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[发明专利]成膜装置、制造系统、有机EL面板的制造系统、成膜方法及有机EL元件的制造方法-CN201910975564.X有效
发明人：高津和正;河野贵志 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2019-10-15 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及成膜装置、制造系统、有机EL面板的制造系统、成膜方法、以及有机EL元件的制造方法。在蒸镀装置中，为了提高蒸镀材料的利用效率和生产率，若在一个真空腔中设置多个蒸镀台，则为了确保更换基板时的作业空间，真空腔的容积变大，装置的成本增大。在直至对设置于第一蒸镀台(28)的成膜位置的未蒸镀的基板完成蒸镀为止的期间，使第二蒸镀台(32)的第二掩模支承部(25)下降到比蒸镀时低的位置，使用基板输送机构(33)将支承于第二基板支承部(24)的已蒸镀的基板更换为未蒸镀的基板，此后使第二掩模支承部(25)上升，将第二掩模(9)与未蒸镀的基板的相对位置对准，并将已对准的未蒸镀的基板设置于第二蒸镀台(32)的成膜位置。
装置制造系统有机 el 面板方法元件

[发明专利]成膜装置、输送方法、成膜方法及电子器件制造方法-CN202111642733.1在审
发明人： 河野贵志 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种能够适当地输送尺寸不同的输送体的串联型的成膜装置。成膜装置具备将输送体沿输送方向输送的输送机构、限制与所述输送方向交叉的宽度方向上的所述输送体的位置的引导部、使所述引导部沿所述宽度方向移动的引导部移动机构、以及取得与所述输送体的尺寸相关的尺寸信息的取得机构，基于由所述取得机构取得的所述尺寸信息，所述引导部移动机构变更所述引导部的位置。
装置输送方法电子器件制造

[发明专利]探针卡和接触检查装置-CN201680061723.X有效
发明人：吉冈哲也;河野贵志;牧瀬茂喜;那须美佳 -专利权人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司
申请日： 2016-10-13 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：为了在进行通电检查期间施加有高电流时，通过抑制探针的温度过度升高来降低探针的弹簧性能下降的风险并且改善通电检查的检查精度，根据本发明的探针卡(11)包括具有弹簧性能的探针(3)和保持该探针(3)的探针头(15)，其中探针头(15)具有以能够在轴向(Z)上移动的方式保持探针(3)的引导单元(27)，并且该引导单元(27)设置有中间引导部(57A、57B、57C)作为散热结构(29)，该散热结构(29)吸收探针(3)因通电而产生的热并且使该热流动到探针(3)的外部。
探针接触检查装置

[发明专利]真空成膜装置-CN201710549204.4有效
发明人： 河野贵志;石井博;佐藤智之 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2017-07-07 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种真空成膜装置，其能够以简易的结构抑制以真空槽的槽壁的变形为起因的基板与掩模之间的位置偏离。该真空成膜装置具备真空槽(1)、设置在该真空槽(1)内的基板支承体(3)及掩模支承体(5)、设置在真空槽(1)外且用于调整由基板支承体(3)支承的基板(2)与由掩模支承体(5)支承的掩模(4)的相对位置的对准机构(6)，其中具有第一固定构件(7)和第二固定构件(8)，该第一固定构件设置连接有基板支承体(3)的对准机构(6)且抵接固定于真空槽(1)的槽壁外表面，该第二固定构件设置掩模支承体(5)且抵接固定于真空槽(1)的槽壁内表面，第一固定构件(7)的与槽壁外表面抵接的抵接端部(9)和第二固定构件(8)的与槽壁内表面抵接的抵接端部(10)隔着槽壁设置在相对位置。
真空装置

