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[发明专利]滨海沙滩便捷取样器-CN201810350316.1有效
发明人：王常红;黄发明;王广禄;李华国;程小兵 -专利权人：交通运输部天津水运工程科学研究所
申请日： 2018-04-18 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： E21B49/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种滨海沙滩便捷取样器，包括卡扣、旋杆、杠杆、反力支架和螺旋钻头；所述杠杆设有从动端、主动端和支点，所述卡扣固定在所述旋杆的设计位置上，所述旋杆的下端从上至下依次穿过所述杠杆的从动端和所述反力支架的中央，在所述旋杆的下端固定有所述螺旋钻头，在所述反力支架的上方设有与其固接的所述杠杆的支点，在所述杠杆的从动端上翘时，推顶所述卡扣提起所述螺旋钻头。本发明应用杠杆原理将相关部件有机组合，结构简单，轻质，携带方便，用于在滨海沙滩地区取沙质土样，操作简便，效率高，稳定性好，能够节省成本，能够规范采集形式，具备科学严谨性。
滨海沙滩便捷取样

[实用新型]一种晶面宏观检查大旋转机构-CN202220883368.7有效
发明人：王豪;田金泉;王广禄;李涛 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶面宏观检查大旋转机构，其特征在于：包括机座、旋转模组和转动模组，所述旋转模组固定在机座内腔，所述旋转模组包括第一电机、转盘和机架，所述机架固定在转盘上端，所述转动模组包括第二电机、皮带轮模组、转动轴和晶圆吸附机构，所述晶圆吸附机构通过转动轴固定在机架顶端，转动轴通过皮带轮模组与第二电机连接，所述第二电机固定在机架一侧。本实用新型用于宏观检查晶圆晶面时的旋转装置。
一种宏观检查旋转机构

[实用新型]一种晶圆夹持预对准机构-CN202220926206.7有效
发明人：郑亚阳;田金泉;王广禄;李涛 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2022-04-21 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆夹持预对准机构，包括机座、旋转模组和预对准模组，旋转模组包括固定架、连接板和晶圆吸附机构，预对准模组包括对称分布的卡座安装架和卡座，机座上固定安装有固定底座，固定底座上设有两组的定位滑块和导轨气缸，定位滑块用于与卡座安装架下端的延伸部分通过螺栓进行固定，连接板一端固定在晶圆吸附机构下端面，另一端固定在固定架侧边，晶圆吸附机构下端为电机，上端安装有旋转盘，卡座安装架上端通过螺栓固定有卡座，卡座内侧设有供晶圆存放的圆弧台阶槽，圆弧台阶槽两端和中段均开设用于放置保护块的安装槽。通过旋转模组和预对准模组配合对晶圆进行对准动作，实现了晶圆的自动定心对准，有利于提高工作效率。
一种夹持对准机构

[实用新型]一种晶圆输送检查平台-CN202220882700.8有效
发明人：郑亚阳;田金泉;王广禄;李涛 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆输送检查平台，其特征在于：包括机座、检查工作台、旋转模组和升降模组，所述机座上固定有固定模组，本实用新型通过旋转模组和升降模组与搬运机械手对晶圆进行交握动作，并在检查工作台进行寻找中心点和晶圆晶面检查等工作，提供了较大的便利，方便自动化动作，减少人工对晶圆造成的损坏。
一种输送检查平台

[实用新型]一种针对晶圆产品的机械手夹持机构-CN202220883369.1有效
发明人：田金泉;王广禄;李涛;陈曦 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种针对晶圆产品的机械手夹持机构，机械手夹持机构包括机械臂和设置在机械臂前端的夹持模组，夹持模组包括晶圆夹持座、位于前端的两组夹持块和尾端的夹持滑块，夹持座为“Y”字形，机械臂前端固定有夹持气缸，夹持气缸前端设有用于固定夹持滑块的安装模块，夹持座上安装有用于检查晶圆在席感应的传感器，夹持座尾端与机械臂的前端固定连接。本实用新型通过夹持气缸等组成的机构实现自动动作，对晶圆产品从卡匣里自动夹持及取放功能，当把晶圆产品从卡匣里取出来的时候只接触产品边缘3‑5mm，不会接触到产品其他部位，针对于晶圆产品，同时还装有在席感应功能装置，检查产品有无，防止损坏产品，起到报警动作停止功能。
一种针对产品机械手夹持机构

