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[发明专利]惯性传感器以及惯性测量模块-CN202310344809.5在审
发明人： 永田和幸 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：惯性传感器以及惯性测量模块。能够降低和抑制无用振动。惯性传感器包含：基板；相对于所述基板移位的可动体；以及衰减部，其使所述可动体相对于所述基板的移位衰减；所述衰减部具有：梳齿状的第1结构体，其包含基端与所述可动体连接的多个可动梳齿指；以及梳齿状的第2结构体，其包含基端与所述基板连接并与所述多个可动梳齿指交叉的多个固定梳齿指，所述可动梳齿指以及所述固定梳齿指各自的基端的宽度大于末端的宽度。
惯性传感器以及测量模块

[发明专利]惯性传感器、电子设备及移动体-CN202110187850.7有效
发明人： 永田和幸;田中悟 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2021-02-18 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明涉及惯性传感器、电子设备及移动体。该惯性传感器具备：基板；固定部，设置于基板；第一可动体，与基板相对，并能够以第一支承梁为第一旋转轴进行位移；第一支承梁，连接在第一方向上排列的第一可动体和固定部；第二可动体，能够因第二支承梁的变形而进行位移；第二支承梁，连接在与第一方向交叉的第二方向上排列的第一可动体和第二可动体；以及突起，设置于基板或第二可动体，在从第三方向俯视观察时，该突起与第二可动体重叠，并且朝向第二可动体或基板突出。
惯性传感器电子设备移动

[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体-CN202110418163.1有效
发明人： 永田和幸 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2021-04-19 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明提供惯性传感器、电子设备以及移动体，惯性传感器(1)具备基板(20)；固定电极(24、25)，配置于基板；元件部(30)，包括可动体(31)，该可动体能够相对于固定电极位移，并在第一部分(42)和与固定电极相对的第二部分(43)上具有电极；突起(23)，限制可动体的位移量，并在与可动体的第一部分对置的部分上具有检测电极(27)；驱动电路(68)，向元件部输出驱动信号；接触检测电路(80)，通过可动体的第一部分的电极与突起的检测电极接触而输出检测信号；自诊断电路，当从接触检测电路接收到检测信号时，向元件部输出测试信号；以及判定电路，判定元件部接收到测试信号后输出的信号的电平是否超过了阈值。
惯性传感器电子设备以及移动

[发明专利]物理量传感器及惯性测量装置-CN202211499133.9在审
发明人： 永田和幸 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：物理量传感器及惯性测量装置。能够避免由过度的冲击引起的不良情况。物理量传感器1检测第1方向(DR1)以及第2方向(DR2)中的至少一个方向的物理量。包括：固定电极部(20)，其设置于基板(2)；可动体(60)，其具有可动电极部(20)，可动电极部(20)设置成可动电极(26)与固定电极部(10)的固定电极(16)相对；固定部(40)，其固定于基板(2)；支承梁(42)，其一端与固定部(40)连接，另一端与可动体(60)连接；以及限制部(50)，其限制可动体(60)的移位。限制部(50)包括：第1部分(51)，其一端与可动体(60)连接，沿第1方向(DR1)延伸；和第2部分(52)，其一端与第1部分(51)的另一端连接，沿第2方向(DR2)延伸。
物理量传感器惯性测量装置

[发明专利]惯性传感器、电子设备及移动体-CN202010072227.2有效
发明人： 永田和幸 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2020-01-21 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明涉及惯性传感器、电子设备及移动体。在将彼此正交的三轴设为X轴、Y轴及Z轴时，惯性传感器具有基板、绕沿着所述Y轴的摆动轴摆动的可动体、支承所述可动体且固定于所述基板的固定部、以及固定于所述基板且通过与所述可动体接触来限制所述可动体绕所述Z轴进行旋转位移的挡块，所述挡块具有沿着所述Y轴与所述可动体相对且与所述摆动轴的分离距离为L1的第一挡块以及沿着所述Y轴与所述可动体相对且与所述摆动轴的分离距离为比所述L1短的L2的第二挡块，所述可动体在进行了所述旋转位移时，与所述第一挡块及所述第二挡块同时接触。
惯性传感器电子设备移动

[发明专利]惯性传感器以及惯性测量装置-CN202210508551.3在审
发明人： 永田和幸 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G01C19/5649 文献下载
摘要：本发明提供一种惯性传感器以及惯性测量装置，防止针对过度冲击的可动体的贴附。一种惯性传感器(1)，在将相互正交的三轴设为X轴、Y轴以及Z轴时，检测基于Z轴的位移的物理量，其中，所述惯性传感器具备：基板(10)；可动体(21)，固定于基板(10)，并绕沿着X轴的摆动轴(P)摆动，且具有相互对置的两个平面(21a、21b)和将它们之间连接的侧面(21c、21d)；以及限制部(19)，固定于基板(10)，并与可动体(21)的侧面(21c、21d)对置，可动体(21)在与限制部(19)对置的部分具备弹性部(25)。
惯性传感器以及测量装置

