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[实用新型]一种三角形靶材的机加工工装夹具-CN202222263099.7有效
发明人：姚力军;潘杰;凌培文;王学泽 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B23Q3/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种三角形靶材的机加工工装夹具，所述机加工工装夹具包括带有三角形凹槽的正方形夹具和压板；所述正方形夹具的中间设置有由圆形孔洞组成的吸盘区；所述压板均匀设置在待铣削圆形靶材周围。本实用新型所述三角形靶材的机加工工装夹具不仅可以准确牢固定位待铣削圆形靶材，还可以直接铣削掉多余边料，无需人工去除边料，大大提高了三角形靶材加工效率和靶材质量，具有大规模推广应用前景。
一种三角形加工工装夹具

[发明专利]一种避免异常放电的钛靶材及其加工方法-CN202211261698.3在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;苏阳能 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及了一种避免异常放电的钛靶材及其加工方法，所述钛靶材包括依次连接的溅射面、侧面以及喷砂凹槽；所述喷砂凹槽包括第一凹槽和第二凹槽；所述第一凹槽的深度为4.5‑5.5mm。本发明调整了第一凹槽的深度以及靶材侧面与溅射面之间的倒角半径，对第一凹槽进行加深处理，增大溅射腔体的腔壁与靶材凹槽的间隙，避免反溅射物在凹槽内发生Arcing的概率。
一种避免异常放电钛靶材及其加工方法

[发明专利]一种半导体聚焦环的加工设备及方法-CN202011525464.6有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;黄文杰 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： B23Q17/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体聚焦环的加工设备及方法，所述加工设备包括旋转组件、支撑组件、探测组件、对刀仪和信号接收器，所述支撑组件安装于旋转组件的一端，所述支撑组件呈环形，其外侧安装聚焦环，所述探测组件设置于支撑组件上方，所述对刀仪设置于旋转组件上方，所述探测组件与信号接收器连接。本发明通过对聚焦环加工设备进行自动化改进，在旋转组件和支撑组件的基础上增加探测组件、信号接收器以及对刀仪，配合自动加工程序，实现聚焦环铣孔加工时自动测量环件直径、圆度等参数，并自动进行分中、对刀和孔加工，简化人工操作步骤，降低操作强度，提高了加工效率及设备利用率，同时降低出错率，提高聚焦环加工成品率，适用范围更广。
一种半导体聚焦加工设备方法

[实用新型]一种靶材孔位检具-CN202222033794.4有效
发明人：姚力军;潘杰;陈文庆;王学泽 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-08-03 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种靶材孔位检具，所述靶材孔位检具包括扇形基底；沿远离扇形基底圆心的方向依次划分第一圆弧段、第二圆弧段与第三圆弧段；第一圆弧段、第二圆弧段、第三圆弧段与扇形基底同圆心；所述第一圆弧段设置有至少1个排气通孔；所述第二圆弧段设置有至少1个圆柱形凸起；所述第三圆弧段设置有至少1个凸台定位件；所述凸台定位件包括同轴心的圆柱基底与圆柱定位凸起；所述圆柱形凸起的直径与其对应的靶材孔位的直径；所述圆柱定位凸起的直径与其对应的靶材孔位的直径；所述圆柱基底的直径≤与其对应的靶材孔位的直径。所述靶材能够对靶材的孔位尺寸进行检测，且检测过程简单便捷，检测误差较小。
一种靶材孔位检具

[发明专利]一种异形工件的检测夹具及使用方法-CN202211236304.9在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;李佳奇 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-10-10 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种异形工件的检测夹具及使用方法，所述检测夹具包括底板与支撑板，沿底板的宽度方向，所述底板的顶面两端分别焊接有立板，所述立板所在平面垂直于底板的顶面，所述底板的顶面通过立板与支撑板的底面焊接，所述支撑板的底面与底板的顶面的夹角为26.56‑26.58°；沿支撑板的长度方向，所述支撑板的一端开设有凹槽，另一端的支撑面设置有第一销钉与第二销钉。本发明设计底板、立板与支撑板相结合的箱型结构，调整支撑板的倾角，设置第一销钉与第二销钉，可避免异形工件下滑，从而有效支撑异形工件进行精准检测，同时可检测异形工件的全部尺寸特征。
一种异形工件检测夹具使用方法

