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[实用新型]一种阻抗匹配器器件-CN202020679289.5有效
发明人：刘锐;徐美前;孙鹏 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： H03H1/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及匹配器技术领域，具体为一种阻抗匹配器器件,包括陶瓷基板本体、散热板和设置在散热板顶部的铜板，陶瓷基板本体内部呈矩形设有若干螺旋电感，若干螺旋电感右端的顶部均设有电容器，电容器前侧设有无感电阻，本实用新型通过设置弧形板，弧形板底部高流速的风会产生一个吸力，热量受到吸力作用由流通槽散发出去，从而达到对陶瓷基板本体散热的目的，避免长时间的高温降低陶瓷基板本体使用寿命，通过设置连接座，连接座起到支撑作用，避免陶瓷基板本体与插槽直接接触，并通过滚轮降低移动时产生的摩擦力，从而防止氧化铝层受到磨损。
一种阻抗配器器件

[发明专利]一种RPS气体解离的漏气检测方法-CN202010352492.6在审
发明人：徐远波;刘锐;陈杰 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本发明提出一种RPS气体解离的漏气检测方法，包括：在反应腔内加工待加工工件；将所述反应腔设置在惰性气体中；向所述反应腔内通入氧气并点燃RPS气体，再检测所述反应腔内混合气体的发射光谱数据；至少多次稳定检测到代表气体的光谱大于参考值时判断反应腔漏气。本发明具有实时监测RPS气体解离时反应腔是否发生泄漏的能力，大大提高了检测的效率且降低了检测的难度，检测的实时性好，有效提高了RPS气体解离时的安全性。
一种 rps 气体解离漏气检测方法

[发明专利]一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法-CN202010351620.5在审
发明人：张超;刘锐;孙鹏 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： G01R27/26 文献下载
摘要：本发明提出一种基于S参数网络分析仪测量真空电容ESR和Q值的方法，该方法包括：将S参数网络分析仪的两测试端口通过传输线缆连接测试夹具；将待测真空电容的两端连接在所述测试夹具中的微带线与地线之间；测量待测真空电容在不同频率下的谐振频率及该谐振频率下的S21数值；根据待测真空电容在不同频率下的谐振频率及该谐振频率下的S21数值，计算输出该待测真空电容的ESR值和Q值。本发明所示方法首先利用S参数网络分析仪计算出真空电容在不同频率下的谐振频率及该谐振频率下的S21数值，再根据谐振频率、S21数值与ESR和Q值之间的关系可准确计算出ESR和Q值，具有测量结果准，测试过程简单方便的优点。
一种基于参数网络分析测量真空电容 esr 方法

[实用新型]误差检测器-CN201920334107.8有效
发明人：赵加佳;尹巧星;刘锐 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2019-03-17 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： G01R21/00 文献下载
摘要：本实用新型属于检测器领域，尤其是一种误差检测器，针对现有的差检测器在工作时会散热热量，目前的误差检测器上都会直接设置一个散热孔，但是无法做到在需要散热时能够自动打开散热孔，在不需要散热时能够自动关闭散热孔问题，现提出如下方案，其包括检测器本体，所述检测器本体的顶部固定安装有顶箱，检测器本体的顶部开设有第一孔，顶箱的底部开设有第二孔，第一孔和第二孔内固定安装有同一个导热棒，顶箱内滑动安装有平移板，平移板与顶箱的一侧内壁之间焊接有多个弹簧。本实用新型实用性好，能够在需要散热时能够自动打开散热孔，在不需要散热时能够自动关闭散热孔，智能化程度高，使用方便。
散热孔散热检测器本体顶箱检测器本实用新型误差检测器自动打开平移板滑动安装直接设置导热棒内固定智能化弹簧内壁焊接