[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体-CN202010075194.7有效
发明人： 永田和幸 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2020-01-22 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：一种惯性传感器、电子设备以及移动体。在将相互正交的三轴作为X轴、Y轴以及Z轴时，惯性传感器具有：基板；可动体，绕沿着所述Y轴的摇动轴而摇动；固定部，固定于所述基板，用于支承所述可动体；以及止动件，固定于所述基板，通过与所述可动体接触来限制所述可动体的绕所述Z轴的旋转位移，在沿所述Z轴方向的俯视观察下，所述止动件与所述基板相接合的止动件接合区域位于将所述可动体在沿所述Y轴的方向上延长而得第一区域内，所述止动件的位于所述第一区域外的部分从所述基板分离。
惯性传感器电子设备以及移动

[发明专利]惯性传感器以及惯性测量装置-CN202110764282.2在审
发明人：泷泽照夫;永田和幸;田中悟;山崎成二 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： G01C19/5649 文献下载
摘要：本发明涉及惯性传感器和惯性测量装置。惯性传感器中，能够绕沿着第一方向的第一旋转轴摆动的第一可动体具有开口部，在开口部具有：第二可动体，能够绕沿着第二方向的第二旋转轴摆动；第二支承梁，作为第二旋转轴来支承第二可动体(38)；第三可动体，能够绕沿着上述第二方向的第三旋转轴摆动；以及第三支承梁，作为上述第三旋转轴来支承上述第三可动体，具有突起，上述突起设置于与第二可动体以及第三可动体对置的面或者第二可动体(38)以及第三可动体，并朝向第二可动体以及第三可动体或者面突出。
惯性传感器以及测量装置

[发明专利]物理量传感器、电子设备及移动体-CN202011180398.3在审
发明人： 永田和幸 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2020-10-29 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： G01C21/16 文献下载
摘要：本发明涉及物理量传感器、电子设备及移动体。通过检测静电电容的物理量传感器的感测区域，来降低存在于两块板的间隙的气体所产生的阻尼电阻。物理量传感器(1)具有：第一板(20)；以及隔着间隙(2)与第一板相对的第二板(10)，通过静电电容的变化来检测根据物理量而变化的第一板与第二板的间隙的感测区域(1A)设置于俯视观察时第一板与第二板重叠的区域内，第一板在感测区域设置有贯通孔(25)，第二板在俯视观察时第二板与第一板的贯通孔重叠的部分(10A)处，虚拟平面(P)至第二板的距离(H1)大于间隙的距离(H2)，该虚拟平面(P)在第一板的隔着间隙与第二板相对的面的同一平面内扩展。
物理量传感器电子设备移动

[发明专利]物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体-CN201811197971.4在审
发明人： 永田和幸;菊池尊行;金本启 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2019-04-23 - 主分类号： G01C21/16 文献下载
摘要：本发明提供物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体，能够减少相对于作为检测对象的物理量以外的物理量的影响，并能够高精度地检测作为检测对象的物理量。本发明的物理量传感器具备：基板；第一检测电极，具备第一电极指；第一弹簧，将所述第一检测电极支承为相对于所述基板能够沿第一方向位移；第二检测电极，具备在所述第一方向上与所述第一电极指隔开间隔而配置的第二电极指；以及第二弹簧，将所述第二检测电极支承为相对于所述基板能够沿所述第一方向位移，所述第一弹簧的所述第一方向上的弹簧常数与所述第二弹簧的所述第一方向上的弹簧常数相等。
物理量弹簧物理量传感器基板惯性测量装置弹簧常数第二检测第一电极电子设备方向位移检测电极检测对象移动体电极支承第二电极隔开间隔配置的相等检测

[发明专利]振子、振荡器、电子设备以及移动体-CN201410524540.X无效
发明人： 永田和幸;木原龙儿 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-10-08 - 公布日： 2015-04-29 - 主分类号： H03H9/19 文献下载
摘要：振子、振荡器、电子设备以及移动体。提供可靠性品质高、振动特性稳定且具有高Q值的振子。MEMS振子(100)具有基板(1)、配置在基板(1)上的基部(22)以及从基部(22)沿与基板的法线相交的方向延伸的多个振动部(24)，设在俯视时所述振动部的从所述基部延伸的方向上的长度为L、所述振动部的与从所述基部延伸的方向相交的方向上的长度为W时，所述振动部的尺寸比(L/W)满足0.2≤(L/W)≤7.0的关系。
振荡器电子设备以及移动

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