[发明专利]一种钨硅靶坯的制备方法-CN202011098020.9有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李岢 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-10-14 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： C04B35/58 文献下载
摘要：本发明涉及一种钨硅靶坯的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)将硅化钨粉和硅粉进行混合，得到混粉；(2)将步骤(2)得到混粉进行热压烧结，得到所述钨硅靶坯；所述热压烧结包括依次进行的第一升温、第二升温和加压处理。本发明提供的方法，通过对制备原料的重新设计，同时采用特定热压烧结过程进行制备钨硅靶坯，制备得到了致密度≥99％的钨硅靶坯，靶坯无缺陷且微观结构均匀，利用其生产的钨硅靶材有优异的溅射使用性能。
一种钨硅靶坯制备方法

[发明专利]一种圆形靶材和环形背板的电子束焊接方法-CN202110120292.2有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;王立青 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-01-28 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B23K15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种圆形靶材和环形背板的电子束焊接方法，包括如下步骤：(1)准备圆形靶材和环形背板，通过机加工使得两者的接触面呈现斜面；(2)将步骤(1)所述圆形靶材和环形背板进行装配，对所述斜面进行电子束焊接。本发明所述电子束焊接方法对装配结构进行了改进，将接触面的形状由原来的L形优化为斜面，只需进行一道次的电子束焊接即可，改善了原来的两道次电子束焊接的虚焊问题，而且无需再通过翻转操作来改变焊接方向，保证了产品的合格率，提高了生产效率，确保了工艺实施的可靠性。
一种圆形环形背板电子束焊接方法

[实用新型]一种用于高功率磁控溅射的靶材组件-CN202120620458.2有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;王少平 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-03-26 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于高功率磁控溅射的靶材组件，包括靶材和背板，所述靶材包括溅射面和背面，所述背板包括固定面和冷却面，所述靶材的背面与所述背板的固定面相连接，所述背板的冷却面开设有梯形凹槽；其中，沿所述背板的边缘向所述背板的中心方向，所述梯形凹槽的侧面呈直线向下倾斜状。本实用新型所述用于高功率磁控溅射的靶材组件，在背板的冷却面开设具有一定倾斜度的梯形凹槽，可以有效地增强冷却效果，避免靶材的溅射面发生开裂。
一种用于功率磁控溅射组件

[实用新型]一种焊接抽真空的连接装置-CN202120620456.3有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;马宗才 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-03-26 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： F16L23/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种焊接抽真空的连接装置，所述连接装置包括依次设置的金属管、连接部件、密封圈和法兰，所述金属管设置有第一孔道，所述连接部件依次设置有焊接孔、第二孔道和连接孔，所述焊接孔连接金属管，所述连接孔侧面设置有内螺纹，所述连接孔顶面设置有环形凹槽，所述密封圈设置于环形凹槽内，所述法兰设置有第三孔道，所述法兰外部设置有管螺纹，所述连接孔通过内螺纹和管螺纹连接法兰，提升了连接装置的密封性，延长了连接装置的使用寿命。
一种焊接真空连接装置

[实用新型]一种溅射靶材的清洗装置-CN202120618696.X有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;王徐 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-03-26 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种溅射靶材的清洗装置，所述清洗装置通过旋转部与操作台连接，清洗装置包括靠近旋转部的固定杆和远离旋转部的活动杆，固定杆包括两个第一杆，两个第一杆平行对称设置，且两个所述第一杆之间存在第一空隙，第一空隙中对称设置有至少两个固定夹块，活动杆包括第二固定杆和第二活动杆，第二固定杆和第二活动杆平行对称设置，且所述第二固定杆和第二活动杆之间存在第二空隙，第二固定杆上设置有第二卡槽，第二活动杆与第一卡槽相同位置处设置有第二卡槽，在第二空隙之间，位于第一卡槽和第二卡槽处设置有活动夹块，所述清洗装置避免在清洗的过程中人员碰触造成手指印和脏污的残留，提升清洗效果，同时节省人力。
一种溅射清洗装置

