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[发明专利]一种在局部维持恒定均匀磁场且方向强度精密调节的装置-CN201911162325.9有效
发明人：李中豪;刘俊;唐军;郭浩;王天宇;马宗敏;温焕飞 -专利权人：中北大学
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： G01R33/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种在局部维持恒定均匀磁场且方向强度精密调节的装置，包括带旋转平台的双轴线性位移平台（1），手动线性位移台（4）、光学导轨（5）、手动旋转位移台（6）、单轴位移台（7）及光学姿态调整器（3）、支架（8）；所述支架（8）的底部固定安装于带旋转平台的双轴线性位移平台（1）的旋转平台（11）上，所述单轴位移台（7）纵向固定安装于支架（8）顶部，所述单轴位移台（7）的活动座上固定安装手动旋转位移台（6），所述手动旋转位移台（6）的旋转部（61）上横向固定安装光学导轨（5）。本装置可用于需要方向可控的磁场环境的量子传感实验，尤其是各种NV色心传感器的研究实验。
一种局部维持恒定均匀磁场方向强度精密调节装置

[发明专利]一种基于金刚石NV色心的量子调控系统-CN202011585148.8在审
发明人：李中豪;刘俊;唐军;张浩;张扬;冯园耀;郭浩;温焕飞;马宗敏;曹慧亮 -专利权人：中北大学
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于金刚石NV色心的量子调控系统，包括532nm激光器1、反射镜2、凸透镜3、半波片4、声光调制器5、二向色镜6、物镜7、金刚石NV色心样品8、荧光透镜9、光电探测器10、任意波形发生器11、功率放大器12、微波天线13、外加磁场14。利用内含氮原子‑空位结构的NV色心系综的金刚石材料作为敏感元件，使用532nm激光实现氮空位色心能级的实现电子能级的激发及初始化，通过施加特定时间序列的微波信号调控NV色心内部量子态。采用荧光快速提取的方法实现对NV色心相干特性等高精度量子信息检测，可以有效的服务于量子功能材料的特性表征、医学领域的高精度核共振检测等多个高技术领域。
一种基于金刚石 nv 色心量子调控系统

[发明专利]一种自动调节激光反射光路的系统-CN202010346988.2在审
发明人：刘俊;马宗敏;许军;唐军;石云波;温焕飞;董诚;王慧云 -专利权人：中北大学
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本发明提供一种自动调节激光反射光路的系统，其包括中央处理装置、驱动装置、四象限光电探测器、驱动臂、微悬臂、样品、样品放置台、反光镜、激光器、带有光学显微镜的CCD、振动传感器、信号处理电路、显示设备、存储设备以及控制设备，通过控制设备对自动调节激光反射光路的系统进行控制，其中，通过激光器发射激光束，通过中央处理装置对带有光学显微镜的CCD采集的图像进行处理以识别微悬臂，然后通过驱动装置驱动驱动臂以带动微悬臂移动至激光光斑的中心位置，在此过程中，还对驱动臂的振动信号进行监测，以保证微悬臂移动的准确度。
一种自动调节激光反射光系统

[发明专利]基于Fe₃O₄纳米颗粒的磁场检测装置及其制造方法-CN201210294098.7有效
发明人：唐军;刘俊;石云波;薛晨阳;张晓明;李杰;毛宏庆;温焕飞 -专利权人：中北大学
申请日： 2012-08-18 - 公布日： 2012-12-19 - 主分类号： G01R33/02 文献下载
摘要：本发明涉及磁场检测装置，具体为一种基于Fe3O4纳米颗粒的磁场检测装置及其制造方法，解决了现有基于Fe3O4纳米颗粒的磁流体材料制备条件苛刻且长期放置时极不稳定的问题。基于Fe3O4纳米颗粒的磁场检测装置，包括下铜片电极、敏感材料层、上铜片电极；敏感材料层是由颗粒度为20nm的Fe3O4纳米颗粒与聚合物绝缘胶以质量比为1∶2-3.5的比例混合而成；敏感材料层的外边缘上涂有绝缘硅胶。同时公开了上述基于Fe3O4纳米颗粒的磁场检测装置的制造方法。本发明所述的装置性能稳定，制备方法简单，分辨率可以达到30nT左右，可测试磁场范围较宽；可广泛适用于车辆检测、无刷电机、目标识别、地磁导航等方面。
基于 fe sub 纳米颗粒磁场检测装置及其制造方法

