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[发明专利]一种基于谐振腔的非接触雾化装置与光刻胶涂胶方法-CN202310643863.X在审
发明人：张磊;李景俊;王修琨;孙雅东 -专利权人：东北大学
申请日： 2023-06-01 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B05B17/06 文献下载
摘要：本发明提供一种基于谐振腔的非接触雾化装置与光刻胶涂胶方法，所述的一种基于谐振腔的非接触雾化装置包括超声装置、供液系统、声室，超声装置设置在声室的开口处，所述的供液系统设置在声室内与超声装置为相对位置，声室内设置有谐振腔，谐振腔设置在超声装置的相对位置。本发明结构简单、性能稳定可靠，易加工，装置成本低，功率损耗小；本发明可实现声波在局域腔体的聚焦与增强，实施过程中能量利用率、粒度可控度、粒度尺度范围得到优化；本发明喷胶涂胶覆盖面积大，均匀度高，不受晶圆基底表面形貌限制，能够实现复杂三维微结构的光刻胶共形涂覆等技术；雾化过程中具有抗污染抗性、防堵塞性。
一种基于谐振腔接触雾化装置光刻涂胶方法

[发明专利]一种晶圆喷印涂胶装置及工艺方法-CN202211343087.3在审
发明人：张磊;郭冠顺;王修琨;李景俊;郭世泽 -专利权人：东北大学
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆喷印涂胶装置及工艺方法。所述装置包括上位机、总控制器、运动控制系统、稳定供墨系统、吸附与加热装置、喷印控制系统；上位机和总控制器使用以太网接口进行通讯，总控制器连接运动控制系统、稳定供墨系统、吸附与加热装置、喷印控制系统四个子系统，其中总控制器与运动控制系统使用并行接口直连，总控制器使用Rs485接口与吸附与加热装置、稳定供墨系统进行连接，总控制器与喷印控制系统使用光纤串行接口连接；采用多微孔喷头，喷头按照预设的喷头间距形成阵列形式，喷头阵列方法可以使原本多次的扫描运动同时进行，喷头和喷头之间直接不再产生边界，从根本上解决了连接处膜厚不均匀的问题。
一种晶圆喷印涂胶装置工艺方法

[发明专利]激光原位开膜的太阳电池金属栅极喷印成形方法及装置-CN202110544560.3有效
发明人：张磊;王修琨;李朋朋;刘力;靳忠尚 -专利权人：东北大学
申请日： 2021-05-19 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： B41M3/00 文献下载
摘要：本发明公开一种激光原位开膜的太阳电池金属栅极喷印成形方法及装置，第一步，利用激光技术对SiNx膜进行原位开膜形成微凹槽；第二步，利用喷墨打印技术将金属墨水注入微凹槽；第三步，调节激光功率、离焦量、扫描频度以及扫描速度参量，进而确定与膜层微凹槽的定量关系，实现膜层微凹槽的优化与精确控制，保证金属墨水准确注入微凹槽内，加热形成太阳电池金属栅极。通过在喷墨打印前预先对基材进行激光原位开膜，保证了太阳电池栅线电极超细、大“高宽比”的要求，避免在待喷金属墨水中加入玻璃粉的复杂工艺，提高了打印质量，提升了打印效率，降低了打印成本。采用交叉打印方法，使打印出的栅极更加均匀，极大程度的提高了打印精度。
激光原位太阳电池金属栅极成形方法装置