[发明专利]一种晶圆夹持预对准机构-CN202210419897.6在审
发明人：郑亚阳;田金泉;王广禄;李涛 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2022-04-21 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆夹持预对准机构，包括机座、旋转模组和预对准模组，旋转模组包括固定架、连接板和晶圆吸附机构，预对准模组包括对称分布的卡座安装架和卡座，机座上固定安装有固定底座，固定底座上设有两组的定位滑块和导轨气缸，定位滑块用于与卡座安装架下端的延伸部分通过螺栓进行固定，连接板一端固定在晶圆吸附机构下端面，另一端固定在固定架侧边，晶圆吸附机构下端为电机，上端安装有旋转盘，卡座安装架上端通过螺栓固定有卡座，卡座内侧设有供晶圆存放的圆弧台阶槽，圆弧台阶槽两端和中段均开设用于放置保护块的安装槽。通过旋转模组和预对准模组配合对晶圆进行对准动作，实现了晶圆的自动定心对准，有利于提高工作效率。
一种夹持对准机构

[实用新型]一种手动加压的絮凝剂添加装置-CN202123046559.2有效
发明人：于雷;王广禄;张二林;安彦勇;吴昊旭;李治朋;宋维敏;刘文龙;赵靓;顾龙声 -专利权人：天津水运工程勘察设计院有限公司
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： B01F27/2123 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种手动加压的絮凝剂添加装置，包括从下至上依次连接的搅拌轴、连接杆、传动轴和电机，在连接杆外面套有加注筒，加注筒的上端与传动轴的下端转动连接，加注筒的下端与搅拌轴的上端转动连接，在加注筒上设有加注孔，在加注孔上设有密封螺盖，加注筒内设有与其滑动连接的活塞式加压板，加压板套装在连接杆上，二者滑动连接，在加压板上固接有加压推杆，加压推杆穿出加注筒的顶部，在搅拌轴内设有与加注筒连接的料仓，在搅拌轴上设有至少两层螺旋刀片和多个从上至下均匀布置的出料孔，出料孔与料仓连接，螺旋刀片的边缘设有刃角。本实用新型能够快速、均匀地完成絮凝剂的添加。
一种手动加压絮凝添加装置

[发明专利]波浪作用下圆柱阵列中j柱对k柱激振力影响的计算方法-CN202010184471.8有效
发明人：王广原;张二林;李治朋;于雷;刘文龙;孔庆宇;王广禄;顾龙声;董海军 -专利权人：天津水运工程勘察设计院有限公司
申请日： 2020-03-16 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： G06F30/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种波浪作用下圆柱阵列中j柱对k柱激振力影响的计算方法，采用以下公式：式中：Fx(j→k)表示第j柱的存在对第k柱产生的x方向激振力；由等式定义；表示未知系数，可由下式求得：
波浪作用圆柱阵列柱激振力影响计算方法

[实用新型]一种绷膜环晶圆磁铁吸附平台-CN202021688478.5有效
发明人：田金泉;李涛;王广禄;陈曦;柯华榕 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2020-08-14 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种绷膜环晶圆磁铁吸附平台，包括第一导轨、第二导轨、工作台、底板、分隔板、支撑柱、第一安装板、电磁铁柱、限位凸起、推动气缸、第一斜块、第一滑轮、第二滑轮、第二斜块、第一拖链、第二拖链、铁环、支撑杆、滑轨、第二安装板、限位柱和连接板，所述第二导轨的一侧安装有第一拖链，所述第二导轨上安装有第一气缸，所述第一导轨上安装有滑块，且滑块的顶端与第二安装板的底端中心处固定连接，该实用新型，利用安装的电磁铁柱是电磁铁柱与铁环固定连接，进而对放置在铁环上的晶圆进行固定，改变了传统中采用真空进行吸附固定的方式，降低了电量的损耗，同时降低了晶圆的损坏率。
一种绷膜环晶圆磁铁吸附平台

[实用新型]一种晶圆FOUP自动装载机Load port自动定位送料装置-CN202021688592.8有效
发明人：吴昌浩;李涛;王广禄;陈曦;柯华榕 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2020-08-14 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆FOUP自动装载机Load port自动定位送料装置，包括箱体、螺母座、圆头螺栓、工作台、装载板、在席传感器、定位柱、装载气缸、活塞杆、卡勾、支座、活动孔、送料气缸、电磁阀、开关按钮、V形安装板和安装孔；该实用新型，在装载板上增设在席传感器和定位柱，使晶圆盒能正确的放置在装载板上，从而对晶圆盒的装载进行了定位，方便人员确认晶圆盒是否在席或放置妥当，提高了开盖模组和送料模组之间配合的准确性，保障了晶圆检查机的正常运转，提升了晶圆的检查效率，在装载板上增设装载气缸和卡勾，从而对晶圆盒起到了固定的作用，避免了送料过程中晶圆盒的倾覆问题，提高了送料的安全性，避免了不必要的晶圆损失。
一种 foup 自动装载 load port 定位装置

