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[发明专利]一种晶圆加工用多向故障报警设备-CN202311163143.X在审
发明人：尹明清 -专利权人： 深圳市星国华先进装备科技有限公司
申请日： 2023-09-11 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆加工用多向故障报警设备，包括台体，所述台体的底部外壁固定连接有支撑筒，所述支撑筒的底端固定连接有底板，所述台体的顶部固定连接有等距离呈环形分布的存放仓，所述存放仓内部码放有等距离分布的晶圆本体，所述存放仓的顶部固定连接有把手，另一所述存放仓的顶部固定连接有报警器，所述支撑筒的底部内壁固定连接有液压杆，所述液压杆的输出端固定连接有连接柱，所述连接柱的一端设置有机械臂。本发明中实现对晶圆本体的无接触式固定，避免对晶圆本体的上下面造成损伤，同时也有利于后续检查灯本体在对晶圆本体检查时不会产生检查死角，避免出现误检误判的情况，提高本装置故障报警的准确率。
一种晶圆加工用多向故障报警设备

[发明专利]一种多爪式限位式晶圆加工整平装置-CN202310826454.3有效
发明人：尹明清 -专利权人： 深圳市星国华先进装备科技有限公司
申请日： 2023-07-07 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆整平加工技术领域，具体是涉及一种多爪式限位式晶圆加工整平装置，包括安装台、多爪限位盘和打磨装置；多爪限位盘还包括安装盘、安装套筒、限位卡套、感应底座、限位抵触爪、限位收缩盘和同步驱动装置；安装盘安装在安装台；安装套筒设有数个并且以安装盘为轴心均匀分布，安装套筒与安装盘固定连接；限位卡套设有数个并且均匀分布在安装套筒上；感应底座固定安装在安装套筒底部；限位抵触爪设有数个并且均匀分布在安装套筒外侧；限位收缩盘设有数个并且均匀分布在安装套筒上；同步驱动装置固定安装在安装盘上，同步驱动装置的输出端与限位收缩盘传动连接。本申请可有效的提高打磨的稳定性，同时确保打磨质量。
一种多爪式限位式晶圆加工整平装

[发明专利]一种晶圆加工用数据记录处理装置-CN202310842517.4有效
发明人：尹明清 -专利权人： 深圳市星国华先进装备科技有限公司
申请日： 2023-07-11 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： C25D17/02 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆加工用数据记录处理装置，包括工作台面，工作台面表面开设有填充槽，填充槽底面均匀分布有若干个晶圆加工工位，工作台面一侧设置有液体调节机构和数据记录机构，每个晶圆加工工位内部均安装设置有晶圆适配机构，晶圆适配机构包括若干个外环扩展单元和一个中央供电单元。本发明通过晶圆适配机构的作用，将晶圆限制在未降下的外环扩展单元作为侧面以及降下的外环扩展单元和中央供电单元作为底面形成的凹槽内部，完成对晶圆实际规格大小的限定，准确匹配晶圆大小，并且间接的使得整个晶圆表面均作为电源负极，保证晶圆表面的电镀电位一致，进而有效的在晶圆表层电镀均匀的镀层。
一种晶圆加工用数据记录处理装置

[发明专利]一种多维度晶圆加工用拾取机械手-CN202211593171.0在审
发明人：尹明清 -专利权人： 深圳市星国华先进装备科技有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆加工技术领域，具体是涉及一种多维度晶圆加工用拾取机械手，包括机架和夹取装置，夹取装置包括上夹爪组件、下夹爪组件、旋转驱动器和第一直线驱动组件；上夹爪组件包括第一安装架、第一旋转轴和第一滚轮，第一旋转轴可旋转的安装在第一安装架上，第一滚轮固定套接在第一旋转轴上；下夹爪组件包括第二安装架和第二滚轮，第二安装架滑动安装在机架上，第二滚轮可旋转的安装在第二安装架上；旋转驱动器固定安装在第一安装架上，旋转驱动器的驱动端与第一旋转轴固定连接；第一直线驱动组件的驱动端与第二安装架传动连接。本发明解决了传统夹持装置在开始夹持时晶圆偏离的问题，有效避免了晶圆在夹持过程中出现歪斜滑落的情况。
一种多维度晶圆加工用拾取机械手

