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- [发明专利]测量系统和方法-CN202010380355.3在审
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陈鲁;杨乐;马研忠;张威;李小辉
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深圳中科飞测科技有限公司
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2020-05-09
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2021-11-09
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G01B11/24
- 本公开提供了一种测量系统和方法，涉及测量技术领域，所述测量系统包括：光源，被配置为产生原始光束，其中，从被测物体的被测区域返回的所述原始光束为返回光束；光学组件，被配置为根据所述返回光束得到待处理光束，其中，至少部分所述待处理光束为第一光束；第一探测装置，被配置为根据所述第一光束得到第一探测信息；移动设备，被配置为使所述光学组件与所述被测物体沿所述光学组件的光轴方向相对移动；和处理系统，被配置为根据多个第一时刻中每个第一时刻下的所述第一探测信息，确定在每个第一时刻下所述光学组件与所述被测物体的固定平面之间的实际距离。
- 测量系统方法
- [发明专利]一种检测设备及其检测方法-CN202010892121.7在审
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陈鲁;方一;叶华平
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深圳中科飞测科技有限公司
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2020-08-31
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2021-11-02
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B07C5/02
- 本申请提供一种处理设备，包括：第一检测工位，包括第一检测模块，用于获取第一待测对象表面待测区的第一位置信息；第二检测工位，包括第二检测模块，用于获取第一待测对象表面待测区的第一位置信息；第三检测工位，包括第三检测模块，用于依次根据第二位置信息对第一待测对象，以及根据第二位置信息对第二待测对象进行第三检测；上下料单元，包括第一上下料单元和第二上下料单元，第一上下料单元用于将第一待测对象送至第三检测工位；第二上下料检测用于将第二待测对象送至第三检测工位。该检测设备可减少待测对象整个检测过程中等待转运的时间，加快检测速度，且同时保证检测的精度。
- 一种检测设备及其方法
- [发明专利]一种检测装置及检测设备-CN202010861773.4有效
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陈鲁;方一;李青格乐
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深圳中科飞测科技有限公司
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2020-08-31
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2021-04-23
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G01B11/00
- 本申请提供一种检测装置，包括光源装置，其用于向待测区及其外围区域发射检测光束，检测光束沿垂直于待测物的方向入射至待测区及其外围区域，检测光束穿过外围区域形成复检光束；反射元件，其具有反射面，反射面平行于待测物，反射面用于使至少部分复检光束反射至外围区域，复检光束穿过外围区域形成第一信号光；以及探测装置，其用于接收信号光，信号光包括沿垂直于待测物的方向自外围区域出射的第一信号光；通过以上设置，可以使得光源装置出射的检测光束可以经待测物反射、折射或散射后形成信号光，被探测装置所收集，形成清晰的轮廓图，从而提高检测精度。
- 一种检测装置设备
- [实用新型]一种检测装置及检测设备-CN202021849561.6有效
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陈鲁;方一;李青格乐
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深圳中科飞测科技有限公司
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2020-08-31
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2021-02-19
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G01B11/00
- 本申请提供一种检测装置，包括光源装置，其用于向待测区及其外围区域发射检测光束，检测光束沿垂直于待测物的方向入射至待测区及其外围区域，检测光束穿过外围区域形成复检光束；反射元件，其具有反射面，反射面平行于待测物，反射面用于使至少部分复检光束反射至外围区域，复检光束穿过外围区域形成第一信号光；以及探测装置，其用于接收信号光，信号光包括沿垂直于待测物的方向自外围区域出射的第一信号光；通过以上设置，可以使得光源装置出射的检测光束可以经待测物反射、折射或散射后形成信号光，被探测装置所收集，形成清晰的轮廓图，从而提高检测精度。
- 一种检测装置设备
- [实用新型]检测设备-CN202022219285.1有效
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王南朔;马砚忠;张朝前;卢继奎;陈鲁
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深圳中科飞测科技有限公司
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2020-09-30
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2021-02-19
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G01D21/02
