利辉;王文岩 -专利权人：新华三大数据技术有限公司
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： G06F8/70 文献下载
摘要：本申请提供一种多系统管理方法及装置。本申请中，通过统一部署门户系统实现不同技术域管理系统的统一安装和部署，通过统一访问门户系统实现多技术域管理系统的统一访问。这实现了不同技术域管理系统的统一管理，因此，可降低技术域管理系统的管理复杂度，提高技术域管理系统的管理效率。
系统管理方法装置

[发明专利]等离子体氮化掺杂方法和装置及半导体器件-CN202210535375.2在审
发明人：姜伟鹏;刘韬;王文岩;辛孟阳;余飞 -专利权人：北京屹唐半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-05-18 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H01L21/3115 文献下载
摘要：本发明涉及一种等离子体氮化掺杂方法、等离子体氮化掺杂装置和半导体器件。所述等离子体氮化掺杂方法包括向处理腔室提供等离子体前体气体；向所述处理腔室施加频率在1‑100MHz内的混合异频源射频，以产生等离子体；对待处理工件表面的膜层进行氮化掺杂。根据本发明的等离子体掺杂方法通过采用混合异频源射频能够对氮化掺杂浓度和氮化掺杂深度进行灵活控制。
等离子体氮化掺杂方法装置半导体器件

[实用新型]一种皮秒时空分辨拉曼显微成像测量装置-CN202121565987.3有效
发明人：迟晓春;王文岩;王英惠;赵冰;张汉壮 -专利权人：吉林大学
申请日： 2021-07-11 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种皮秒时空分辨拉曼显微成像测量装置，属于拉曼显微成象技术领域。脉冲激光产生及调节部分、探测部分和接收部分置于同一光学平台上，探测部分位于脉冲激光产生及调节部分的左方，接收部分位于探测部分的左方，脉冲激光产生及调节部分的二向色镜一和探测部分的振镜二光路连接，探测部分的二向色镜二和接收部分的全反镜三光路连接。优点是结构新颖，利用振镜系统改变拉曼激励光的空间位置，能探测研究对象空间不同位置的拉曼信号，用于判断光诱导的物理过程随着时间延迟在空间上的扩散特性，具有几个皮秒的时间分辨率，有助于人们深入理解微尺度下材料的超快物理特性。
种皮时空分辨显微成像测量装置

[发明专利]一种网络管理系统、方法、装置及电子设备-CN202110532166.8有效
发明人：王斌;王文岩;孙利辉 -专利权人：新华三技术有限公司
申请日： 2021-05-17 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： H04L12/24 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种网络管理系统、方法、装置及电子设备。其中，所述网络管理系统包括支撑单元、数据管理单元、业务服务单元以及展示单元；业务服务单元包括多组微服务子单元；每个微服务子单元用于提供一种微服务，并且每组微服务子单元所提供的微服务共同用于实现一种管理功能；支撑单元，通过相同的安装部署逻辑对所有微服务子单元进行安装部署；并且，支撑单元通过相同的运行管理逻辑对所有微服务子单元进行运行管理；数据管理单元通过相同的数据存储逻辑存储所有微服务子单元的数据；并且，数据管理单元通过将各类型的数据的访问逻辑封装为同一访问逻辑；展示单元通过展示主界面。可以实现简化网络管理的操作。
一种网络管理系统方法装置电子设备

[发明专利]一种共轴飞秒时间相关相干反斯托克斯拉曼散射测试系统-CN201910322121.0有效
发明人：王英惠;王文岩 -专利权人：吉林大学
申请日： 2019-04-21 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明涉及一种共轴飞秒时间相关相干反斯托克斯拉曼散射测试系统，属于超快飞秒激光领域。主要包括飞秒脉冲激光发生器、光学参量振荡器、反射镜、分束镜、二向色镜、圆环光产生装置、样品池、光电倍增管信号接收装置和计算机。本发明优点是结构新颖，将原本用来调节激光脉冲间角度的反射镜由6个减少到2个，通过对圆环状飞秒激光脉冲的圆环直径的改变，来调整飞秒激光脉冲间的角度，将原本需要6个飞秒激光脉冲调节自由度的时间相关相干反斯托克斯拉曼散射技术，优化为只调整2个反射镜和圆环状飞秒激光脉冲的圆环直径3个调节自由度，大大提高了系统的稳定性、可调节易用性和可重复性。
一种共轴飞秒时间相关相干斯托克斯拉曼散射测试系统

[发明专利]一种网络设备的管理软件的激活方法及装置-CN202011370474.7在审
发明人： 王文岩 -专利权人：新华三技术有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： G06F21/10 文献下载
摘要：本说明书提供一种网络设备的管理软件的激活方法及装置，方法包括：当确定管理软件登录认证通过之后，判断所述管理软件是否被激活；若未被激活，则跳转至第一预设页面，所述第一预设页面中用于接收网络设备的管理参数；管理软件通过管理参数与所述网络设备建立通信，以获取所述网络设备的硬件参数；管理软件确定所述硬件参数是否存在于预先设置的可激活设备的名单中；若存在，则将所述网络设备加入至所述管理软件的管理名单。本公开提供的管理软件的激活方法中，对现有技术中在线申请license然后再注册激活的方案进行了简化，无需license的在线审批流程，大大提升了管理人员对网络设备的部署效率，同时满足了产品的差异化需求。
一种网络设备管理软件激活方法装置

[发明专利]一种业务消息处理方法及装置-CN201710003279.2有效
发明人： 王文岩;张传金 -专利权人：新华三技术有限公司
申请日： 2017-01-04 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： G06F9/54 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种业务消息处理方法及装置，应用于微服务模块。微服务模块所在的系统还包括消息调度模块和消息总线。方法包括：监听消息总线上发布的业务消息；在业务消息的消息类型为微服务模块在消息总线上订阅的消息类型时，根据消息类型对业务消息进行处理；将处理后得到的业务消息发布给消息总线，以使订阅处理后得到的业务消息的消息类型的其他微服务模块监听到处理后得到的业务消息时，处理上述处理后得到的业务消息，或者消息调度模块确定处理后得到的业务消息为结果类消息时推送给客户端。本发明实施例可提高微服务应用的容错性和扩展性。
一种业务消息处理方法装置

1
2
3
4
下一页»
尾页
共 57 条