|
钻瓜专利网为您找到相关结果 6个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]一种飞秒激光质子直写系统-CN201310084441.X无效
-
李玉晓;王世启;欧阳劲志;陈燕;胡川南
-
河南工业技术研究院
-
2013-03-15
-
2014-09-17
-
G03F7/20
- 本发明提供了一种飞秒激光质子直写系统,用以解决现有的直写系统,存在刻写分辨率低,功率控制不稳定,噪声大,轮廓深度有误差及对抗蚀剂的厚度要求有限制的问题,包括:主控制器;质子束生成系统,用于根据主控制器的控制,产生兆电子伏特Mev能量级的质子束;刻写装置,用于利用兆电子伏特Mev能量级的质子束,在抗蚀材料工件表面进行刻写出三维浮雕结构;随动平台,用于置放抗蚀材料工件,并运动实现横向和纵向的刻写;随动平台控制系统,用于根据主控制器的控制,控制随动平台的运动,与主控制器和随动平台连接。上述飞秒激光质子直写系统,利用高能质子束刻写出高深宽比,侧壁垂直光滑、线条边缘粗糙度低和高密度、高精度的三维浮雕结构。
- 一种激光质子系统
- [实用新型]锁具-CN98219190.1无效
-
王世启
-
王世启
-
1998-10-13
-
1999-08-25
-
E05B65/00
- 本实用新型涉及一种锁具,其包括一个U形锁杆30和杆状锁柱10。所述杆状锁柱10具有锁定U形锁杆30的端部的锁孔1。在所述杆状锁柱10的一个端部设有锁芯5。U形锁杆30的两个端部分别插入杆状锁柱10中的锁孔1和定位孔2内。所述U形锁杆30的两个端部之一设有锁定槽32。沿着锁芯5的轴线方向的内端具有拨盘13。当U形锁杆30和杆状锁柱10处于锁定位置时,设置在拨盘13上的凸出物15插入所述U形锁杆30的端部的锁定槽32内,将U形锁杆30和杆状锁柱10相互锁定。
- 锁具
|