专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种蒸镀装置及蒸镀方法-CN202011100696.7在审
  • 李灿;池珉昊;李承皇;曹景博 - 合肥欣奕华智能机器有限公司
  • 2020-10-15 - 2022-04-19 - C23C14/04
  • 本发明涉及掩膜版蒸镀领域,公开一种蒸镀装置及蒸镀方法,该蒸镀装置,包括:蒸镀室;设置在蒸镀室内用于运送非透明基板的托架;非透明基板具有至少一个第一对位标识;设置在托架用于对第一对位标识加热的加热器;用于对朝向蒸发源的非透明基板进行遮挡的掩膜版,掩膜版具有与第一对位标识一一对应的第二对位标识;位于蒸镀室外部的红外热成像仪,红外热成像仪确定第一对位标识的位置和第二对位标识的位置的距离差;用于控制托架移动的对位平台,根据距离差以使位于托架上的非透明基板的第一对位标识与第二对位标识对位。使掩膜版与非透明基板准确对位,提高了产品良率,降低了生产制造成本。
  • 一种装置方法

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