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- [实用新型]一种立式液相外延炉-CN202223515927.8有效
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沈恒文;程宣林;王伟康;陈吕;吉双平
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江苏艾匹克半导体设备有限公司
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2022-12-28
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2023-06-13
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C30B19/00
- 本实用新型提供一种立式液相外延炉,涉及外延炉技术领域,包括外延炉机构,所述外延炉机构的顶部固定安装有密封机构,所述外延炉机构的外壁一侧固定安装有旋转机构。本实用新型中,第一电动伸缩杆在轴承的作用下,能够使其在固定板的内表壁之间进行转动,通过底部转动电机作为其转动的驱动力,随后第一电动伸缩杆通过自身的伸缩性,致使联动盘底部的多个吸盘,与工艺腔板内部的半导体晶相接触,随后与半导体晶相接触与之产生吸附,随后通过电动伸缩杆以及转动电机的驱动下,将晶体转送到外部的包装设备中,并且在此过程中,通过自动化的运行,能够有效避免人工与半导体晶相接触,对晶体外表壁污染的问题。
- 一种立式外延
- [实用新型]一种单片式外延炉-CN202223384284.8有效
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沈恒文;程宣林;金修领;高月华
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江苏艾匹克半导体设备有限公司
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2022-12-16
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2023-04-07
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C30B31/06
- 本实用新型提供一种单片式外延炉,涉及外延炉技术领域,包括外壳,所述外壳的上表面设置有升降组件,所述外壳的下表面设置有夹持组件;所述夹持组件包括矩形块,所述矩形块的下表面开设有安装槽,所述安装槽的内表面之间转动连接有双向丝杆,所述双向丝杆的右端面滑动贯穿安装槽的内表面并延伸至外侧,所述双向丝杆的右端面固定连接有第一把手。本实用新型中,转动第一把手,带动双向丝杆转动,从而同时使两个移动块移动,然后通过两个夹持块和挡板可以将不同大小的卤钨灯组加热器安装在矩形块的中心位置,通过卤钨灯组加热器对石英CVD反应腔的外部进行加热,从而减少氯化氢腐蚀时间,提升了工作效率。
- 一种单片外延
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