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- [发明专利]检测机构和晶圆测试方法-CN202310736720.3在审
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钟树;梁延培;钟玉;张会战;谢刚刚;陈勇
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上海利扬创芯片测试有限公司
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2023-06-20
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2023-09-29
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G01R31/28
- 本发明公开了检测机构和晶圆测试方法，该检测机构用于检测晶圆，晶圆设有若干待测芯片，其包括检测装置、路径生成模块和移动块，检测装置包括探针、PCB和检测器，PCB固定探针，探针恒抵接芯片，检测器电连接探针，以采集所有芯片的输出信号，路径生成模块用于识别所有待测芯片的位置和尺寸，并生成最佳行进路径,最佳行进路径对应PCB的形变量最小的路径，移动块用于承载晶圆，加热件设于移动块内，以加热晶圆和PCB，移动块受驱以沿最佳行进路径行驶。本发明的路径生成模块可以生成最佳行进路径，晶圆沿最佳行进路径移动时，加热件对PCB和卡盘均匀加热，减少了PCB的形变量，解决了检测时探针扎入晶圆的深度明显增加以致易破坏晶圆上的芯片的问题。
- 检测机构测试方法
- [实用新型]一种晶圆位置检测装置-CN202320664547.6有效
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钟树;谢刚刚;梁延培;陶锋;陈勇;郑朝生
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上海芯丑半导体设备有限公司
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2023-03-29
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2023-09-29
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H01L21/67
- 本申请涉及晶圆测试设备技术领域，公开了一种晶圆位置检测装置，包括机器视觉识别系统，机器视觉识别系统用于识别晶圆上的批号信息；晶圆识别系统，晶圆识别系统用于识别晶舟固定位上是否容置有晶圆；信息处理系统，信息处理系统连接于机器视觉识别系统和晶圆识别系统，信息处理系统用于储存机器视觉识别系统产生的信息以及晶圆识别系统产生的信息。该晶圆位置检测装置，通过设置机器视觉识别系统对晶圆上的批号信息进行识别读取，再利用晶圆识别系统识别晶舟上每个固定位上是否存在晶圆，利用信息处理系统将晶圆的批号与晶舟固定位的编号对应，完成了晶圆位置信息的确认，信息确认过程迅速，解决了人工确认晶圆位置信息导致确认效率低的问题。
- 一种位置检测装置
- [实用新型]芯片测试机的调整机构-CN202221958371.7有效
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钟树;谢刚刚;陈勇;梁延培;袁刚;郑朝生
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广东利扬芯片测试股份有限公司
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2022-07-27
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2022-12-20
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G01R31/28
- 本实用新型公开了一种芯片测试机的调整机构，用于调节芯片测试机的位置，包括立柱、夹持装置和移位装置，夹持装置可竖向移动地设置于立柱，夹持装置用于夹持芯片测试机并被配置为可相对立柱竖向摆动以调整夹持于夹持装置的芯片测试机的角度；移位装置设于立柱的底端以对调整机构进行移位；本实用新型中，调整机构通过夹持装置夹持芯片测试机，由于夹持装置可竖向移动地设置于立柱，能够移动芯片测试机的竖向位置，而由于夹持装置能够相对立柱竖向摆动，从而能够调整芯片测试机的角度以对准测试晶圆，移位装置能够将调整机构移动至所需位置，从而能够灵活调节芯片测试机的角度和位置，降低了工作人员调整芯片测试机角度和位置的难度并提高了效率。
- 芯片测试调整机构
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