[发明专利]基于静电场奇点自聚焦的圆片级低维纳米结构的制备方法-CN201210275973.7有效
发明人：刘俊;唐军;石云波;薛晨阳;张文栋;柴鹏兰;翟超;温焕飞 -专利权人：中北大学
申请日： 2012-08-06 - 公布日： 2012-11-07 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及低维纳米结构的制备方法，解决了现有有序低维纳米结构只能小面积制造且成本高、污染严重的问题。基于静电场奇点自聚焦的圆片级低维纳米结构的制备方法包括如下步骤：首先在圆片级硅片衬底上通过光刻和刻蚀工艺得到低维纳米结构自组装物理衬底模板；然后将其放在磁控溅射仪目标靶上，合成的贵金属纳米颗粒自动沉积到尖端结构上得到贵金属薄膜；最后进行退火工艺。本发明所述的制备方法利用合成的纳米颗粒，依托传统的MEMS加工工艺制备，得到了低成本、零污染、圆片级大面积、高可靠性和高度有序的低维纳米材料结构；可广泛适用于有序低维纳米结构的大面积制造。
基于静电场奇点自聚焦圆片级低维纳米结构制备方法

[发明专利]基于蜜蜂平衡棒的仿生三维角速度传感器-CN201210040496.6无效
发明人：石云波;唐军;刘俊;李杰;张晓明;刘尧;郭浩;温焕飞 -专利权人：中北大学
申请日： 2012-02-22 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G01P3/44 文献下载
摘要：本发明涉及仿生角速度传感器，具体是一种基于蜜蜂平衡棒的仿生三维角速度传感器。本发明解决了现有仿生角速度传感器体积大、检测维数单一、不便集成的问题。基于蜜蜂平衡棒的仿生三维角速度传感器，包括由有机玻璃制成且上下底面为等腰三角形的三棱柱支架，三棱柱支架边长相等的两侧面上均粘结有平衡棒结构；平衡棒结构包括空心框体、位于水平方向上的两个检测梁、以及位于垂直方向上的两个前宽后窄的驱动梁；在两个驱动梁上靠近空心框体的部分均依次生长有压电膜层和Si3N4绝缘层；两个检测梁上均固定有阻值为2-3kΩ的P型压阻条。本发明所述的三维角速度传感器体积小、功耗低，实现了三维角速度的检测，可广泛适用于三维角速度的检测。
基于蜜蜂平衡仿生三维角速度传感器

[发明专利]基于飞蛾触角导航的仿生三维角速度传感器及其制备方法-CN201110433661.X无效
发明人：刘俊;唐军;石云波;李杰;张晓明;刘尧;郭浩;温焕飞 -专利权人：中北大学
申请日： 2011-12-22 - 公布日： 2012-06-27 - 主分类号： G01P3/44 文献下载
摘要：本发明涉及仿生三维角速度传感器，具体是一种基于飞蛾触角导航的仿生三维角速度传感器及其制备方法。本发明解决了现有导航系统中微机械陀螺仪只能检测单一方向的角速度导致导航系统结构复杂、测量误差大的问题。基于飞蛾触角导航的仿生三维角速度传感器，包括N型【100】双抛硅片、以及有机玻璃；有机玻璃上开有中心方孔，有机玻璃的顶部对称开有四个凹槽，凹槽内粘结有绕有线圈的软磁体；有机玻璃的底部开有第一方形槽；N型【100】双抛硅片粘结在第一方形槽内，N型【100】双抛硅片包括空心框体、以及四个折叠梁。本发明采用单个结构完成三维角速度的检测使传感器结构简单，可广泛适用于仿生MEMS传感器领域的角速度检测。
基于飞蛾触角导航仿生三维角速度传感器及其制备方法

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