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[发明专利]基板保持装置、静电吸盘以及基板保持方法-CN202211605993.6在审
发明人： 河合慈 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供通过使基板保持装置的静电吸盘成为与基板对应的结构来稳定地保持基板的基板保持装置、静电吸盘以及基板保持方法。本发明使用基板保持装置，该基板保持装置具备利用静电力吸引并保持基板的静电吸盘，其中，静电吸盘包括：第一部分，吸附基板的第一区域；以及第二部分，吸附基板中的导电膜的比率比第一区域高的第二区域，第一部分的每单位长度的电极的数量多于第二部分的每单位长度的电极的数量，第二部分中的电极的宽度相对于电极间间隔的比大于第一部分中的电极的宽度相对于电极间间隔的比。
保持装置静电吸盘以及方法

[发明专利]控制装置、成膜装置、控制方法及电子器件的制造方法-CN202210286083.X在审
发明人：泷泽毅;川畑奉代;河合慈 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2022-03-22 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及控制装置、成膜装置、控制方法及电子器件的制造方法，提供一种防止由基板的吸附不良及剥离不良导致的成膜处理的失败的技术。成膜装置的控制装置是具备静电吸盘、电压供给部件及测定部件的成膜装置的控制装置，所述静电吸盘包含多个吸附部并吸附基板，所述电压供给部件按各吸附部设置并对吸附部所具备的电极施加电压，所述测定部件按各吸附部设置并对吸附部所具备的电极与导体之间的静电电容进行测定，其特征在于，所述成膜装置的控制装置具备控制部件，所述控制部件基于测定部件的测定结果来控制由电压供给部件对多个吸附部的电极施加的电压。
控制装置方法电子器件制造

[发明专利]控制装置、成膜装置、基板吸附方法、计划设定方法及电子器件的制造方法-CN202210290302.1在审
发明人：泷泽毅;川畑奉代;河合慈 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明涉及控制装置、成膜装置、基板吸附方法、计划设定方法及电子器件的制造方法，提供一种抑制成膜精度的降低的技术。成膜装置的控制装置具备：静电吸盘，所述静电吸盘吸附基板；以及检测部件，所述检测部件检测由静电吸盘进行的对基板的吸附。控制装置具备：取得部件，所述取得部件取得检测部件的检测结果；以及电压控制部件，所述电压控制部件基于根据取得部件所取得的检测结果确定的由静电吸盘进行的对基板的吸附时间，设定静电吸盘的吸附电压。
控制装置吸附方法计划设定电子器件制造

[发明专利]成膜装置-CN202210174848.0在审
发明人： 河合慈;高桥宣之;富井广树;樱井克荣 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2022-02-25 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提供一种能够更适当地进行吸附板对基板的吸附的技术。成膜装置具备：将内部保持为真空的腔室；设置在腔室的内部并对基板进行吸附的吸附板(15)；以及设置在腔室的内部且具有在吸附板(15)的下方对基板(100)进行支承的多个基板载置部(62、63)的基板支承部(6)，所述成膜装置具备：对腔室的内部保持为真空的状态下的相对于吸附板(15)的多个基板载置部(62、63)的各自的高度进行检知的检知机构(801)；在腔室的内部保持为真空的状态下，基于检知机构(81)的检知结果，调节多个基板载置部(62、63)的各自的基板(100)的载置位置的调节机构(811)。
装置

[发明专利]成膜装置-CN202210177018.3在审
发明人： 河合慈;高桥宣之;富井广树;樱井克荣 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2022-02-25 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种能够谋求成膜精度的提高的成膜装置。该成膜装置的特征在于，具备：磁铁板(11)，其设置在腔室的内部，并产生用于向吸附板吸引掩模的磁力；板单元升降单元，其使磁铁板(11)升降；以及连接机构(1100)，其以使磁铁板(11)根据作用于磁铁板(11)的外力而进行转动及上下移动中的至少一方的方式将磁铁板(11)与板单元升降单元连接。
装置

[发明专利]成膜装置-CN202210175206.2在审
发明人： 河合慈;高桥宣之;富井广树;樱井克荣 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2022-02-25 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种能够容易地进行基板从吸附板的剥离的成膜装置。其特征在于，具备：检测基板(100)有无与吸附板(15)接触的触摸传感器(1621)；以及为了将基板(100)从吸附板(15)剥离而按压基板(15)的按压单元(150)，吸附板(15)具有供触摸传感器(1621)和按压单元(150)插通的贯通孔(155)。
装置

