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[发明专利]一种金刚石晶片及贴片方法-CN202310684551.3在审
发明人：陆静;辛永康;李泽森;陈凯;罗求发;柯聪明 -专利权人：华侨大学
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C30B33/06 文献下载
摘要：本发明提供一种金刚石晶片及贴片方法，该贴片方法包括以下步骤：将纤维与融于水的溴化钾搅拌混合，填料入磨具中，压平成片，得到纤维溴化钾片；将所述纤维溴化钾片放入磨具中压制出多个镂空孔洞，得到镂空纤维溴化钾片；将金刚石衬底放置在水平平台上，然后将镂空纤维溴化钾片对齐放置在所述金刚石衬底上部，从上方向所述镂空纤维溴化钾片滴加热熔性胶水，再将蓝宝石片水平压下并固定，待其凝固形成衬底片；将凝固后的衬底片放入水中，待溴化钾在水中溶解消失后，在热熔性胶水内部形成镂空；将衬底片风干后低温烧结，从而在衬底片内部形成网状的纤维孔隙，即得到金刚石衬底片。
一种金刚石晶片方法

[发明专利]一种多工位金刚石衬底抛光装置及其加工方法-CN202310703069.X在审
发明人：陆静;辛永康;王嘉炜;陈凯;柯聪明 -专利权人：华侨大学
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B24B7/22 文献下载
摘要：本发明提供了一种多工位金刚石衬底抛光装置及其加工方法，涉及精密加工技术领域，包括底座，以及配置在底座上的主轴机构和多个进给机构；主轴机构包括磨盘以及用以驱使磨盘转动的第一驱动件；进给机构包括机架、磨头、第二驱动件以及第三驱动件，第二驱动件用以驱使机架沿垂直方向移动，第三驱动件配置在机架上，用以与磨头适配连接，并可驱使磨头转动；磨头朝向磨盘的面贴有多片待加工的金刚石片；其中，各驱动件均与控制件相电连接，各进给机构沿磨盘的圆周方向阵列分布，抛光装置被构造成通过控制件驱使主轴机构和进给机构配合作业，以使各磨头上的待加工金刚石片同步在磨盘上打磨加工，从而提升加工效率，优化加工轨迹。
一种多工位金刚石衬底抛光装置及其加工方法

[发明专利]一种飞秒激光辅助抛光金刚石的装置及其抛光方法-CN202210853059.X有效
发明人：陆静;李晨;辛永康;王嘉炜;罗求发;柯聪明;温秋玲 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种飞秒激光辅助抛光金刚石的装置及其抛光方法，它包括第一机台、第二机台和控制装置，第一机台能沿水平X轴移动，第二机台能沿形成正交体系的X、Y、Z轴移动并能绕Z轴转动，第一机台上设有用于装接金刚石工件的加装装置，第二机台上装接有测距传感器和飞秒激光烧蚀装置，第二机台上还装接有用于磨抛金刚石工件的磨抛砂轮，控制装置与该第一机台、第二机台、测距传感器及飞秒激光烧蚀装置信号连接并能控制该第一机台、第二机台在相应的自由度内动作以及与该测距传感器和飞秒激光烧蚀装置形成数据交互。该抛光方法包括金刚石表面平坦化过程和去石墨化过程。它具有如下优点：提高加工效率，提高加工质量。
一种激光辅助抛光金刚石装置及其方法

[发明专利]一种单极性横向忆阻器及其制备方法-CN202310537399.6在审
发明人： 柯聪明;庞义澳;刘首麟;陆静 -专利权人：华侨大学
申请日： 2023-05-12 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H10N70/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种单极性横向忆阻器及其制备方法，单极性横向忆阻器包括：基板层；阻变功能层，设置在所述基板层上；所述阻变功能层采用1T′相多晶二维二硫化铼制成；金属电极层，设置在所述阻变功能层上。本发明通过化学气相沉积工艺手段制备可控的1T′相多晶二维二硫化铼层，可实现高开关比、稳定性强的单极性横向忆阻器，丰富了二维材料忆阻器的种类，并且与传统硅基CMOS工艺兼容，对高集成度、多功能化非易失存储和逻辑运算领域的发展具有很大的推动作用。
一种极性横向忆阻器及其制备方法

[发明专利]一种用于光辅助化学机械抛光的载具以及抛光加工方法-CN202210852879.7有效
发明人：陆静;徐胜通;罗求发;柯聪明;刘首麟 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于光辅助化学机械抛光的载具以及抛光加工方法，载具包括光源底座、光源聚焦装置以及晶圆安装座；光源底座与晶圆安装座分别设置于光源聚焦装置的两端；光源底座用于安装在抛光机上，光源底座上安装有光源；光源聚焦装置包括防护罩、第一凸透镜以及第二凸透镜，第一凸透镜与第二凸透镜同轴间隔设置在防护罩内，防护罩内设置有驱动件，用于驱动第二凸透镜靠近或远离第一凸透镜运动；光源通过外部红外遥控开光控制其光照强度；晶圆安装座上设置有光强传感器，光强传感器用于将信号反馈至外部处理器，外部处理器将光照强度值显示在显示器上。本申请能够提高晶圆加工质量。
一种用于辅助化学机械抛光以及抛光加工方法

