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[发明专利]一种不易结瘤的ITO溅射靶材及其制备方法-CN202010493265.5有效
发明人：张科;黄田奇;池铭浩;李强 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： C04B35/453 文献下载
摘要：本发明提供了一种不易结瘤的ITO溅射靶材及其制备方法，属于靶材制备技术领域。本发明提供的制备方法包括以下步骤：将脱脂后的ITO靶坯依次进行第一烧结和第二烧结，冷却后得到不易结瘤的ITO溅射靶材；所述第一烧结和第二烧结均在氧气通入的条件下进行；所述第一烧结的温度为1250～1350℃，保温时间为3～5h；所述第二烧结的过程包括：自第一烧结的温度开始升温，每升高100℃保温4～6h，在温度达到1600～1650℃后，保温6～10h。采用本发明方法制备的ITO溅射靶材，靶材致密，晶粒尺寸均匀，且无偏析，具有优异的抗结瘤性能。
一种不易 ito 溅射及其制备方法

[发明专利]一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法-CN202010493263.6有效
发明人：蔡小勇;张科;池铭浩;李强 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： C01G19/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法，属于ITO靶材制造技术领域。本发明将ITO靶材磨削废液进行固液分离，得到含ITO粉末的固体；将所述含ITO粉末的固体进行化学除油，得到ITO粉末和SiC粉末的混合粉末；将所述ITO粉末和SiC粉末的混合粉末在60～80℃的饱和蔗糖水溶液中进行比重分离，再将比重分离后的混合液进行固液分离，得到粗ITO粉末；将所述粗ITO粉末依次进行水洗和干燥，得到ITO粉末。上述方法执行起来十分方便快捷，同时整个过程不需要过于复杂的设备，耗能小，使用的化学药品毒性小，对环境污染小。
一种 ito 磨削废液回收粉末方法

[发明专利]一种从ITO蒸镀料切割废液中回收ITO粉末的方法-CN202010493269.3有效
发明人：蔡小勇;张科;池铭浩;李强 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： C01G19/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种从ITO蒸镀料切割废液中回收ITO粉末的方法，属于ITO蒸镀料制备技术领域。本发明将ITO蒸镀料切割废液进行固液分离，将所得固体依次在柴油和阴离子表面活性剂水溶液中浸泡洗涤后，得到初始粉末；将所述初始粉末进行碱煮，得到混合粉末；将所述混合粉末进行磁选，所述磁选剩余物即为ITO和SiC混合粉末；将所述ITO和SiC混合粉末在60～80℃的饱和蔗糖水溶液中进行比重分离，再将比重分离后的混合液进行固液分离，得到粗ITO粉末；将所述粗ITO粉末依次进行水洗和干燥，得到纯净的ITO粉末。本发明所提供的方法能够回收得到纯净的ITO粉末。
一种 ito 蒸镀料切割废液回收粉末方法

[发明专利]一种溅射靶材的去内应力校正方法-CN202010493074.9有效
发明人：张科;黄先彬;林晓明;池铭浩;李强 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： C22F3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种溅射靶材的去内应力校正方法，属于靶材制造领域。本发明通过预压使溅射靶材在冷却过程中不发生变形，再利用高频振动的方式释放靶材绑定过程中产生的残余应力，最后进行校直保压处理。相比于传统工艺中的直接保压方法，本发明的方法具有生产周期短、内应力消除率高、使用方便、易于实现机械化、自动化且成品率高的优点，具有显著的经济应用价值。
一种溅射内应力校正方法

[发明专利]一种铝靶材反溅膜的清理方法-CN202010512161.4在审
发明人：蔡小勇;张科;林晓明;黄先彬;池铭浩;李强 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2020-06-08 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： C23G1/20 文献下载
摘要：本发明属于靶材制造技术领域，特别涉及一种铝靶材反溅膜的清理方法。本发明提供的铝靶材反溅膜的清理方法，包括以下步骤：采用包裹材料包裹住未解绑铝靶材中的铝残靶面，得到待清理铝靶材；所述包裹材料不与碱液反应；所述未解绑铝靶材包括铝残靶和铜背板；将所述待清理铝靶材的铜背板一面与装载台接触，利用升降板将所述待清理铝靶材固定于装载台上；对所述待清理铝靶材的边缘依次进行碱液处理和水洗。本发明利用碱液与靶材周围的反溅膜发生反应，使铝和碱液形成可溶性产物排出，去除残留碱液，即可清理铜背板上的铝反溅膜，对铝残靶和铜背板无损伤。
一种铝靶材反溅膜清理方法