- 本实用新型提供一种光学设备及其工作方法，其中，所述光学设备包括：一种检测设备，其特征在于，包括：第一检测装置，包括：入射模块，用于产生入射至待测物表面的第一探测光，所述第一探测光在所述待测物表面形成第一光斑出射模块，用于根据所述第一出射光获取待测物表面待测膜层的厚度；第二检测装置，包括：第二光源，用于产生入射至待测物表面的第二探测光，所述第二探测光在所述待测物表面形成第二光斑；第二探测组件，用于根据所述第二光斑在第二探测组件表面的位置确定所述待测物的待测区内的应力，所述第二光斑与第一光斑至少部分重合。所述检测设备能够实现应力检测和膜厚检测的结合，且能够减小设备体积。
- 检测设备
- [实用新型]一种设备及吸附装置-CN202021362301.6有效
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邓旺财;李青格乐;陈鲁
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深圳中科飞测科技有限公司
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2020-07-10
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2021-01-12
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H01L21/683
- 本实用新型公开一种设备及吸附装置，其中，该吸附装置包括吸盘部和基盘部，所述吸附装置设有真空腔，所述吸盘部设有吸附面，所述吸附面设有与各所述真空腔对应连通的吸附孔，用于吸附待吸附物，所述吸盘部靠近所述吸附面的一面设有至少一个开口，所述开口被配置为容纳机械手，所述机械手用于将所述待吸附物放置于所述吸附面或自所述吸附面取走所述待吸附物；所述吸附装置还包括举升组件，至少所述吸盘部设有贯通孔，所述举升组件通过所述贯通孔驱使所述待吸附物进行升降。本实用新型实施例所提供吸附装置可以方便待吸附物进行取放，能够容易地实现待吸附物在吸附面的放置或者取走。
- 一种设备吸附装置
- [发明专利]一种检测设备的检测方法及检测装置-CN202011069221.6在审
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陈鲁;吕肃;黄有为;方一;张嵩
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深圳中科飞测科技有限公司
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2020-09-30
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2021-01-05
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G06T7/00
- 本申请实施例公开了一种检测设备的检测方法及检测装置，检测设备具有测量方向、根据测量方向确定的设备参考系以及与测量方向对应的基准方向，检测设备包括检测模块，待测物包括第一特征点和第二特征点，第一特征点和第二特征点之间具有预设距离，在检测模块和第一特征点具有第一相对位置时，可以利用检测设备对第一特征点进行第一检测，获取第一特征点在设备参考系中的第一位置信息，在检测模块和第二特征点具有第二相对位置时，可以利用检测设备对第二特征点进行第二检测，获取第二特征点在设备参考系中的第二位置信息，根据预设距离、第一位置信息和第二位置信息，获取待测夹角，以提高检测设备的检测准确性。
- 一种检测设备方法装置
- [发明专利]检测设备及其检测方法-CN202011058878.2在审
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陈鲁;王南朔;马砚忠;张朝前;卢继奎
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深圳中科飞测科技有限公司
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2020-09-30
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2020-12-15
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G01D21/02
- 本发明提供一种光学设备及其工作方法，其中，所述光学设备包括：一种检测设备，其特征在于，包括：第一检测装置，包括：入射模块，用于产生入射至待测物表面的第一探测光，所述第一探测光在所述待测物表面形成第一光斑出射模块，用于根据所述第一出射光获取待测物表面待测膜层的厚度；第二检测装置，包括：第二光源，用于产生入射至待测物表面的第二探测光，所述第二探测光在所述待测物表面形成第二光斑；第二探测组件，用于根据所述第二光斑在第二探测组件表面的位置确定所述待测物的待测区内的应力，所述第二光斑与第一光斑至少部分重合。所述检测设备能够实现应力检测和膜厚检测的结合，且能够减小设备体积。
- 检测设备及其方法
- [实用新型]一种检测光源和检测系统-CN201922479172.2有效
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刘健鹏;张鹏斌;范铎;陈鲁
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深圳中科飞测科技有限公司
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2019-12-31
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2020-12-15
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G01N21/95
- 本实用新型涉及一种检测光源和一种检测系统，检测光源包括：壳体，壳体具有：用以形成壳体的部分壳壁的安装基板和与安装基板相对的出光口；若干个光源，各光源分布在安装基板上，且各光源的射出方向朝向出光口设置，各光源均为光纤光源；匀光装置，设在安装基板与出光口之间，和/或设在出光口内。检测光源将各个光源设置在壳体的安装基板上，各光源内的光线沿出光口射出，各光线的射出角度均不同，沿着安装基板的径向方向分布，可以对曲面的晶圆的各表面进行均匀的照射，匀光装置可以将各光源出射的光线均匀化，实现晶圆的均匀检测；光源采用光纤光源，光纤光源在工作时不会产生热量，避免壳体内部热量过高而导致部件损坏。
- 一种检测光源系统
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