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[发明专利]叶片泵-CN202180017420.9有效
发明人：铃木一成;矢加部新司;栗田裕介;进藤翔太 -专利权人： KYB株式会社
申请日： 2021-04-19 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： F04C2/344 文献下载
摘要：一种叶片泵(100)，具备：转子(2)，其与驱动轴(1)连结；多个叶片(3)，其被设置成相对于转子(2)而能够在径向上自由往复移动；凸轮环(4)，其具有内周面(4a)，在内周面(4a)上，叶片(3)的顶端伴随着转子(2)的旋转而滑动；泵室(6)，其由转子(2)、凸轮环(4)、和一对相邻的叶片(3)划分；吸入端口(11)，其向泵室(6)引导工作油；喷出端口(12)，其对从泵室(6)被喷出的工作油进行引导；凹口(20)，其从吸入端口(11)的开口缘部朝向与转子(2)的旋转方向相反的方向而被形成，泵室(6)在伴随着转子(2)的旋转从与喷出端口(12)连通的状态起切断与喷出端口(12)的连通的过程中，经由凹口(20)而与吸入端口(11)连通。
叶片泵

[发明专利]图案化方法、光刻装置和物品制造方法-CN202111042107.9在审
发明人：吉冈泰智;栗田裕介;铃木徹;岩越守孝;川田大蔵;冈積弘典;唐木俊介;桥本隆行 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2018-08-30 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了图案化方法、光刻装置和物品制造方法。光刻装置检测关于要在光刻装置中通过使用第一原版执行图案化的一部分压射区域布置的多个第一基板侧标记，并且检测关于要在另一光刻装置中通过使用与第一原版不同的第二原版执行图案化的与所述一部分压射区域不同的其它压射区域布置的多个第二基板侧标记。光刻装置输出关于所述多个第二基板侧标记的检测结果的信息以使得可用于其它光刻装置。然后，基于多个第一基板侧标记的检测结果，光刻装置在执行第一原版关于所述一部分压射区域的对准的同时执行图案化。
图案方法光刻装置物品制造

[发明专利]形成方法、形成装置以及物品的制造方法-CN202080014196.3在审
发明人：稻村咏史;川上武人;米田慎吾;栗田裕介;今野悠;白尾纮祥 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2020-01-09 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种形成方法，使用第1装置和第2装置在基板上的1个层形成图案，针对每个基板进行包括以下工序的处理：标记形成工序，利用所述第1装置在基板上形成标记；第1形成工序，利用所述第1装置在基板上形成第1图案；以及第2形成工序，利用所述第2装置在基板上形成第2图案，作为所述处理的模式，包括：第1模式，进行用所述第1装置测量所述标记的位置的测量工序，根据该测量工序的测量结果，控制所述第2图案的形成；以及第2模式，省略所述测量工序，根据上次的测量工序的测量结果，控制所述第2图案的形成。
形成方法装置以及物品制造

[发明专利]图案化方法、光刻装置和物品制造方法-CN201810998752.X有效
发明人：吉冈泰智;栗田裕介;铃木徹;岩越守孝;川田大蔵;冈積弘典;唐木俊介;桥本隆行 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2018-08-30 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及图案化方法、光刻装置和物品制造方法。光刻装置检测关于要在光刻装置中通过使用第一原版执行图案化的一部分压射区域布置的多个第一基板侧标记，并且检测关于要在另一光刻装置中通过使用与第一原版不同的第二原版执行图案化的与所述一部分压射区域不同的其它压射区域布置的多个第二基板侧标记。光刻装置输出关于所述多个第二基板侧标记的检测结果的信息以使得可用于其它光刻装置。然后，基于多个第一基板侧标记的检测结果，光刻装置在执行第一原版关于所述一部分压射区域的对准的同时执行图案化。
图案方法光刻装置物品制造