[发明专利]一种ITO蒸镀料及其制备方法-CN202010493048.6在审
发明人：黄田奇;张科;张瑜;林金发;池铭浩;李强 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： C04B35/457 文献下载
摘要：本发明提供了一种ITO蒸镀料及其制备方法，属于蒸发镀膜材料技术领域。本发明将铟锡氧化物四边形板材组装为四边形板材组装块体，然后平行于所述四边形板材组装块体的一对平行边对其从上到下进行第一多刀切割，然后平行于所述四边形板材组装块体的另一对平行边对其从上到下进行第二多刀切割，即可得到切割料，将该切割料加热后，热熔胶熔化，然后分离热熔胶，即可将大部分热熔胶去除，然后进行第一水洗、碱洗和第二水洗，得到纯净、且规格相同的蒸镀料。本发明将四边形板材组装为四边形板材组装块体，使得常用于切片和切粒的多刀切割技术可应用于ITO蒸镀料的制备，所得ITO蒸镀料的规格相同，且制备方法简单，具有较高的生产效率。
一种 ito 料及制备方法

[发明专利]一种细晶粒铝钪合金靶材及其制备方法和应用-CN201910439319.7有效
发明人：张科;陈钦忠;蔡小勇;池铭浩;吴荣祯 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及磁控溅射靶材制造技术领域，提供了一种细晶粒铝钪合金靶材及其制备方法。本发明首先将分散剂、粘结剂和水混合，得到预混液；然后将纳米级铝粉、纳米级钪粉和所述预混液混合后进行湿法球磨，得到铝钪合金靶材浆料；将所述铝钪合金靶材浆料注浆成型后，再将得到铝钪合金坯体依次进行脱脂和烧结，即得到本发明的细晶粒铝钪合金靶材。本发明提供的方法步骤简单，成本低，容易操作，所得铝钪合金靶材晶粒细小均匀，且氧含量低、密度大，适合用于微波通信系统相关器件的制备。
一种晶粒合金及其制备方法应用

[发明专利]一种铜背板水路的化学镀防护方法-CN201910690076.4在审
发明人：张科;陈钦忠;叶开满;池铭浩 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： C23C18/44 文献下载
摘要：本发明提供了一种铜背板水路的化学镀防护方法，属于靶材制备技术领域。本发明提供的铜背板水路的化学镀防护方法，包括以下步骤：先对铜背板水路进行除油处理；然后向所述除油处理后的铜背板水路通入镀液，进行氧化还原反应，在所述除油处理后的铜背板水路表面沉积形成镀层，经清洗、干燥，得到铜背板水路防护镀层；其中，所述镀液是循环流动的；所述镀液包括银盐、还原剂、络合剂、表面张力调节剂、有机溶剂和水。本发明提供的铜背板水路的化学镀防护方法能够在铜背板水路表面快速制备银镀层，提高铜背板的抗氧化性能和冷却性能。
铜背板水路化学镀防护除油镀液表面张力调节剂氧化还原反应制备技术领域抗氧化性能表面沉积防护镀层快速制备冷却性能循环流动有机溶剂还原剂络合剂银镀层靶材镀层银盐清洗

[发明专利]一种铜背板水路的电镀防护装置及方法-CN201910689301.2在审
发明人：张科;陈钦忠;叶开满;池铭浩 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： C25D7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种铜背板水路的电镀防护装置及方法，属于靶材制备技术领域，本发明提供的铜背板水路的电镀防护装置，包括铜背板、外水路管道，镀液槽和直流电源；所述铜背板内设置有铜背板水路，所述铜背板水路通过外水路管道与镀液槽相连形成循环水路系统；所述外水路管道上设置有循环水泵；所述镀液槽中设置有阳极，所述阳极与直流电源正极相连，所述铜背板与直流电源负极相连，形成电镀系统。本发明提供的电镀防护装置及方法能够在铜背板水路表面快速制备镀层，同时提高铜背板的抗氧化性能和冷却性能。
铜背板水路防护装置电镀水路管道镀液槽阳极循环水路系统直流电源负极直流电源正极制备技术领域抗氧化性能电镀系统快速制备冷却性能循环水泵直流电源靶材镀层

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