[实用新型]一种便于与端头连接的一体型旋转靶材-CN202120597187.3有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李小萍 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-03-24 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种便于与端头连接的一体型旋转靶材，所述便于与端头连接的一体型旋转靶材在与端头连接的端面上设置导电胶层，用于所述便于与端头连接的一体型旋转靶材与所述端头的连接。本实用新型所述便于与端头连接的一体型旋转靶材通过设置导电胶层将一体型旋转靶材与端头进行连接，在达到使用标准的情况下，不仅操作简单、节约设备与人力成本，还可以提高端头被循环利用的次数，对于提高端头的利用效率与安装效率具有重要意义，有利于提高旋转靶材在磁控溅射领域的应用便利性。
一种便于端头连接体型旋转

[实用新型]一种环形件-CN202120535365.X有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;龚润泽 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型提供一种环形件，所述环形件包括环体和环体外表面的固定件，固定件内部设置有内孔，内孔的中心线与环体上端面的距离小于内孔的中心线与环体下端面的距离，应用于溅射成膜中，使用寿命长，且结构简单，成本低，易于加工，能够提高溅射成膜中薄膜的接触孔覆盖率。
一种环形

[发明专利]一种靶材组件及靶材组件制作方法-CN202111183196.9有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;王少平 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-10-11 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本申请涉及半导体制造领域，特别涉及一种靶材组件及靶材组件制作方法。本发明通过对喷砂区位置靠近靶材溅射面边缘一侧的靶材侧壁进行螺纹处理，使得靠近靶材溅射面边缘一侧的靶材侧壁凹凸不平，为后续的反溅射层附着提供粗糙面。虽然靠近靶材溅射面边缘一侧的靶材侧壁积累的反溅射材料较少，但长期积累还是容易产生一定厚度的反溅射层，且因为靠近靶材溅射面边缘一侧，无法在该区域形成熔射层(以避免熔射层材料被溅射)，因此在靠近靶材溅射面边缘一侧的靶材侧壁形成螺纹层，为后续的反溅射层附着提供粗糙面。
一种组件制作方法

[发明专利]一种脆性靶材的焊接方法-CN202110152753.4有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;杨慧珍 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-02-03 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种脆性靶材的焊接方法，先将脆性靶坯的焊接面与辅助压块的第一平面相接触并进行绑定，所述第一平面与所述溅射面的形状尺寸相同，再将绑定脆性靶坯、背板以及焊料进行加热，利用熔化后的焊料对焊接面进行浸润处理，随后将浸润处理后的绑定脆性靶坯扣合在浸润处理后的背板上，实现焊接面之间的接触，在所述辅助压块的第二表面上放置压块并冷却，将所述辅助压块取下，得到脆性靶材。本发明所述脆性靶材的焊接方法通过将脆性靶坯与辅助压块进行绑定，不仅有效解决了扣合后焊料残存空气而被氧化的问题，使得焊接结合率≥97％，平面度＜1mm，还有效防止了靶坯开裂，满足磁控溅射的使用要求。
一种脆性焊接方法

[发明专利]一种钽材料批量切割防掉落装置-CN202211351528.4在审
发明人：姚力军;李桂鹏;王学泽;马沁;陈雪 -专利权人：同创（丽水）特种材料有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： B23Q3/06 文献下载
摘要：本发明提供一种钽材料批量切割防掉落装置，所述装置包括夹持组件与承载组件，所述夹持组件设置于所述承载组件上部，所述夹持组件与所述承载组件活动连接，所述承载组件下部设置有移动组件，所述承载组件沿所述移动组件移动。所述装置切割产品后，可防止产品掉落，有效保护产品外观，同时可实现批量切割提高生产效率。
一种材料批量切割掉落装置