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[发明专利]成像透镜-CN202011190701.8有效
发明人：上原诚 -专利权人： 株式会社目白67
申请日： 2020-10-30 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： G02B13/02 文献下载
摘要：本发明提供一种具有高分辨率的成像透镜。成像透镜(10)从物体侧依次具有反望远型透镜组(20)和伽利略型透镜组(30)，反望远型透镜组从物体侧依次具有具备凸面朝向物体侧的弯月形状的透镜的第一单元(21)和包含光阑的第二单元(22)，伽利略型透镜组从物体侧依次具有具备正折射力的正透镜单元(31)和具备负折射力的负透镜单元(32)。
成像透镜

[发明专利]检查装置-CN201811122124.1在审
发明人：上原诚 -专利权人： 株式会社目白67
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： G02B17/06 文献下载
摘要：本发明的主题在于提供一种能够高速地检查物体表面的三维形状的检查装置。本发明提供的检查装置10具备：线图像传感器20，接收来自物体表面S的光；以及等倍反射型成像光学系统30，使来自物体表面S的光在线图像传感器20上成像。等倍反射型成像光学系统30包含凹面主镜32、凸面副镜34、以及提取平面镜36。来自物体表面S的光束按照凹面主镜32、凸面副镜34、凹面主镜32的顺序被反射后，经由提取平面镜36在线图像传感器20成像。
物体表面凹面主镜检查装置成像光学系统在线图像反射型平面镜传感器副镜凸面成像线图像传感器三维形状反射检查

[发明专利]椭偏仪-CN201680075955.0在审
发明人：上原诚 -专利权人： 株式会社目白67
申请日： 2016-11-30 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： G01J4/04 文献下载
摘要：本发明提供一种椭偏仪，目的是在用于使来自物体面的反射光成像的成像光学系统中使用等倍反射型成像光学系统的椭偏仪中，改善椭偏仪的性能。椭偏仪(100)具备用于使来自物体表面的反射光的光束在受光面成像的成像光学系统(30)。成像光学系统(30)由包含凹面主镜(32)和凸面副镜(34)在内的等倍反射型成像光学系统构成。来自物体表面的反射光的光束按照凹面主镜(32)、凸面副镜(34)、凹面主镜(32)的顺序反射后在受光面(40)成像。等倍反射型成像光学系统包含第一检偏镜(50)和第二检偏镜(52)。第一检偏镜(50)和第二检偏镜(52)由在X轴方向和Y轴方向具有相同折射率的偏振光元件构成。
成像光学系统检偏镜椭偏仪凹面主镜反射型物体表面反射光受光面副镜凸面成像反射光成像偏振光元件顺序反射折射率

[发明专利]观察装置-CN201680050985.6在审
发明人：上原诚 -专利权人： 株式会社目白67
申请日： 2016-06-23 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： G02B17/08 文献下载
摘要：本发明解决在椭圆偏振计等观察装置中，由等倍反射式成像光学系统成像的像的像差变大的问题。椭圆偏振计(100)具备成像光学系统(30)，该成像光学系统(30)用于使来自物体表面(S)的反射光的光束成像于受光面(40)。成像光学系统(30)包括凹面主镜(32)、凸面副镜(34)以及抽出式平面镜(36)。成像光学系统(30)由等倍反射式成像光学系统构成，该等倍反射式成像光学系统能够使来自物体表面(S)的反射光的光束按照凹面主镜(32)、凸面副镜(34)、凹面主镜(32)的顺序反射之后，经由抽出式平面镜(36)而成像于受光面(40)。凸面副镜(34)为背面镜。
观察装置

[发明专利]观察装置-CN201580075384.6在审
发明人：上原诚 -专利权人： 株式会社目白67
申请日： 2015-07-17 - 公布日： 2017-09-26 - 主分类号： G02B17/08 文献下载
摘要：本发明提供的观察装置，能够以10微米以下的分辨率并且超过45度的较大倾斜角来观察例如24.6×24.6mm左右的物体面。观察装置(10)具备感光面(20)和使来自物体面S的光在感光面(20)成像的成像光学系统(30)。成像光学系统(30)包括凹面主镜(32)、副镜(34)以及引出平面镜(36)。来自物体面(S)的光的光束按照凹面主镜(32)、凸面副镜(34)、凹面主镜(32)的顺序反射后，经由引出平面镜(36)而在感光面(20)成像。观察装置(10)具备第一倾转单元，其能够使从物体面(S)朝向凹面主镜(32)的光的光轴(L1)与物体面(S)的垂线(N1)所成的角度(α)变化；第二倾转单元，其能够使从引出平面镜(36)朝向感光面(20)的光的光轴(L2)与感光面(20)的垂线(N2)所成的角度(β)变化。
观察装置