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- [实用新型]净化台及光伏薄膜沉积设备-CN202320096705.2有效
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林佳继;张武;刘群
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深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
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2023-02-01
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2023-04-28
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C23C16/44
- 本实用新型公开了一种净化台及光伏薄膜沉积设备。该净化台内设置有固定杆和隔板，隔板安装在固定杆上，固定杆活动连接有踏板，踏板具有隐藏位置和展开位置，处于隐藏位置时踏板被隔板遮挡，处于展开位置时踏板的至少部分伸出隔板。通过使得踏板既能够运动至隔板下方空间内，与隔板在高度方向上重叠，被隔板遮挡，避免踏板占用净化台内部的走动和使用空间，还能够运动至隔板下方空间外，使得踏板与隔板在高度方向上相错，操作人员可通过踩踏踏板来移动，方便进行安装、维护等工作。并且踏板位于隔板下方，不影响隔板的正常使用，而在踩踏时，更牢固的固定杆承受压力能够避免隔板的变形和损坏，保障净化台的安全性。
- 净化薄膜沉积设备
- [实用新型]真空炉-CN202223031924.7有效
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龙占勇;林佳继;刘群
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深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
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2022-11-15
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2023-03-14
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F27B5/18
- 本实用新型公开了一种真空炉，该真空炉包括真空炉体和供气系统，真空炉体上设有压力检测器、进气口、抽真空口、排气口和自动安全阀组，抽真空口通过抽真空控制阀与抽真空设备相连，排气口设置有自动排气阀，进气口连接进气自动控制阀；供气系统包括储气罐和供气阀组，储气罐的出口通过供气阀组与进气自动控制阀相连。该真空炉能够及时控制真空炉体内的压力，减小真空炉体内的压力波动范围，且能够较好地满足不同制品对真空炉体内的压力的需求。
- 真空炉
- [发明专利]一种热场温控方法-CN202011408624.9有效
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林佳继;庞爱锁;郭永胜;刘群;朱太荣;林依婷
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深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
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2020-12-04
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2023-02-10
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H05B3/64
- 本本发明公开了一种热场温控方法,包括炉丝，所述炉丝由炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝和炉尾辅热区炉丝构成，所述炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝以及炉尾辅热区炉丝在轴向分别由多组温区炉丝构成，至少一组温区炉丝至少两组分区构成，各分区的炉丝非均等分布，控制炉丝非均等分布包括各分区的炉丝疏密或/和各分区的炉丝丝径或/和各分区的炉丝数量，非均等分布的炉丝控制各分区的功率，功率控制各分区所在区域的温度，本发明将至少一组温区炉丝细分成至少2个分区，每分区对炉丝疏密进行相应的布局，且炉丝疏密通过各分区相邻炉丝间距Pj1或/和各分区炉丝节距Pj2进行布局，而实现硅片组温度的均匀控制。
- 一种温控方法
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