[发明专利]一种可循环利用的混合磨料抛光膜的制备方法-CN202210934985.X在审
发明人：陆静;刘首麟;徐胜通;王嘉炜;柯聪明;罗求发 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： B24D11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种可循环利用的混合磨料抛光膜的制备方法，包括如下步骤：(1)将热塑性弹性体TPE加热至熔融状态，获得熔融态TPE；(2)将微米级硬质磨料与微米级稀土磨料混合均匀，制成混合磨料；(3)将混合磨料与熔融态TPE混合均匀；(4)将步骤(3)所得的物料进行挤出流延成型，即得所述混合磨料抛光膜。本发明制备的混合磨料抛光膜的应用范围广，普遍适用于陶瓷基材抛光、平坦石材表面抛光、半导体晶圆抛光以及大尺寸平面的精密加工，在有破损的情况下，可通过简单的加热至熔融状态后，再次经过挤出流延的方法再次成型，大大降低了制备成本。
一种循环利用混合磨料抛光制备方法

[发明专利]一种含稀土化合物的软胶抛光垫的制备方法-CN202210935317.9在审
发明人：陆静;王嘉炜;刘首麟;罗求发;柯聪明 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： B24D11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种含稀土化合物的软胶抛光垫的制备方法，选取涤纶制的网状结构进行骨架支撑，使得加工时长可以等到足够的保障，并且本发明可采用多层结构设计，使得在金刚石磨抛加工过程初期得到更高的材料去除率的同时，也能在后续的磨抛加工过程中得到更好的表面质量；采用镀钛金刚石磨粒/镀铁金刚石磨粒，不仅仅可以提升抛光垫基体对金刚石磨粒的把持力，同时还可以参与金刚石石墨化反应；La0.6Sr0.4Co3粉在金刚石磨抛加工过程中，对金刚石石墨化起到类似催化剂的作用，使得加工效率更好，同时也可以对抛光垫进行优化作用。
一种稀土化合物抛光制备方法

[发明专利]一种用于自旋转磨抛机的多晶金刚石夹具、装夹方法-CN202211670628.3在审
发明人：陆静;李泽森;罗求发;辛永康;李晨;柯聪明 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B24B41/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于自旋转磨抛机的多晶金刚石夹具，包括本体，所述本体上设置有具有螺纹孔的凸台，还包括：夹紧组件和调节组件，其中，所述夹紧组件包括第一夹板、第二夹板以及固定在所述本体上的固定板，所述第一夹板、第二夹板以及所述固定板围成用于放置多晶金刚石晶圆衬底片的装夹位；调节组件包括螺纹滑杆、调节件以及固定件；通过在本体上设置具有定位壁，边缘处有凸台，U形滑块与螺纹滑杆连接成一整体，通过螺纹滑杆带动U形滑块运动，来实现第一夹板和第二夹板的相对运动，进而夹紧多晶金刚石晶圆衬底片。本发明还提供了一种装夹方法。通过本发明方案，提高了夹具的装夹效果，简化了结构，且能实现精准控制。
一种用于自旋转磨多晶金刚石夹具方法

[发明专利]一种半导体倾角可控的贴片加工装置、贴片加工方法-CN202211634022.4在审
发明人： 柯聪明;庞义澳;陆静;刘首麟;徐胜通;罗求发 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体倾角可控的贴片加工装置，包括底板，还包括：贴片机构、液压机构、测量机构、固定及调节机构，其中，所述底板上固定设置有贴片机构，所述贴片结构包括固定在底板上方的下板和上板，所述下板和上板之间设置有双曲柄机构，且所述上板上设置有适于放置贴片加工台；所述固定及调节机构设置于所述下板上，且连接至所述双曲柄机构所述液压机构设置于所述加工台上方。本发明还提供了一种贴片加工方法。通过本发明方案，使得该贴片加工装置的结构简单稳定，可操作性、可维护性高。
一种半导体倾角可控加工装置方法

[实用新型]一种基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置-CN202221742052.2有效
发明人：陆静;辛永康;李晨;王嘉炜;罗求发;柯聪明 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置，衬底容纳腔用于放置贴有多片金刚石片的衬底；第一相机和第二相机分别位于衬底容纳腔的正上方和正下方，第一相机对所述衬底进行拍摄以确定需要测厚的位置，第二相机对所述衬底进行拍摄以识别所述衬底的缺陷及气泡；第一激光位移传感器和第二激光位移传感器均安装在位移传动机构上且分别位于衬底容纳腔的上方和下方，位移传动机构可带动第一激光位移传感器和第二激光位移传感器同步移动，以对衬底容纳腔内的衬底进行定位测量，进而得到多片金刚石片处的厚度信息。本装置操作方便，实现多片金刚石衬底贴片后的自动化检测并且具有很高的精度以及可重复性，极大降低人工以及学习成本。
一种基于图像识别金刚石衬底检测装置

