专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种蓝宝石晶体导模法生长装置-CN201420593049.8有效
  • 帕维尔·斯万诺夫;马远;薛卫明;吴勇;牛沈军;周健杰 - 江苏中电振华晶体技术有限公司
  • 2014-10-15 - 2015-03-11 - C30B29/20
  • 本实用新型涉及一种蓝宝石晶体导模法生长装置,包括晶体生长炉,炉内具有一用于装氧化铝溶液的外坩埚、一置于外坩埚口上方并与外坩埚口配合的吊盘以及一倒置于外坩埚内的内坩埚;所述内坩埚的坩埚底设置有向内坩埚吹入排液气体的通气管,并通过该通气管使内坩埚固定在吊盘的下方,所述通气管与炉外部供气系统连接,并由上至下依次穿过保温碳毯层、吊盘和内坩埚的坩埚底。本实用新型的优点在于:本实用新型能够实现长晶过程中保持坩埚内熔体液面高度,且系统不会被堵塞且无振动,同时有效增加Mo/W等金属热场使用寿命,简化装料过程,同时因模具上沿远离熔体,不易变形,也可延长模具使用寿命,降低长晶成本。
  • 一种蓝宝石晶体导模法生长装置
  • [实用新型]一种导模法棒状蓝宝石晶体的生长设备-CN201420284269.2有效
  • 薛卫明;马远;邱一豇;牛沈军;吴勇;周健杰 - 江苏中电振华晶体技术有限公司
  • 2014-05-30 - 2014-11-05 - C30B15/34
  • 本实用新型涉及一种导模法棒状蓝宝石晶体的生长设备,用于晶体生长的热场,该热场设置有模具、坩埚、加热器及抽真空装置;所述模具的中央具有毛细缝,该模具放置在所述坩埚中,该坩埚的下方具有一支撑该坩埚的坩埚架,所述坩埚通过坩埚架放置在所述热场的底部;所述加热器由置于热场外的高频感应线圈及置于热场内坩埚周围的发热管组成,通过高频感应线圈感应加热使发热管发热;所述热场由保温桶、上保温盖及下保温盖组成,所述上保温盖中心设置有籽晶杆;所述保温桶周围还具有若干气体导流通道,所述气体导流通道的出气口正对模具的上端面处,所述气体导流通道的进气口与输气软管相连,该输气软管上配备有流量调节阀。本实用新型的优点在于:采用该设备,通过控制导流通道内气体的流速,使晶体生长的形状得到了控制,因此生长过程中,可克服外界扰动对晶体形状的影响;另外还可以用于生长特定形状的晶体。
  • 一种导模法棒状蓝宝石晶体生长设备
  • [发明专利]一种棒状蓝宝石晶体生长设备及其生长方法-CN201410329589.X有效
  • 薛卫明;维塔利-塔塔琴科;吴勇;周健杰;牛沈军;马远 - 江苏中电振华晶体技术有限公司
  • 2014-07-11 - 2014-10-08 - C30B29/20
  • 本发明涉及一种棒状蓝宝石晶体生长设备,还涉及一种采用该棒状蓝宝石晶体生长设备的实现棒状蓝宝石晶体生长的生长方法,包括模具、坩埚、晶体生长炉、主加热器及抽真空装置,所述模具置于坩埚中,坩埚置于晶体生长炉中,主加热器用以对晶体生长炉加热;所述模具为旋转对称表面模具,其侧表面为旋转几何表面,顶部端面为凹形表面,该凹形表面由三个相互交叉的斜平面组成,且所述三个斜平面的交点位于旋转几何表面的旋转对称轴上;所述模具内部设有与旋转几何表面的旋转对称轴相平行的一条或以上的贯通的毛细通道,其底部留有液体流向毛细通道的缝隙。本发明的优点在于:提出的棒状蓝宝石晶体的生长方法及设备,可制得棒状的蓝宝石晶体,有效提高蓝宝石晶体制备效率,利用该方法生长的晶体,经过定型加工,可作为衬底用于LED器件制造。
  • 一种蓝宝石晶体生长设备及其生长方法
  • [实用新型]石墨烯薄膜的制备设备-CN201320849069.2有效
  • 颜士斌;马远;维塔利·塔塔琴科;宗志远;牛沈军 - 上海中电振华晶体技术有限公司
  • 2013-12-20 - 2014-06-11 - C01B31/04
  • 本实用新型揭示了一种石墨烯薄膜的制备设备,包括工作腔,工作腔设有碳源入口、残余气体出口;工作腔内设有衬底、筛选电场上极板、第一筛选电场电极、第二筛选电场电极、加速电场上极板、加速电场下极板、第一加速电场电极、第二加速电场电极、可移动加热板;第一、第二筛选电场电极分别与筛选电场上极板连接;第一、第二加速电场电极分别设置于残余气体出口的两侧,第一、第二加速电场电极分别与加速电场下极板连接;衬底放置于可移动加热板上,可移动加热板置于加速电场下极板上、加速电场上极板与加速电场下极板之间。本实用新型通过控制筛选电场,可有效地将碳离子与其他负离子分离,排除影响石墨烯质量的其他负离子的干扰。
  • 石墨薄膜制备设备
  • [发明专利]石墨烯薄膜的制备方法及设备-CN201310711667.8有效
  • 颜士斌;马远;维塔利·塔塔琴科;宗志远;牛沈军 - 上海中电振华晶体技术有限公司
  • 2013-12-20 - 2014-04-09 - C01B31/04
  • 本发明揭示了一种石墨烯薄膜的制备方法及设备,所述方法包括如下步骤:提供石墨烯生长衬底,将所述衬底置于加热机构加热形成的高温区域;在垂直于衬底并沿衬底需要沉积石墨烯薄膜的表面法线方向依次施加加速电场和筛选电场,衬底作为加速电场的正极;加热衬底、筛选电场区域和加速电场区域;通入含碳气体作为碳源,通过控制温度、气压和/或加热电源的频率将含碳气体电离成等离子体;等离子体中带负电离子在筛选电场的作用下被筛选,由于带电量的不同,碳离子被筛选出来,并在加速电场的作用下撞击衬底表面,从而实现石墨烯的生长。本发明通过控制筛选电场,可有效地将碳离子与其他负离子分离,排除影响石墨烯质量的其他负离子的干扰。
  • 石墨薄膜制备方法设备
  • [发明专利]一种石墨烯薄膜的制备方法-CN201310711760.9无效
  • 颜士斌;马远;维塔利·塔塔琴科;宗志远;牛沈军 - 上海中电振华晶体技术有限公司
  • 2013-12-20 - 2014-04-02 - C23C16/513
  • 本发明揭示了一种石墨烯薄膜的制备方法,包括:提供石墨烯生长衬底,将衬底置于加热形成的高温区域;在垂直于衬底并沿衬底需要沉积石墨烯薄膜的表面法线方向依次施加加速电场和筛选磁场,衬底作为加速电场的正极;加热衬底、筛选磁场区域和加速电场区域;通入含碳气体作为碳源,在通入筛选磁场区域之前将含碳气体电离成等离子体;等离子体以射流的形式进入筛选磁场区域,射流中带电离子根据带电荷量的不同在筛选磁场的作用下有不同运动半径;碳离子被筛选出来后进入到加速电场中,在加速电场的作用下加速到一定速度后撞击衬底表面,实现石墨烯的生长。本发明可大幅提高石墨烯的生产效率,通过连续生长得到高品质、大尺寸的单晶石墨烯。
  • 一种石墨薄膜制备方法

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