专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]切割、研磨硅片表面清洗设备-CN201120425923.3有效
  • 汪贵发;蒋建松 - 浙江光益硅业科技有限公司
  • 2011-11-01 - 2012-12-05 - H01L21/67
  • 本实用新型公开了一种切割、研磨硅片表面清洗的设备,包括硅片、硅片的承载体、依次清洗硅片及完成相应清洗步骤的工位,所述的工位包括设有水和鼓泡超声溢流漂洗的一工位的清洗槽、设有酸溶液和鼓泡中超声清洗的二工位的清洗槽等。本实用新型克服了酸与碱易产生中和反应的问题,使三工位和四工位的碱性清洗液PH值保持恒定,碱性清洗液的浓度保持稳定,碱性清洗液的去污能力持久有效。通过本实用新型方法清洗的切割、研磨硅片,其表面洁净度高,重复性好,色泽一致;避免产生花斑、发蓝、发黑等氧化现象,经清洗的硅片合格率高;同时,工艺规定的清洗量有效期内中途不需要添加清洗液,操作简单。
  • 切割研磨硅片表面清洗设备
  • [实用新型]一种工件体粘接工装-CN201120425921.4有效
  • 汪贵发;蒋建松 - 浙江光益硅业科技有限公司
  • 2011-11-01 - 2012-06-20 - B28D7/00
  • 本实用新型公开了一种工件体粘接工装,包括粘接台,粘接台上设有匀胶压力杆,所述的匀胶压力杆铰接于粘接台上可水平旋转,匀胶压力杆上设有连接销与下面可拆卸的压力连动板上所设的盲孔相配合。本实用新型方便对硅锭粘接面两侧面的防护胶带与渗溢出的胶一起撕拉清除,不会造成硅锭的移动,影响粘接质量,而导致在切割时产生掉片和掉棒问题,提高产品合格率,避免造成掉棒事故的发生和产品损失。
  • 一种工件体粘接工装
  • [实用新型]硅片表面抛光片-CN201120323694.4有效
  • 汪贵发;蒋建松 - 浙江光益硅业科技有限公司
  • 2011-08-31 - 2012-05-30 - B24B29/02
  • 本实用新型公开了一种硅片表面抛光片,包括大致呈盘状的弹性体,所述的弹性体盘面设有可随弹性体弹性弯折的磨料层,所述的盘状弹性体芯部设有盘面的固定体,所述的固定体中心设有安装孔。本实用新型通过在一盘状弹性体上设置磨料层构成一打磨抛光片,可通过手动或机动打磨消除硅片表面的损伤层,弹性体中心到边缘厚度渐趋薄可在使用过程中可形成阶梯或无极变化的预紧力,可避免因施力不当造成的硅片损坏,此外可以根据需要选配固定片,达到不同的弹性应力需要满足不同场合的需要;采用机械抛光,避免化学品污染环境及损害操作人员身心健康。
  • 硅片表面抛光
  • [实用新型]多线切割工件连接板结构-CN201120323764.6有效
  • 汪贵发;蒋建松 - 浙江光益硅业科技有限公司
  • 2011-08-31 - 2012-05-30 - B28D7/00
  • 本实用新型公开了一种多线切割工件连接板结构,包括粘接工件的工件连接板、连接工件连接板的燕尾座,所述的燕尾座上相应位置设有螺栓孔,工件连接板对应位置设有与螺栓孔内螺栓配合的螺孔,作为本实用新型的改进,所述的燕尾座螺栓孔上部设有防尘盖。本实用新型通过螺栓孔设置防尘盖,避免在生产加工中绿碳化硅微粉浆料溅射到螺栓孔,避免螺栓与绿碳化硅微粉浆料接触产生摩擦,过早损坏螺栓及工件连接板。本实用新型产品结构简单,操作方便,低价实用。
  • 切割工件连接板结
  • [实用新型]一种硅片表面损伤层去除装置-CN201120323549.6有效
  • 汪贵发;蒋建松 - 浙江光益硅业科技有限公司
  • 2011-08-31 - 2012-05-30 - B24B19/22