[实用新型]射频电源数字控制器-CN201920334100.6有效
发明人：吴纪权;尹巧星;陈杰 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2019-03-17 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： F16M13/02 文献下载
摘要：本实用新型属于数字控制器领域，尤其是一种射频电源数字控制器，针对现有的射频电源数字控制器的防尘效果不好，空气中的灰尘等杂物容易粘结到数字控制器的外壁，影响数字控制器的正常使用，且数字控制器拆卸不便，不便于进行检修的问题，现提出如下方案，其包括防尘罩，防尘罩的后侧开设有多个排线孔，所述防尘罩内放置有数字控制器本体，防尘罩的两侧内壁上均滑动安装有夹板，两个夹板相互靠近的一侧分别与数字控制器本体的两侧相接触，本实用新型通过防尘罩便于对数字控制器本体进行防尘，同时不需要借助任何工具即可对数字控制器本体进行拆装，便于对数字控制器本体进行检修，结构简单，使用方便。
数字控制器防尘罩本实用新型夹板射频电源检修防尘效果滑动安装两侧内壁影响数字控制器排线孔防尘拆装外壁粘结拆卸杂物

[发明专利]基于等离子环境的射频电源测试系统及测试方法-CN201711443387.8有效
发明人：姚明旭;朱国俊;方毅 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2017-12-27 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： G01R31/40 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于等离子环境的射频电源测试系统及测试方法，该系统包括依次连接的匹配器、动态负载模拟器和等离子环境模拟设备。本发明提供的基于等离子环境的射频电源测试系统，能够建立与客户现场条件相似的等离子环境，能够基于等离子环境模拟客户现场的阻抗点；本发明提供的基于等离子环境的射频电源测试方法，能够通过模拟若干阻抗点验证射频电源在等离子环境下工作的性能及其可靠性并采集相关的数据，能够准确地验证电源的可靠性，澄清电源的故障，可以很好地满足实际应用的需要。
等离子环境射频电源测试系统测试阻抗电源验证模拟器动态负载模拟客户模拟设备现场条件依次连接匹配器澄清采集客户应用

[发明专利]一种射频电源的维修检测方法-CN201910200862.1在审
发明人：陈杰;刘锐;徐美前 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2019-03-17 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： G06Q10/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种射频电源的维修检测方法，具体包括以下步骤：1）预先对产品的外观进行检测；2）维修前需要对各个连接口进行检查和测试步骤；3）按照电源模块、放大模块、控制模块的三个模块化分解作业并进行各个模块中零部件损害的检测步骤；4）根据步骤3的检测结果自动生成报告并联系客户；5）依据客户要求进行维修；6）拆解维修产品作业步骤；7）根据需要维修的零部件搜索零配件供应方；8）获取需要维修的零部件，并进行组合维修；9）对电源模块、放大模块、控制模块的三个模块进行一一测试，符合要求后，跳入步骤10；否，跳入步骤7；10）对整机安装进行测试，符合要求后，制作维修报告，并进行保存，然后交机；否，跳入步骤7。本发明提高生产效率。
维修零部件电源模块放大模块控制模块射频电源维修检测测试模块化分解测试步骤检测结果客户要求生产效率维修报告维修产品整机安装自动生成作业步骤连接口检测拆解零配件搜索保存客户制作损害检查

[发明专利]多功能全自动匹配器-CN201910200852.8在审
发明人：尹巧星;刘锐;赵加佳 -专利权人： 江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2019-03-17 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： H03H7/38 文献下载
摘要：本发明属于匹配器技术领域，尤其是一种多功能全自动匹配器，针对现有的匹配器具有多个缺点，1、无法满足大功率使用环境，2、只有单一的两种工作模式，3、匹配速度慢，进而造成匹配器使用不便的问题，现提出如下方案，其包括控制台，所述控制台电性连接有射频电源、多功能自动匹配器、chamber控制室和其他辅助设备，其他辅助设备电性控制有气和水电，所述其他辅助设备和chamber控制室电性连接，所述射频电源和多功能自动匹配器电性连接，所述多功能自动匹配器和chamber控制室电性连接。本发明满足大功率使用环境，使用方便。
匹配器电性连接辅助设备自动匹配控制室控制台射频电源使用环境匹配电性控制工作模式使用不便器电性水电

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