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[发明专利]一种缺陷检测系统、检测方法及电子束扫描机台-CN201910386157.5有效
发明人：胡向华;欧阳余庆;何广智;顾晓芳;倪棋梁 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2019-05-09 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： G01N23/2251 文献下载
摘要：本发明提供了一种缺陷检测系统、检测方法及电子束扫描机台，该缺陷检测系统包括光源部件；检测部件，包括光斑选择板，光斑选择板上设有通孔，通孔的宽度沿第一方向逐渐递增或逐渐递减，光斑选择板能够沿第一方向移动，光线与第一方向垂直且光线的至少一部分能够穿过通孔；驱动部件，用于驱动检测部件沿第二方向移动，第二方向与第一方向垂直；接收部件，用于接收穿过通孔的光线并将接收的光线转化为光斑数字图像；以及处理器，用于接收光斑数字图像，并根据光斑数字图像确定与光斑数字图像对应的高度尺寸。本发明提供的缺陷检测系统结构简单、操作方便，利用不同的光斑数字图像对应不同的高度尺寸，快速实现对样品表面缺陷的高度或深度的检测。
一种缺陷检测系统方法电子束扫描机台

[发明专利]晶圆缺陷光学照片实时采集系统及采集方法-CN201811607199.9在审
发明人：胡向华;欧阳余庆;何广智;顾晓芳;倪棋梁;龙吟;陈宏璘 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆缺陷光学照片实时采集系统,所述系统为晶圆缺陷扫描机台，用于对晶圆在制造工艺中产生的各种缺陷进行扫描检测；缺陷数据分析系统，所述缺陷数据分析系统内嵌到所述晶圆缺陷扫描机台，能与晶圆缺陷扫描系统进行实时数据交换；光学图像采集系统，所述光学图像采集系统由晶圆缺陷系统控制，对当前检测中的晶圆进行光学图像信息的采集。本发明实现对扫描晶圆结果进行实时分析判断，并反馈给扫描机台进行光学拍照功能的可控操作，达到异常制品的实时光学照片收集，利于紧急问题的及时处置。
晶圆缺陷扫描机台晶圆光学图像采集系统实时采集系统分析系统光学照片缺陷数据采集光学图像信息实时数据交换拍照功能扫描检测扫描系统实时分析实时光学系统控制制造工艺可控内嵌种晶扫描反馈检测

[发明专利]一种5-苯基-1-（4-甲氧基苯基）-1H-四氮唑的制备方法-CN201610361635.3有效
发明人：赵圣印;欧阳余庆 -专利权人：东华大学
申请日： 2016-05-26 - 公布日： 2018-10-23 - 主分类号： C07D257/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种5‑苯基‑1‑(4‑甲氧基苯基)‑1H‑四氮唑的制备方法，包括：(1)将4‑甲氧基苯胺、水和氟硼酸水溶液混合，然后在0～5℃搅拌下滴加亚硝酸钠水溶液，滴加完毕升至室温，继续搅拌反应1～2h，抽滤，得到4‑甲氧基苯基重氮四氟硼酸盐；(2)在‑5℃～5℃将5‑苯基‑1H‑四氮唑、碱、铜盐催化剂和溶剂搅拌混合，然后分批加入4‑甲氧基苯基重氮四氟硼酸盐，在‑5℃～室温搅拌下反应6～8h，反应完成后萃取、干燥、蒸去溶剂、重结晶，即得。本发明以铜盐为催化剂，缩短了反应时间，同时提高了收率；制备方法起始原料易得，成本低，反应操作简单，反应路线短，易于工业化生产，具有良好的应用前景。
一种苯基甲氧基四氮唑制备方法

[发明专利]一种2-苯基-1;1-二氧-1;2-苯并异噻唑-3(2H)-酮的制备方法-CN201610361604.8有效
发明人：赵圣印;欧阳余庆 -专利权人：东华大学
申请日： 2016-05-26 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： C07D275/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种2‑苯基‑1,1‑二氧‑1,2‑苯并异噻唑‑3(2H)‑酮的制备方法，包括：(1)将苯胺、水和氟硼酸水溶液混合，然后在0～5℃搅拌下滴加亚硝酸钠水溶液，滴加完毕升至室温，继续搅拌反应1～2h，抽滤，得到苯基重氮四氟硼酸盐；(2)在‑5℃～5℃将1,1‑二氧‑1,2‑苯并异噻唑‑3(2H)‑酮、碱、铜盐催化剂和溶剂搅拌混合，然后分批加入苯基重氮四氟硼酸盐，在‑5℃～室温搅拌下反应6～8h，反应完成后萃取、干燥、蒸去溶剂、重结晶，即得。本发明以铜盐为催化剂，缩短了反应时间，同时提高了收率；制备方法起始原料易得，成本低，反应操作简单，反应路线短，易于工业化生产，具有良好的应用前景。
苯并异噻唑制备四氟硼酸盐苯基重氮苯基滴加亚硝酸钠水溶液氟硼酸水溶液铜盐催化剂反应操作反应路线搅拌反应起始原料溶剂搅拌室温搅拌重结晶溶剂苯胺抽滤收率铜盐萃取催化剂应用

[发明专利]一种1‑（3‑溴苯基）‑1H‑四氮唑的制备方法-CN201610361421.6有效
发明人：赵圣印;欧阳余庆 -专利权人：东华大学
申请日： 2016-05-26 - 公布日： 2018-04-20 - 主分类号： C07D257/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种1‑(3‑溴苯基)‑1H‑四氮唑的制备方法，包括(1)将3‑溴苯胺、水和氟硼酸水溶液混合，然后在0～5℃搅拌下滴加亚硝酸钠水溶液，滴加完毕升至室温，继续搅拌反应1～2h，抽滤，得到3‑溴苯基重氮四氟硼酸盐；(2)在‑5℃～5℃将1H‑四氮唑、碱、铜盐催化剂和溶剂搅拌混合，然后分批加入3‑溴苯基重氮四氟硼酸盐，在‑5℃～室温搅拌下反应6～8h，反应完成后萃取、干燥、蒸去溶剂、重结晶，即得。本发明以铜盐为催化剂，缩短了反应时间，同时提高了收率；制备方法起始原料易得，成本低，反应操作简单，反应路线短，易于工业化生产，具有良好的应用前景。
一种苯基四氮唑制备方法

[发明专利]一种1,3‑二甲基‑5‑苯基尿嘧啶的制备方法-CN201610626068.X在审
发明人：赵圣印;欧阳余庆 -专利权人：东华大学
申请日： 2016-08-02 - 公布日： 2017-01-25 - 主分类号： C07D239/54 文献下载
摘要：本发明涉及一种1,3‑二甲基‑5‑苯基尿嘧啶的制备方法，包括将苯胺、水和氟硼酸水溶液混合，在0～5℃搅拌下滴加亚硝酸钠的水溶液，维持温度在0～5℃，搅拌1～2h，抽滤，得到苯基重氮四氟硼酸盐；室温下，将1,3‑二甲基尿嘧啶、铜盐催化剂加入溶剂中搅拌混合，然后分批加入苯基重氮四氟硼酸盐，加入完毕后，在室温搅拌反应8‑12h，分离提纯，得到1,3‑二甲基‑5‑苯基尿嘧啶。本发明的制备方法操作简单，反应路线短，节省了反应时间，产率高，适于工业化生产。
一种甲基苯基嘧啶制备方法