[发明专利]一种能够消除气泡的晶圆加工用覆膜装置-CN202210895055.8有效
发明人：尹明清 -专利权人： 深圳市星国华先进装备科技有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及芯片加工领域，具体是涉及一种能够消除气泡的晶圆加工用覆膜装置，包括覆膜底座、固定架、水囊和除气泡组件，覆膜底座包括工作台、拉伸组件、薄膜架和传送带，工作台包括固定底座、置物盘、第一弹簧、连接件和拉簧，固定底座的顶面中心处开设有圆形孔，固定底座的两个侧面上开设有长条滑槽，拉伸组件包括滑动块、第一夹持块、第二夹持块、定位条和连接杆，定位条上开设有配合连接件工作的定位槽，传送带的带面上均匀设置有若干个配合定位条工作的定位凸起。本发明通过工作台、拉伸组件、薄膜架和传送带实现了工作人员每次将晶圆放置在工作台上时薄膜拉伸组件便可以自动的带动薄膜移动从而使得薄膜覆盖到晶圆上的功能。
一种能够消除气泡晶圆加工用装置

[发明专利]一种针测机传输机构晶圆防滑出保护装置-CN202210739073.7有效
发明人：尹明清 -专利权人： 深圳市星国华先进装备科技有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及半导体元件检测设备技术领域，具体是涉及一种针测机传输机构晶圆防滑出保护装置，包括机架，机架包括、顶盖、两个竖板和两个侧板，机架上还设置有传送带、旋转驱动电机、两个旋转轴和若干个承接盘，通过旋转驱动电机带动旋转轴，从而带动传送带使多个承接盘移动，承接盘与竖板上的第一横槽进行对齐，针测机的机械手从第一横槽内插入对承接盘上的晶圆夹取，由于第一横槽的高度固定，使机械手无需频繁调整自身的高度来匹配晶舟上多层的晶圆，从而方便晶圆的夹取，减少机械手调整高度的时间，提高夹取效率，通过第一横槽的设置还可避免因机械手的误操作导致其碰触到其他晶圆，造成晶圆滑出或损坏。
一种针测机传输机构防滑保护装置

[发明专利]一种针测机晶圆传输机构手臂-CN202110866745.6在审
发明人：尹明清 -专利权人： 深圳市星国华先进装备科技有限公司
申请日： 2021-07-29 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种针测机晶圆传输机构手臂，涉及到晶圆传输机构手臂技术领域，包括固定座和移动座，所述固定座和移动座上均安装有两个夹持部，所述夹持部用于夹持晶圆，所述固定座上安装有移动单元，所述移动单元用于所述移动座移动；所述固定座上安装有清理驱动单元。本发明结构合理，实现对晶圆表面上的抛光液进行吸收清理，避免了晶圆抛光后，表面残留有抛光液，在晶圆传输过程中，滴落在操作台或者操作车间，污染操作台或者操作车间，避免了转运晶圆过程中抛光液干燥附着于晶圆上，影响晶圆的质量及成品率，转动边对晶圆表面的抛光液进行清理，避免了晶圆上存在死角，导致抛光液无法清理完全。
一种针测机晶圆传输机构手臂

[发明专利]一种应用于热处理设备的晶圆传输调度的装置及方法-CN202110839378.0在审
发明人：尹明清 -专利权人： 深圳市星国华先进装备科技有限公司
申请日： 2021-07-23 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆热处理技术领域，公开了一种应用于热处理设备的晶圆传输调度的装置及方法，包括：用于驱动晶圆移动的机械臂、用于拿取晶圆的非接触式拿取装置以及为非接触式拿取装置提供气流的热风机，非接触式拿取机构包括多个用于喷出气流对晶圆进行吸附的负压喷头。通过接触识别机构对晶圆与负压喷头之间的距离进行检测，并且通过接触信号的持续时间，缩小负压喷头喷出的气流流量，以调节晶圆与负压喷头的距离，使得晶圆与负压喷头之间保持非接触状态，防止在晶圆拿取时接触到晶圆而产生磨损，并且防止晶圆与空气之外的介质产生接触，防止晶圆在热处理过程中的接触失温，防止晶圆在接触部位产生缺陷及杂质集中，提高晶圆的热处理效果。
一种应用于热处理设备传输调度装置方法

