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[发明专利]离子束辅助沉积镀膜装置及镀膜方法-CN202310935263.0在审
发明人：朱佳敏;陈思侃;高中赫;李鸿;曹森;陈永春;陈晓琦;孙树博;林晓辉;柏培 -专利权人：上海超导科技股份有限公司
申请日： 2023-07-27 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供了一种离子束辅助沉积镀膜装置，包括：源系统：包括至少一组镀膜系统和至少一组刻蚀系统，镀膜系统包括离子源、蒸发源、激光源或电子束，刻蚀系统包括离子源；真空系统：提供真空环境；走带系统：对带材进行收放卷；控制系统：在控制系统的作用下，所述走带系统进行收放卷，所述镀膜系统对处于真空环境内的带材进行镀膜和/或所述刻蚀系统对处于真空环境内的带材进行刻蚀。通过对前几道走带同时进行镀膜和刻蚀，且刻蚀速度大于镀膜速度，使净沉积速度很低，但由于高的刻蚀速度，在此沉积的氧化镁会形成极优的织构度，保证同根带材两端的织构度差别＜10％，最终制备的超导带材，两端的临界电流差别小于10％，进而提高了镀膜效果。
离子束辅助沉积镀膜装置方法

[发明专利]卷对卷磁控溅射镀膜装置-CN202310938679.8在审
发明人：朱佳敏;高中赫;陈思侃;曹森;袁海波;陈黔;林晓辉;柏培;吴超;陆亚明;李怀珍;程浩宇 -专利权人：上海超导科技股份有限公司
申请日： 2023-07-27 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供了一种卷对卷磁控溅射镀膜装置，包括靶系统：用于在基底上镀制所需求的膜层；真空系统：用于提供真空环境；走带系统：对带材进行收放卷，包括多道连续走带；控制系统：控制走带系统进行收放卷，靶系统在处于真空环境内的多道走带基底上镀制所需求的膜层。通过采用中频溅射结合磁控阴极的结构，使磁控阴极磁场变大、溅射速率变快，能够有效地提高磁控溅射镀膜速度，且系统发射低，可以实现去除对带材降温的水冷板，以及支撑水冷板的支架，一方面能够除水冷板导致的带材卷边的情况发生，另一方面，避免了镀制过程中存在的电弧放电、打火问题，有助于提高带材的生产速度和生产质量。
磁控溅射镀膜装置

[发明专利]双面镀制超导带材保护层的设备-CN202310927717.X有效
发明人：陈思侃;林晓辉;高中赫;朱佳敏;柏培;袁海波;李俊;卞云杰;周飞;丁逸珺 -专利权人：上海超导科技股份有限公司
申请日： 2023-07-27 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供了一种双面镀制超导带材保护层的设备，涉及超导材料加工设备技术领域，包括靶系统：提供溅射源；真空系统：提供真空环境；走带系统：对带材进行收放卷，包括多道连续的正面走带和多道连续的背面走带；控制系统：在控制系统的控制下，所述走带系统进行收放卷，所述溅射源对位于真空环境内的多道连续的正面走带和多道连续的背面走带镀制保护层。通过将带材绕设走带系统中的多个带轮组上的带轮，无需扭转形成多道连续的正面走带和多道连续的背面走带，溅射源同时对多道连续的正面走带和多道连续的背面走带进行镀制，有助于提高带材双面镀制的质量和效率。
双面超导保护层设备

[实用新型]一种应用玻璃表面喷砂乳化工艺的衣柜门-CN201521032049.1有效
发明人：黄顺柳;戴正凯;朱晓俊;朱磊;邓亚峰;陈栩;丰小崴;巫绪春;柏培;陶善珊 -专利权人：志邦厨柜股份有限公司
申请日： 2015-12-14 - 公布日： 2016-05-11 - 主分类号： E06B3/72 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种应用玻璃表面喷砂乳化工艺的衣柜门，包括门框和嵌入安装在门框中间的喷砂乳化玻璃门。门框为由左竖框、上横框、右竖框和下横框围成的长方形框架，且左竖框和右竖框之间设有相互平行的第一中横框和第二中横框。喷砂乳化玻璃门包括上喷砂乳化玻璃门和腰线喷砂乳化玻璃门和下喷砂乳化玻璃门。上喷砂乳化玻璃门、腰线喷砂乳化玻璃门和下喷砂乳化玻璃门的结构相同，均包括玻璃门体、依次设置在玻璃门体上方的喷砂层与乳化图案层和设置在玻璃门体下方的烤漆层。该衣柜门具有不易变形、透光但不通透等特点，能够满足人们对整体家居风格相匹配的迫切需求。
一种应用玻璃表面喷砂乳化工艺衣柜