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[实用新型]可调式制程腔体结构-CN201120046664.3无效
发明人： 游中志;张仑峰 -专利权人：富临科技工程股份有限公司
申请日： 2011-02-24 - 公布日： 2011-11-02 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种可调式制程腔体结构包括：一主制程腔体，具有一内侧表面；一固定装置，设置于主制程腔体的内部，以架设一被镀物；复数个子制程腔体，设置于主制程腔体的内部；以及复数个可调式支撑装置，设置于主制程腔体的内侧表面，承载子制程腔体。而每一可调式支撑装置包含：滑轨装置；柱体；支撑架及平移装置；其中，每一可调式支撑装置用以调整其所承载的子制程腔体与被镀物的相对位置。因此，本实用新型的可调式制程腔体结构，可控制制程腔体内的气体，防止气体相互污染，并可依制程上的需要调整子制程腔体与被镀物的相对位置。
调式制程腔体结构

[实用新型]镀膜窗-CN201120047545.X无效
发明人： 游中志;张仑峰 -专利权人：富临科技工程股份有限公司
申请日： 2011-02-24 - 公布日： 2011-10-12 - 主分类号： C23C14/52 文献下载
摘要：本实用新型是关于一种镀膜窗包括：一框架，具有一上边框、一下边框、一右边框、及一左边框；二遮板，包含有一左遮板及一右遮板；以及多个锁附孔，开设于上边框及下边框的左右两端、左遮板、及右遮板；其中，框架的上边框、下边框、右边框、及左边框形成一窗口，左遮板及右遮板分别以至少一锁固元件固定在开设于上边框与下边框的锁附孔，并通过调整左遮板及右遮板固定的位置而调整窗口的大小，由此配合被镀基材的尺寸的改变而改变窗口的宽幅。
镀膜