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- [实用新型]探针清理装置及检测装置-CN202223068224.5有效
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韩宁宁;谢永钦;蒋长洪;胡凯;王卫武
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深圳市深科达智能装备股份有限公司
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2022-11-18
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2023-07-04
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B08B1/00
- 本申请提供探针清理装置及检测装置。其中，探针清理装置包括：底座，包括定位部、设于定位部的导向部、和移动连接导向部的安装板；驱动组件，包括驱动机构和移动块，驱动机构带动移动块沿导向部的延伸方向移动；清理组件，包括清针板和连接板，清针板可拆卸地设于连接板，连接板固定连接移动块和安装板，连接板可以带动安装板沿导向部移动；相机定位组件，设于安装板，随安装板同步移动。如此，清理组件和相机定位组件设计在同一底座上，并由驱动组件统一驱动，便于精准的记录清针板与探针的位置，提升探针的清洁效果。还通过安装板导向连接板的移动方向，有效提高清理组件和相机定位组件的运动稳定性和运动精度。
- 探针清理装置检测
- [实用新型]晶圆检测设备-CN202223067692.0有效
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韩宁宁;谢永钦;蒋长洪;胡凯;王卫武
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深圳市深科达智能装备股份有限公司
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2022-11-18
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2023-06-06
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G01N21/01
- 一种晶圆检测设备，包括探针检测组件、上对位相机组件、晶圆卡盘组件、下对位相机组件、清针组件、移动组件、上下料组件，探针检测组件包括翻板组件和翻板支撑组件，翻板组件转动连接翻板支撑组件，翻板组件上设有探针卡，上对位相机组件用于检测晶圆卡盘组件上的晶圆位置，下对位相机组件用于检测探针卡的位置，移动组件根据上、下对位相机组件的检测结果移动晶圆卡盘组件至探针卡的下方，移动组件还用于移动清针组件至探针卡的下方，清针组件用于清理探针卡，上下料组件用于传输晶圆至晶圆卡盘组件，或从晶圆卡盘组件取走晶圆。如此，晶圆上下料、对位、晶圆检测、探针清理等功能集为一体，并自动化进行，有效提高检测准确度。
- 检测设备
- [实用新型]交接运料机构-CN202021911602.X有效
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黄奕宏;陈锦杰;秦超;尹国伟;杨杰;庄庆波;林锋;王卫武;王东东;陈军
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深圳市深科达智能装备股份有限公司
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2020-09-03
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2021-06-08
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B65G47/90
- 本申请提供了一种交接运料机构，包括直线运输机构、由直线运输机构驱动直线运动的至少两个升降机构、设于升降机构上且用于夹紧料盘的料盘夹紧机构以及用于定位料盘的定位机构，定位机构的数量至少为三个，且沿直线运输机构的运输方向依次排列，定位机构的正对直线运输机构处镂空设置，使升降机构能够穿过定位机构并顶起定位机构上的料盘。本申请提供的交接运料机构，在料盘装满物料后，所有的定位机构松开料盘，所有的升降机构可一同上移顶起料盘，然后直线运输机构将所有的升降机构同时移动，使装满物料的料盘移动至下一个定位机构，空置的料盘移动至下一个定位机构。如此，使得各个料盘同时发生移动，无需等待，提高上料的效率。
- 接运机构
- [实用新型]通用治具-CN202021990672.9有效
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黄奕宏;陈锦杰;秦超;尹国伟;杨杰;庄庆波;林锋;王卫武;王东东;陈军
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深圳市深科达智能装备股份有限公司
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2020-09-11
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2021-06-08
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B65G49/06
- 本申请提供了一种通用治具，包括吸附板、两个相互平行设置的滑条、用于调节两个滑条之间距离的X轴调节机构、两个Y轴调节机构以及设于Y轴调节机构上且用于吸附产品的吸附块，两个Y轴调节机构分别沿Y轴滑动连接于两个滑条上，吸附板的靠近吸附块的一侧具有用于吸附产品的吸附面。本申请提供的通用治具，X轴调节机构可以调节两个吸附块之间的距离，即可以调节该通用治具所能吸附产品的长度。Y轴调节机构滑动连接于滑条上，因此可以调节吸附块与吸附板之间的距离，即可以调节该通用治具所能吸附产品的宽度。如此，该通用治具适用于承载和运输不同尺寸的LCD，其通用性更强，无需制备过多的治具，可以节省治具成本。
- 通用
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