[发明专利]成膜系统、磁性体部以及膜的制造方法-CN201611050493.5有效
发明人： 河野贵志;佐藤享;竹见崇 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2016-11-23 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供成膜系统、磁性体部以及膜的制造方法。形成了这样的成膜装置：不会产生膜质量不均且能够使掩模长期紧密贴合于基板，另外，能够以1个腔室应对多种掩模图案，而且，即使在改变掩模的情况下也无需更换磁铁等，不会导致装置成本升高且能够实现装置运转率的提高。一种成膜系统，其在利用配置于基板的与具有开口的掩模相反的一侧的磁铁将所述掩模向基板侧吸引的状态下在所述基板上形成膜，其中，在所述磁铁与所述基板之间设置有磁性体部，所述磁性体部使得与所述掩模的开口部对应的区域中的所述磁铁的磁力小于与所述掩模的非开口部对应的区域中的所述磁铁的磁力。
系统磁性以及制造方法

[发明专利]电极浆料制造装置和电极浆料制造方法-CN201310396077.0在审
发明人： 河野贵志 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2013-09-04 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： H01M4/133 文献下载
摘要：本发明涉及电极浆料制造装置和电极浆料制造方法。在通过利用两个旋转轴（21，22）的旋转混炼粉末和溶剂的混合物来制造电极浆料的电极浆料制造装置（1）中，壳体（10）的内部包括：注入区（30），粉末和溶剂被分别注入到所述注入区内且粉末和溶剂利用进给螺杆（31，32）的旋转向传送方向上的下游侧被传送；粗混区（40），在所述粗混区内通过利用5mm桨叶（41，42）的旋转不向粉末施加高剪切力而使粉末和溶剂混合，来生成混合物；和混炼区（50），在所述混炼区内通过利用1mm桨叶（61，62，73，74，83，84）的旋转向混合物施加比在粗混区（40）内施加的剪切力高的剪切力而混炼所述混合物。
电极浆料制造装置方法

[发明专利]制造非水电解质二次电池的方法，非水电解质二次电池和制造负极糊的方法-CN201310262885.8有效
发明人：杉原敦史;河野贵志;松田翼;和田直之;堤修司;桥本达也 -专利权人：丰田自动车株式会社;株式会社捷太格特
申请日： 2013-06-27 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： H01M4/13 文献下载
摘要：制造非水电解质二次电池的方法，其包括：对其上已吸附油的负极活性材料(2)、羧甲基纤维素(3)和水(4)的混合物施以硬捏合以制备初级捏合混合物(5)；用水稀释所述初级捏合混合物以制备浆料(6)；将粘结剂(7)添加到所述浆料中以制备负极糊(1)；将吸附在负极活性材料上的油的量限定为等于或大于50毫升且等于或小于62毫升/100克负极活性材料的值，其中所述油的量是当负极活性材料的粘度特性显示当将所述油滴定到负极活性材料上时产生的最大扭矩的70%时的量；和将羧甲基纤维素的1%水溶液粘度限定为等于或大于6000mPa·s且等于或小于8000mPa·s的值。
制造水电二次电池方法负极

[发明专利]非水电解质二次电池组及其生产方法-CN201310261173.4无效
发明人：杉原敦史;河野贵志;早稻田哲也;北吉雅则;松田翼;堤修司;和田直之 -专利权人：丰田自动车株式会社;株式会社捷太格特
申请日： 2013-06-27 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： H01M10/0525 文献下载
摘要：非水电解质二次电池组(1)包含阴极(9)的混合物层。混合物层含有羧甲基纤维素(3)。阴极中所含阴极活性材料(2a)的中值粒径(μm)和吸附于阴极活性材料上的羧甲基纤维素的重量(重量%)与阴极活性材料的重量之比的乘积为不小于2.2且不大于4.2。
水电二次电池组及其生产方法