[发明专利]成膜装置-CN202210175012.2在审
发明人： 河合慈;高桥宣之;富井广树;樱井克荣 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2022-02-25 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供提高基板的吸附度的测定精度的成膜装置。成膜装置具备：腔室，将内部保持为真空；吸附板，设置在腔室的内部，用于吸附基板；检测部件，在铅垂方向上配置在吸附板的下方，检测基板向吸附板的吸附的程度；以及移动部件，使检测部件在沿着基板的被成膜面的第一方向上移动。
装置

[发明专利]自由装卸型的发电装置-CN201280013127.6有效
发明人：辰己良昭;河合慈;森山纮行;菅原利文 -专利权人：创意科技股份有限公司
申请日： 2012-03-14 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： H01L31/042 文献下载
摘要：提供一种自由装卸型的发电装置，能够简便地变更设置位置，能够有效地使用太阳能电池进行发电。本发明的自由装卸型的发电装置，具备薄膜状的太阳能电池和对设置场所的安装对象物自由装卸该薄膜状太阳能电池的装卸单元，该发电装置的特征在于：上述装卸单元由粘接薄膜或者静电吸盘构成，该粘接薄膜具有表现出范德华力而能够进行反复的粘接的装卸面，该静电吸盘通断连接到夹在两个绝缘层之间的吸附电极的电源，在至少一个绝缘层的表面自由地表现出静电吸附力，从而形成装卸面。
自由装卸发电装置

[发明专利]工件加热装置及工件处理装置-CN201180062765.2有效
发明人：辰己良昭;河合慈;天满康之;菅原利文 -专利权人：创意科技股份有限公司
申请日： 2011-12-20 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及一种工件加热装置及使用其的工件处理装置，能够通过高的均热性对工件进行加热，并且能够进行精细的温度控制，而且，能够防止卡盘部件的变形等，并能够长期可靠性良好地进行使用。一种工件加热装置，层叠卡盘部件和加热器部件，能够由加热器部件加热被吸附在卡盘部件侧的工件，该卡盘部件具有工件吸附用的工件吸附电极，该加热器部件具有工件加热用的发热体，其中，加热器部件在与卡盘部件相对的面和发热体之间具有吸附卡盘部件的卡盘吸附电极，而能够拆装地层叠卡盘部件和加热器部件，并将该工件加热装置载置在基础底座上。
工件加热装置处理

[发明专利]静电吸附构造体及其制造方法-CN201080028921.9有效
发明人：藤泽博;河合慈;辰己良昭 -专利权人：创意科技股份有限公司
申请日： 2010-06-29 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种电气地吸附被吸附物而使用的静电吸附构造体、并且在使用时紧固的一体构造被维持并在使用之后可以自由地变更构造体的结构的静电吸附构造体及其制造方法。具有在2个电介体之间夹入了电极的多个片部件、和至少1个吸附电源，层叠多个片部件并通过吸附电源向对向的片部件的电极之间施加电压，从而使对向的片部件之间电气地吸附固定，并且使被吸附物吸附到表面最外层或者背面最外层处的片部件中的某一方或者两方的最外层片部件的电介体而使用，在使用之后，如果解除施加电压，则可以使层叠了的片部件相互分离，并且，通过固定单元使多个片部件一边相互对位一边层叠，从而可靠地并且简便地得到这样的静电吸附构造体。
静电吸附构造及其制造方法

[发明专利]双面吸附结构体以及使用了它的展示/告示装置、集尘装置、以及植物育成装置-CN200980136276.X有效
发明人：辰己良昭;藤泽博;河合慈 -专利权人：创意科技股份有限公司
申请日： 2009-09-10 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： H02N13/00 文献下载
摘要：本发明提供一种双面吸附结构体，能够极为容易地反复使用，没有材料浪费等问题，而且也没有能量问题、并且能够应用于展示/告示装置、集尘装置等各种用途。该双面吸附结构体具备：静电吸盘部(2)，具有由绝缘材料形成为平板状且具有表背两面的电介质(3)、以及埋设于该电介质的内部的内部电极(4)，在对上述内部电极(4)施加了电压时上述电介质的表背两面分别成为吸附面；以及电源部(5)，对上述静电吸盘部(2)的内部电极施加电压，其中，上述电源部(5)具备太阳能电池(6)、和对由该太阳能电池(6)发出的电力进行升压的升压电路(7)。另外，本发明是具备使用该双面吸附结构体形成的展示/告示用的显示单元的展示/告示装置，本发明是具备使用该双面吸附结构体形成的集尘单元的集尘装置，而且本发明是使用该双面吸附结构体形成的植物育成装置。
双面吸附结构以及使用展示告示装置集尘植物育成

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