[实用新型]一种晶圆FOUP自动装载机使用的开盖装置-CN202021688642.2有效
发明人：吴昌浩;李涛;王广禄;陈曦;柯华榕 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2020-08-14 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆FOUP自动装载机使用的开盖装置，包括第一气缸、第一固定块、开盖面板、真空吸嘴、传感器、开盖把手、第一安装板、第一连接块、螺杆、第一固定板、支撑板、第二安装板、滑轨、滑块、肋板、第二固定板、第二固定块、转轴、第二连接块、连接杆、第三固定板、第二气缸和安装阀，所述第二固定板一侧靠近两边角的位置分别与肋板一侧固定连接，该实用新型利用厂务负压通过真空吸嘴牢牢地将盖体吸附在第一安装板一侧，有利于防止开盖过程中盖体的掉落，有利于保护盖体和晶圆，提高了装置的安全性。通过第一气缸和第二气缸作为动力源完成开盖及关盖的动作，气动装置维护维修成本低，有利于降低成本，并且气动装置结构简单，稳定性好。
一种 foup 自动装载使用装置

[实用新型]一种晶圆FOUP自动装载机-CN202021689196.7有效
发明人：吴昌浩;李涛;王广禄;陈曦;柯华榕 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2020-08-14 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆FOUP自动装载机，包括基础架、横托、前开式晶圆传送盒和开盖组件，前开式晶圆传送盒安装在横托的上表面，基础架的侧壁上安装有开盖组件，开盖组件包括CST固定气缸、CST送料气缸、开盖模组、负压吸真空嘴、传送盒位置传感器、传送盒开盖结构、前后推向结构和电机；本晶圆FOUP自动装载机，包括基础架、横托、前开式晶圆传送盒和开盖组件，横托的一端与基础架固定，牵引杆的底端连接横托，增加横托的强度，拖链可以带动开盖组件，基础架的侧壁上安装有开盖组件，开盖组件检测前开式晶圆传送盒的位置后在规律且高效的对传送盒进行开盖操作，整个晶圆FOUP自动装载机不仅强度大，还提高了传送盒开盖的效率。
一种 foup 自动装载

[实用新型]一种晶圆自动预对准装置-CN202021907916.2有效
发明人：田金泉;李涛;王广禄;陈曦;柯华榕 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2020-09-04 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆自动预对准装置，包括电机升降杆、第一滑轨、固定架、顶柱、承片台、第一电机、真空泵、第二滑轨、第二电机、第一固定块、第一传感器、第二传感器、螺母块、第一固定板、第二固定块、垫板、第一滑块、第三固定块、丝杆、第二固定板、第一支撑板、第二滑块、挡块、联轴器、盖板、第二支撑板、底板、外壳、第二凹槽和第五固定块，该实用新型利用真空泵通过管道抽取吸气口内部的空气，实现晶圆被吸附在承片台上，有利于晶圆的快速定位装夹，该装置利用第一电机带动晶圆沿X方向运动，利用电机升降杆的升降带动晶圆沿Y方向运动，配合第一传感器和第二传感器的检测，实现了晶圆的自动定心对准，有利于提高工作效率。
一种自动对准装置

[实用新型]一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构-CN202021907920.9有效
发明人：吴昌浩;李涛;王广禄;陈曦;柯华榕 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2020-09-04 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态的机构，包括气缸、连杆、映射传感器、电机、丝杆、安装板、固定座、转动套、卡块、滑轨、挡板、连接块、滑块、顶板、操作盒、安装框、安装架、移动块、第一限位块、推动杆、限位板、第二限位块、L型板、接线端子、连接头和挡杆，所述连接头位于靠近L型板的一侧，所述电机的输出端套接固定连接有转动套，所述电机的输出端与丝杆的一端固定连接，所述丝杆的两端分别与固定座的中心处安装的轴承内部套接固定连接，利用安装的映射传感器有利于检测出晶圆卡匣内是否存在晶圆片和晶圆对应层数数据统计并且对晶圆斜插、叠片等功能，有利于及时知道对应层数是否存在晶圆片，提高了工作效率。
一种用于检查晶圆卡匣内晶圆状态机构

[实用新型]一种晶圆的晶背宏观检查装置-CN202021907939.3有效
发明人：孙灿杰;李涛;王广禄;陈曦;柯华榕 -专利权人：憬承光电科技（厦门）有限公司
申请日： 2020-09-04 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆的晶背宏观检查装置，检查装置包括固定架、晶背翻转盘、Z轴传动模组和θ轴传动模组，固定架包括横板和竖板，Z轴传动模组包括Z轴电机、两个Z轴同步轮、Z轴同步带和滑行平台，Z轴电机和Z轴同步轮均固定在竖板上，两个Z轴同步轮间设有Z轴同步带，Z轴同步带通过夹块夹紧在滑行平台上，滑行平台上端设有极限卡块，滑行平台侧边固定有极限感应片和竖板上设有的若干个极限传感器进行配合，θ轴传动模组固定安装在滑行平台上，θ轴传动模组包括θ轴电机、θ轴同步轮和θ轴同步带，晶背翻转盘安装固定在θ轴同步轮上。本实用新型用于宏观检查晶圆晶背形貌。
一种宏观检查装置

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