[发明专利]一种机械手及其获取传输晶圆的方法-CN202110782710.4在审
发明人：尹明清 -专利权人： 深圳市星国华先进装备科技有限公司
申请日： 2021-07-12 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体设备领域，公开了一种机械手及其获取传输晶圆的方法，晶圆在运输通道内进行运输时，通过水平导轨与第一红外发射端等设置，将晶圆片推至既定位置处，便于后续机械爪直接取出晶圆片，从而避免晶圆在运输通道内传输时对其实时检测相对位置，同时，避免通过调整机械爪的位置以适应不同偏移程度的晶圆进行抓取，费时费力且降低运输效率，机械爪转运晶圆过程中，若夹紧组件失效，导致晶圆发生位置偏移，通过第二红外发射端等设置，在机械爪运转晶圆的过程中，实时对晶圆的相对位置进行检测并实时调整，避免在发生意外偏移后停止机械爪的操作，耽误时间降低机械爪的运转利率。
一种机械手及其获取传输方法

[发明专利]用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统及方法、手臂-CN202110724907.2在审
发明人：尹明清 -专利权人： 深圳市星国华先进装备科技有限公司
申请日： 2021-06-28 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统及方法、手臂，涉及半导体生产技术领域，底座的上端固定安装有机械手，底座和机械手之间共同固定安装有真空吸附机构，真空吸附机构的底部固定安装有调节组件，通过真空吸附的方式，来实现对晶圆的传送，而调节板的设置，可实现对管内开口的大小进行调节，进而改变进气压力的大小，实现吸附力调节，使其可满足不同对不同厚度的晶圆进行传送，调节的同时还可清晰的确定旋转的角度，便于工作人员记录和查看，另外，本结构还可实现对两侧吸盘组的间距进行调节，使其可适配多种直径大小的晶圆，而吸盘采用螺纹连接的方式，不仅便于安装和拆卸，而且出现部分损坏时还便于快速更换。
用于传送机械手吸附力调节系统方法手臂

[发明专利]晶圆传输装置及其真空吸附机械手-CN202110682648.1在审
发明人：尹明清 -专利权人： 深圳市星国华先进装备科技有限公司
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及真空吸附机械手技术领域，公开了晶圆传输装置及其真空吸附机械手。该用于晶圆传输的真空吸附机械手，包括底座、支撑环、旋转支撑板、支柱、旋转结构、起降结构、伸缩结构、吸附结构，底座内设置有旋转结构，起降结构、伸缩结构和吸附结构设置于支柱上。通过旋转结构控制机械手的旋转，起降结构控制机械手的上下移动，伸缩结构控制机械手的伸缩，再配合吸附结构对晶圆进行吸附和转动，不仅吸附能力好，而且在吸附运输过程中姿态灵活可调，运输所需空间小，减小产线投资；通过伸缩吸附嘴的单点吸附，不仅保证翘曲晶圆依然可以被吸附在晶圆机械手上，保障晶圆的质量安全，而且可以在晶圆垂直地面的方式可靠吸附，应用范围广。
传输装置及其真空吸附机械手