[发明专利]分散装置-CN201210530089.3无效
发明人：深谷佳文;近藤善彦;河野贵志 -专利权人：株式会社捷太格特
申请日： 2012-12-10 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： B01F7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种能够可靠地对凸齿实施涂层的分散装置。对该分散装置而言，第一环状分散部件（150）的第一凸齿（152、153）的周向边缘面在突出方向全长倾斜地形成为在周向上相邻的第一凸齿（152、153）从齿根侧朝齿顶侧间隙宽度变大。进而，第二环状分散部件（160）的第二凸齿（161、162）的周向边缘面在突出方向全长倾斜地形成为在周向上相邻的第二凸齿（161、162）从齿根侧朝齿顶侧间隙宽度变大。
分散装置

[发明专利]混合分散装置-CN201210519666.9无效
发明人：深谷佳文;近藤善彦;河野贵志 -专利权人：株式会社捷太格特
申请日： 2012-12-06 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： B01F7/16 文献下载
摘要：本发明提供混合分散装置，能够抑制振动、噪音的产生，并且能够提高材料的吸入能力。混合分散装置具有：旋转叶片（130），其在流动性材料侧区域（E1）配置为能够旋转，将从径向内侧吸入的流动性材料朝径向外侧送出；以及引导部件（140），其具有将从旋转叶片（130）送出的流动性材料进一步朝径向外侧的混合区域增速地送出的流动性材料用引导通路（141），随着混合区域中的流动性材料的流通，将粉体侧区域（E2）中的粉体材料朝混合区域引导。并且，引导部件（140）沿与旋转叶片（130）的旋转方向相反的方向旋转。
混合分散装置

[发明专利]混合分散装置-CN201210530127.5无效
发明人：深谷佳文;近藤善彦;林正基;河野贵志 -专利权人：株式会社捷太格特
申请日： 2012-12-10 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： B01F1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种具有更高的分散能力的混合分散装置。该混合分散装置具备混合前旋转叶片（130）与混合后旋转叶片（150）。混合前旋转叶片（130）在流动性材料侧区域（E1）配置为能够旋转，将从径向内侧吸入的流动性材料朝隔板（120）的径向外侧的第一阶段混合区域（E3）输出，并且，将粉体侧区域（E2）的粉体材料朝第一阶段混合区域（E3）引导。混合后旋转叶片（150）配置于位于第一阶段混合区域（E3）的下游侧的与第一阶段混合区域（E3）在轴向上不同的第二阶段混合区域（E4），将从第一阶段混合区域（E3）流通到第二阶段混合区域（E4）的流动性材料及粉体材料的混合材料分散，并且朝径向外侧的排出口（113）输出。
混合分散装置

[发明专利]处理装置和处理方法-CN201210179200.9有效
发明人： 河野贵志 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2012-06-01 - 公布日： 2012-12-05 - 主分类号： B01F7/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种处理装置和处理方法。分散器（10）通过例如在处理期间或在处理完成之后向DLC-Si膜（30）补给水分（33）而在DLC-Si膜（30）的表面层上再生水分吸附层（32）。
处理装置方法

[发明专利]搅拌装置-CN200980162075.7有效
发明人：北吉雅则;惠比根美明;杉原敦史;小林极;河野贵志;中根靖幸;丸田兼州 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2009-10-23 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： B01F7/16 文献下载
摘要：搅拌装置(100)具有：大致圆筒形状的搅拌槽(102)；沿着搅拌槽(102)的中心轴设置的旋转轴(150)；大致圆筒形状的搅拌构件(104)，其具有比搅拌槽(102)的内径小的外径，以相对于搅拌槽(102)的内周面同心圆状地旋转的方式安装于旋转轴(150)；以及在搅拌构件(104)的半径方向上贯通形成的多个通孔(162、164)。该搅拌装置(100)进而搅拌槽(102)的内周面与搅拌构件(104)的外周面的间隙在搅拌构件(104)的上下方向上部分地不同。例如，搅拌槽(102)的内周面与搅拌构件(104)的外周面的间隙在搅拌构件(104)的下部(S2)比搅拌构件(104)的上部(S1)宽。
搅拌装置

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