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- [实用新型]晶圆划片机用真空抽气盘-CN202223342021.0有效
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牛景丽;陈竞;郭伟;原野;王凯
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河南工业和信息化职业学院
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2022-12-13
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2023-08-08
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B28D5/00
- 本实用新型公开了晶圆划片机用真空抽气盘,包括加工板,所述加工板的上表面连接有两组支撑杆,每个所述支撑杆的顶端共同连接有横板,所述横板的上表面连接有划片机构,所述加工板的上表面连接有两个长导轨,两个所述长导轨的内部共同滑动连接有承载板,所述承载板的上表面连接有真空抽气盘本体,所述加工板的底面连接有底箱。本装置通过螺纹丝杆、螺板、支撑竖板和承载板的配合,当螺纹丝杆转动时带动螺板移动,螺板移动时通过支撑竖板带动承载板和真空抽气盘本体移动,从而达到了可以根据需求移动真空抽气盘本体的位置的效果,解决了真空抽气盘在安装后还存在有移动不便利的问题,具有移动真空抽气盘本体更加方便快捷的优点。
- 划片真空抽气盘
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