[发明专利]—种单臂三自由度的晶圆传输机械手及使用方法-CN202110664689.8在审
发明人：尹明清 -专利权人： 深圳市星国华先进装备科技有限公司
申请日： 2021-06-16 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆传输机械手领域，公开了—种单臂三自由度的晶圆传输机械手及使用方法，通过垂直移动组件、旋转组件与径向移动组件将机械爪的一端靠近顶层晶圆片的一侧上方，通过伸缩电机等设置，使得延伸板的一端逐渐靠近顶层晶圆片并位于晶圆片的上方，启动抽气组件，利用伯努利吸盘原理，使得通孔处的压强较小，继而使得顶层晶圆片被吸附至延伸板的一端，通过控制径向移动组件将顶层晶圆片向片盒外移动一段距离，继而便于后续使用真空发生器与吸盘对顶层晶圆片进行运输，同时，扩大片盒内的操作空间，便于机械爪运转后续晶圆片，通过反向电机等设置，吸盘发生翻转吸附晶圆片，扩大片盒的储存能力，提高空间利用率。
种单臂三自由度传输机械手使用方法

[发明专利]一种晶圆抓取装置及控制方法-CN202110631220.4在审
发明人：尹明清 -专利权人： 深圳市星国华先进装备科技有限公司
申请日： 2021-06-07 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆制造技术领域，公开了一种晶圆抓取装置及控制方法，所述晶圆抓取装置，包括盒体和吸附端，吸附端设置于盒体一侧，盒体底部设置有控制器，吸附端包括吸附机构，吸附机构包括若干个负压凹槽，弹性联动组件，设置在负压凹槽内部。通过进气转换阀更换关闭一个进风机构连接的通风管道，使得吸附机构由一个进风机构提供动力源，使得抓取装置可以短时间内持续工作，利用双口进气模式在抓取装置正常工作时，一侧进风机构出现故障后，能够及时应急，更换成单口进气模式，进而保证晶圆片抓取不会中断，并且进一步保证晶圆片在传输时的安全性，避免正在传输的晶圆片因抓取装置突然出现故障而导致晶圆片损坏。
一种抓取装置控制方法

[发明专利]一种将金属裂纹网络转移到聚合物薄膜的方法-CN201810388376.2有效
发明人：埃泽尔·马丁·阿金诺古;劳伦斯·德·哈恩;高进伟;薛亚飞;周国富;金名亮;迈克尔·吉尔森 -专利权人：肇庆市华师大光电产业研究院;华南师范大学;深圳市星国华先进装备科技有限公司
申请日： 2018-04-26 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种将金属裂纹网络转移到聚合物薄膜的方法，包括如下步骤：S1.在基底上沉积无定形碳，形成润滑层，在润滑层上沉积具有裂纹网络的金属薄膜；S2.在S1沉积了金属薄膜的基底上涂覆能与基底发生交联反应的物质，形成交联层，在交联层上发生聚合反应并形成聚合物，聚合物再与金属薄膜的裂纹网络直接聚合并交联；S3.将聚合物剥离基底，具有裂纹网络的金属薄膜同时转移到聚合物上。本发明提供了一种将50~300nm的金属裂纹网络转移到聚合物薄膜的方法，操作简便，成本低，应用于柔性电子器件组装或制备响应性表面涂层材料上前景好。
一种金属裂纹网络转移聚合物薄膜方法

[发明专利]一种电润湿显示器中可控油墨填充方法-CN201610654735.5有效
发明人：水玲玲;窦盈莹;金名亮;周国富 -专利权人：华南师范大学;深圳市国华光电科技有限公司;深圳市星国华先进装备科技有限公司
申请日： 2016-08-10 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： G02B26/00 文献下载
摘要：本发明属于电润湿显示器领域，公开了一种电润湿显示器中可控油墨填充方法，具体包括以下步骤：S1、制备第一模板和第二模板，所述第一模板设有与像素墙图案对应的凹陷结构，所述第一模板凸起部分的宽度小于单个显示区域的宽度，所述第一模板凹陷部分的宽度大于像素墙宽度，所述第二模板具有与第一模板相互卡合的结构；S2、利用第二模板对第一模板的凹槽和底部侧壁进行疏水处理；S3、利用第一模板压出显示区域的油墨，从而控制油墨高度。本发明用模板法挤压吸出定量油墨以控制像素格中的油墨高度，可以精确控制油墨高度，油墨高度不依赖于像素墙高度；可以用于柔性显示器和普通电润湿显示器的油墨高度控制；并能够防止油墨翻墙。
一种润湿显示器可控油墨填充方法

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