  • 本实用新型公开了一种硅片表面损伤层去除装置,作为本实用新型的改进,包括弹性固定体,所述的弹性固定体两端至中间渐厚,弹性固定体底面设有可随弹性固定体弹性弯折的磨料层。本实用新型通过在一弹性固定体上设置磨料层构成一机械打磨装置,可通过手动或机动打磨消除硅片表面的损伤层,两侧至中间渐厚的弹性固定体在使用过程中可形成阶梯或无极变化的预紧力,可避免因施力不当造成的硅片损坏和满足不同场合的需要。有益效果是通过可靠的机械打磨带体化学方法避免化学品污染环境及损害操作人员身心健康。
  • 一种硅片表面损伤去除装置
  • [实用新型]一种调胶、匀胶工装-CN201120324037.1有效
  • 汪贵发;蒋建松;吴汉民 - 浙江光益光能科技有限公司
  • 2011-08-31 - 2012-05-30 - B05C11/11
  • 本实用新型公开了一种调胶、匀胶工装,包括调胶、匀胶的载体,载体包括调胶、匀胶的金属板体和与金属板体配合的匀胶刀。本实用新型选用金属板体作为调胶的容器,板体与匀胶刀配合,即便于搅拌、搅匀,每次使用后将剩余的粘接剂用无尘纸擦抹干净可重复使用,使用安全、经济环保。弥补了现有技术在工件体粘接时普遍使用一次性涂蜡纸杯做调胶容器盛放粘接剂对粘接剂会造成污染,导致粘接剂的粘接性能降低的问题;通过对工件体粘接时的盛放粘接剂容器和调胶、匀胶工装进行改进,确保粘接剂不受污染,粘接剂的成分不遭到改变和破坏,粘接性能得到正常发挥。有效改善和消除粘接工件体在切割加工中掉片和掉棒的问题。
  • 一种工装
  • [实用新型]硅片内包装用插片-CN201120317168.7有效
  • 汪贵发;蒋建松;吴汉民 - 浙江光益光能科技有限公司
  • 2011-08-29 - 2012-05-30 - B65D81/05
  • 本实用新型公开了一种硅片内包装用插片,包括穿插于硅片之间的插片本体,作为本实用新型的改进,所述的插片本体边缘的两侧向内倾斜,构成一楔体。本实用新型通过将插片边缘设计成斜体,方便插片的插入;进一步的插片本体边缘包边,可防止插片边缘外翻划伤硅片,插片本体采用瓦楞纸,以强化插片本体的刚度。本实用新型产品,使用方便,造价低廉,保护硅片防损伤效果明显。
  • 硅片包装用插片
  • [实用新型]硅片承载花篮-CN201120323673.2有效
  • 汪贵发;蒋建松 - 浙江光益硅业科技有限公司
  • 2011-08-31 - 2012-05-09 - H01L21/673
  • 本实用新型公开了一种硅片承载花篮,包括设置于承载花篮上定位放置硅片的插槽,所述的插槽上端面外侧背向承载花篮延伸有防护边,承载花篮外侧、防护边构成一定位的阶梯面,所述的承载花篮内侧、防护边与插槽上端面设有光滑过渡面。本实用新型将承载花篮内侧、插槽上端面与防护边之间加设光滑过渡面,其有益效果是装载硅片的承载花篮在离心式甩干过程中,承载花篮防护边两侧的水在离心力的作用下由光滑过渡面回流,并被甩出,防止承载花篮上端面积水的产生,防止积水堆积在硅片上,本实用新型产品,不用提供离心速度,增加离心力,不用延长甩干时间,节约能源,可以彻底的消除硅片上的积水。
  • 硅片承载花篮
  • [实用新型]硅片多线切割工装-CN201120323638.0有效
  • 汪贵发;蒋建松 - 浙江光益硅业科技有限公司
  • 2011-08-31 - 2012-05-09 - B28D5/04
  • 本实用新型公开了一种硅片多线切割工装,包括粘接于工件连接板上的硅锭或硅棒,连接于工件连接板的燕尾座,作为本实用新型的改进,所述的硅锭或硅棒与线网切割线平行的两侧面均粘结有固定硅锭或硅棒的固定板,所述的固定板上端面连接于工件连接板上。本实用新型在粘接于工件连接板上硅锭或硅棒的两侧面粘接设置连接固定板,固定板顶端面固定连接于工件连接板,两固定板支撑加强硅锭或硅棒两侧面产生的硅片,有益效果是两固定板克服硅片的重力和缓冲线网的跳动力,有效防止硅片产生断片。
  • 硅片切割工装
  • [发明专利]切割、研磨硅片表面清洗方法-CN201110338662.6有效