[发明专利]基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置及检测方法-CN202210794297.8在审
发明人：陆静;辛永康;李晨;王嘉炜;罗求发;柯聪明 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明公开了基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置及检测方法，衬底容纳腔用于放置贴有多片金刚石片的衬底；第一相机和第二相机分别位于衬底容纳腔的正上方和正下方，第一相机对所述衬底进行拍摄以确定需要测厚的位置，第二相机对所述衬底进行拍摄以识别所述衬底的缺陷及气泡；第一激光位移传感器和第二激光位移传感器均安装在位移传动机构上且分别位于衬底容纳腔的上方和下方，位移传动机构可带动第一激光位移传感器和第二激光位移传感器同步移动，以对衬底容纳腔内的衬底进行定位测量，进而得到多片金刚石片处的厚度信息。本装置操作方便，实现多片金刚石衬底贴片后的自动化检测并且具有很高的精度以及可重复性，极大降低人工以及学习成本。
基于图像识别金刚石衬底检测装置方法

[发明专利]一种金刚石晶片的贴片装置-CN202210856973.X在审
发明人：陆静;辛永康;李晨;马忠强;温海浪;罗求发;柯聪明 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种金刚石晶片的贴片装置，他包括装接底座以及均装接在该装接底座上的带控制器的控制模块、旋转底座、第一垂直驱动机构、第二垂直驱动机构、衬底吸取机构、点胶机构、装膜机构及切膜机构；该旋转底座能相对装接底座水平转动，并用于放置至少一金刚石晶片；该衬底吸取机构用于吸取装接衬底；该点胶机构用于给金刚石晶片点胶；该装膜机构用于薄膜的缠绕安装；该切膜机构用于薄膜的切断。他具有如下优点：设计巧妙、操作方便，自动化程度高，可以实现多片金刚石晶片在一块衬底的贴合作业。
一种金刚石晶片装置

[发明专利]一种用于复杂曲面石材的抛光磨头制备方法以及抛光方法-CN202210856788.0在审
发明人：陆静;肖文放;申云;徐胜通;罗求发;柯聪明 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： B24D11/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于复杂曲面石材的抛光磨头制备方法以及抛光方法，抛光磨头的制备方法包括以下步骤：S1，选用两种金属棒，一种金属棒前端为圆柱型，另一种金属棒前端为球头型；两种金属棒前端均粘接一层橡胶层；S2，将高分子纤维布涂抹胶水，并将纤维布粘贴在带有橡胶层的金属棒前端，重复粘贴纤维布6‑10层，形成一个具有柔性基体的磨头；S3，将磨料混入海藻酸钠溶液中搅拌均匀，将柔性基体浸没在海藻酸钠溶液中，重复3‑5分钟后取出，海藻酸钠形成凝胶附着在柔性基体上；S4，将步骤S3中的柔性基体部位浸没于氯化钙溶液中固化2‑5h，取出后干燥24‑72h。本申请能够提高抛光质量和加工效率。
一种用于复杂曲面石材抛光制备方法以及

[发明专利]一种产生可控极化率的自旋电流的结构与方法-CN201810540985.5有效
发明人：吴雅苹;卢奕宏;柯聪明;吴志明;张纯淼;康俊勇 -专利权人：厦门大学
申请日： 2018-05-30 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： H01L29/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种产生可控极化率的自旋电流的结构，该结构在基板上依次设置具有等离子激元金属材料的增强光吸收层、III‑VI族硫属化物二维材料、具有铁磁金属团簇的铁磁金属层、沟道电极、BN二维材料保护层；采用激光垂直入射至该结构中，并通过III‑VI族硫属化物二维材料表面的等离子激元金属材料增强光吸收效率，激发由铁磁金属层注入到III‑VI族硫属化物二维材料的自旋极化电子的跃迁，经由与III‑VI族硫属化物二维材料连接的沟道回路产生自旋电流；并可通过控制铁磁金属团簇的形貌及尺度，控制自旋电流的极化率。
一种产生可控极化自旋电流结构方法

[实用新型]一种柔性二维磁存储阵列-CN201920997044.4有效
发明人：吴雅苹;柯聪明;康俊勇 -专利权人：厦门大学
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： H01L43/08 文献下载
摘要：本实用新型公开一种柔性二维磁存储阵列，包括柔性基片以及设置于柔性基片上表面的任意数量的以阵列形式排布的磁存储单元；每个磁存储单元包含层叠设置于柔性基片上表面的XN(X＝V,Cr,Mn)二维材料、过渡金属硫化物二维材料、表面掺杂层、BN二维材料、分别设置于BN二维材料上表面左右两端的第一注入电极与第二注入电极、以及分别设置于BN二维材料上表面前后两端的第一检测电极与第二检测电极；每个磁存储单元可独立工作，通过在第一注入电极与第二注入电极之间施加一个范围为‑5V～+5V的电压，可在第一检测电极与第二检测电极之间检测到一个自旋极化的电流，通过对柔性基片施加适当应力可调控自旋极化的电流的自旋极化率，从而实现磁存储。
一种柔性二维存储阵列

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