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[发明专利]深沟槽的填充方法-CN202310798335.1在审
发明人：朱朕;金立培;陈辰;侯照海;樊帅奇;李明明 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/762 文献下载
摘要：本申请公开了一种深沟槽的填充方法，包括：在衬底中形成深沟槽，深沟槽的深度和宽度的比值大于4；在衬底和深沟槽表面形成第一氧化物层；对第一氧化物层进行等离子体处理，对深沟槽开口处的第一氧化物层进行修饰；在第一氧化物层的表面形成第二氧化物层；对第二氧化物层进行等离子体处理，对深沟槽开口处的第二氧化物层进行修饰；重复上述步骤，直至深沟槽中的多层氧化物层的厚度达到目标厚度；在深沟槽中填充多晶硅层。本申请通过在SGT MOS器件的制作过程中，在衬底中形成深沟槽后，通过生长多层氧化物层，每生长一层氧化物层后进行等离子体处理，对深沟槽开口处的氧化物层进行修饰，从而能够在一定程度上避免收口现象，提高了器件的可靠性和良率。
深沟填充方法

[实用新型]一种中罗拉摇臂轴的轴承结构-CN202320912690.2有效
发明人：樊团伟;樊花卫;马伟涛;樊帅奇;王晓燕 -专利权人：平顶山市昌茂纺织有限责任公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： D01H5/70 文献下载
摘要：本申请提供一种中罗拉摇臂轴的轴承结构，包括壳体、定位筒以及轴承，壳体上开设有轴承槽，轴承槽的周面设有滑槽，滑槽与轴承槽之间设有插接口；定位筒旋合于壳体上方，且定位筒的内腔与滑槽导通；轴承套接于中罗拉摇臂轴上，且轴承的周面设有卡接于滑槽内的定位杆，定位杆插接于定位筒的内腔。本申请通过对现有中罗拉摇臂轴的轴承进行优化改进，增设了可转动的定位筒，能够在滑槽内实现与定位杆的插接配合，从而实现将轴承锁定在轴承槽内，提高了轴承在轴承槽内拆装的便携性。
一种罗拉摇臂轴承结构

[发明专利]一种激光熔覆产品缺陷修复方法-CN202210396114.7在审
发明人：成富安;李英霞;李平;胡雪花;李欣然;樊帅奇 -专利权人：焦作市广成液压机械制造有限公司
申请日： 2022-04-14 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： C23F11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光熔覆产品缺陷修复方法，首先将加工后的激光熔覆工件进行清洗，然后置于盛放有防锈溶液的超声容器中，使防锈溶液全部浸没激光熔覆工件，通电，超声波发生器工作，使防锈溶液中的防锈剂沉入到激光熔覆工件的缺陷处，待修复工作完成，取出工件晾干，抛光去除激光熔覆产品大表面上的防锈剂，得到修复的激光熔覆产品的产成品。本发明基本可以完美的解决激光熔覆产品的防腐缺陷。
一种激光产品缺陷修复方法

[实用新型]一种方便更换的激光粉末送粉工作喷头-CN202122194999.6有效
发明人：成富安;李平;樊帅奇;李欣然;李英霞 -专利权人：焦作市广成液压机械制造有限公司
申请日： 2021-09-11 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： B22F12/53 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种方便更换的激光粉末送粉工作喷头，包括喷头主体，所述喷头主体上设置有纵向贯穿喷头主体的激光通道、送粉通道；所述喷头主体呈倒置的锥形状；所述激光通道沿喷头主体中心线的位置垂直贯穿喷头主体；所述送粉通道有若干个，若干个送粉通道均设置在激光通道外周且若干个送粉通道沿喷头主体的圆周方向等间距设置，送粉通道的轴线呈倾斜状设置且送粉通道的轴线与激光通道的轴线相交；所述送粉通道包括落料部、出料部，落料部位于出料部上方，落料部底端与出料部顶端相连通，出料部底端贯穿喷头主体底端端面；送粉通道内嵌接有进料套，进料套的外径与送粉通道的内径相适配。
一种方便更换激光粉末工作喷头

[实用新型]一种高效能激光粉末送粉工作喷头-CN202122151641.5有效
发明人：成富安;李平;李欣然;樊帅奇;李英霞 -专利权人：焦作市广成液压机械制造有限公司
申请日： 2021-09-07 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： B22F12/53 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效能激光粉末送粉工作喷头，包括喷头主体，所述喷头主体上设置有纵向贯穿喷头主体的激光通道、送粉通道；激光通道与送粉通道相对独立设置；所述喷头主体呈倒置的锥形状；所述激光通道沿喷头主体中心线的位置垂直贯穿喷头主体；所述送粉通道有若干个，若干个送粉通道均设置在激光通道外周且若干个送粉通道沿喷头主体的圆周方向等间距设置，送粉通道的轴线呈倾斜状设置且送粉通道的轴线与激光通道的轴线相交，送粉通道底端与激光通道底端相齐平，送粉通道底端与激光通道底端相连通。
一种高效能激光粉末工作喷头