  • 汪贵发;蒋建松 - 浙江光益硅业科技有限公司
  • 2011-11-01 - 2012-04-11 - H01L21/67
  • 本发明公开了一种切割、研磨硅片表面清洗方法,将硅片连同硅片的承载体依次浸入下述工位并完成相应的过程清洗:设有软化水和鼓泡的一工位清洗槽内超声溢流漂洗等,本发明克服了酸与碱易产生中和反应的问题,使三工位和四工位的碱性清洗液PH值保持恒定,碱性清洗液的浓度保持稳定,碱性清洗液的去污能力持久有效。通过本发明方法清洗的切割、研磨硅片,其表面洁净度高,重复性好,色泽一致;避免产生花斑、发蓝、发黑等氧化现象,经清洗的硅片合格率高;同时,工艺规定的清洗量有效期内中途不需要添加清洗液,操作简单,而清洗液的有效使用周期得到成倍提高,清洗成本明显降低;清洗质量和经济效益获得明显提高。
  • 切割研磨硅片表面清洗方法
  • [发明专利]切割、研磨硅片表面清洗设备-CN201110339672.1有效
  • 汪贵发;蒋建松 - 浙江光益硅业科技有限公司
  • 2011-11-01 - 2012-04-11 - H01L21/67
  • 本发明公开了一种切割、研磨硅片表面清洗的设备,包括硅片、硅片的承载体、依次清洗硅片及完成相应清洗步骤的工位,所述的工位包括设有水和鼓泡超声溢流漂洗的一工位的清洗槽、设有酸溶液和鼓泡中超声清洗的二工位的清洗槽等。本发明克服了酸与碱易产生中和反应的问题,使三工位和四工位的碱性清洗液PH值保持恒定,碱性清洗液的浓度保持稳定,碱性清洗液的去污能力持久有效。通过本发明方法清洗的切割、研磨硅片,其表面洁净度高,重复性好,色泽一致;避免产生花斑、发蓝、发黑等氧化现象,经清洗的硅片合格率高;同时,工艺规定的清洗量有效期内中途不需要添加清洗液,操作简单。
  • 切割研磨硅片表面清洗设备
  • [实用新型]单晶/多晶硅片多线切割自动脱胶装置-CN201120225232.9有效
  • 汪贵发;蒋建松 - 浙江光益硅业科技有限公司
  • 2011-06-29 - 2012-02-29 - B28D7/00
  • 本实用新型公开了一种单晶/多晶硅片多线切割自动脱胶装置,包括粘接于连接板上待脱胶的工件硅片,可容纳悬置工件硅片的承载框架,所述的承载框架包括底板、分别设置于前侧面、后侧面与定位工件硅片配合的挡板,所述的前侧面、后侧面的两挡板上设有间隔穿插于工件硅片间的定位插条,所述的连接板悬置于承载框架上,所述的粘接于连接板上待脱胶的工件硅片底部相对于底板悬空,所述的底板上铺设有工件硅片脱胶后下落的缓冲层。本实用新型自动脱胶装置,可完全消除人为因素的影响,方法可行,操作安全,且装置制作简单,应用方便,效果明显。
  • 多晶硅片切割自动脱胶装置
  • [实用新型]改善多线切割硅片入刀口处厚薄不均匀的装置-CN201120225234.8有效
  • 汪贵发;蒋建松 - 浙江光益硅业科技有限公司
  • 2011-06-29 - 2012-02-22 - B28D7/00
  • 本实用新型公开了一种改善多线切割硅片入刀口处厚度均匀性的装置,包括进给机构,设置于进给机构上的燕尾槽,固定工件的工件压块,通过粘胶剂粘接的工件、玻璃条、工件连接板,工件压块与工件连接板连接,若干插片,所述的若干插片之一或数个叠加插片设置于工件压块顶的一端或两端、位于工件压块顶端与燕尾槽顶壁之间,调节同组工件进给起始位置与线网面碰触的平行度和高度差相一致。本实用新型通过测量调整工件进给起始位置平行度,进一步的利用现有规格齐全的塞尺,对存在高低差的工件进给起始位置与线网碰触面作出精确的调整,达到并确保同组被切割工件进给起始位置与线网面碰触的平行度一致,有效改善多线切割硅片入刀口处厚薄不均匀的目的。
  • 改善切割硅片刀口厚薄不均匀装置

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